Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente - PR183309-2270-W
PR183309-2270-W
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung: TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente
1️⃣
Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: EMFT
Hansastraße 27d
80686 München
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente
Optional:
9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP)
9.2...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente
Optional:
9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP)
9.2 SECS/GEM (BP)
9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP)
9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP)
9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP)
9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP)
9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP)
9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP)
9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP)
9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP)
9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP)
9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2023-01-01 📅
Datum des Endes: 2023-01-31 📅
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“Optional:
9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP)
9.2 SECS/GEM (BP)
9.3 Integrierte Datenbank für...”
Beschreibung der Optionen
Optional:
9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP)
9.2 SECS/GEM (BP)
9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP)
9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP)
9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP)
9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP)
9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP)
9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP)
9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP)
9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP)
9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP)
9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)
Mehr anzeigen Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: Efre react
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-183a3a90ecf-7cb19029cc52c85c” Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-183a3a90ecf-7cb19029cc52c85c” Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-183a3a90ecf-7cb19029cc52c85c” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-11-10
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: https://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2022/S 199-562663 (2022-10-10)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-02-17) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP) 9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP) 9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP) 9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP) 9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP) 9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP) 9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP) 9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP) 9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP) 9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30,00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 35,00
Preis (Gewichtung): 35,00
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für...”
Beschreibung der Optionen
Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP) 9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP) 9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP) 9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP) 9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP) 9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP) 9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP) 9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP) 9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP) 9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 199-562663
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 1
Titel: TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-02-08 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Ramgraber GmbH
Postanschrift: Pappelstraße 2
Postort: Brunnthal-Hofolding
Postleitzahl: 85649
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8104648779📞
E-Mail: info@ramgraber.de📧
Fax: +49 81046487-79 📠
Region: München, Kreisfreie Stadt🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
Quelle: OJS 2023/S 038-112070 (2023-02-17)