TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente - PR183309-2270-W

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-11-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-10-10.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Ramgraber GmbH

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-10-10	Auftragsbekanntmachung
2023-02-17	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-10-10)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: PR183309-2270-W
Kurze Beschreibung: TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL der Dokumente: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-183a3a90ecf-7cb19029cc52c85c 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-10-10 📅
Einreichungsfrist: 2022-11-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-10-14 📅
Datum des Beginns: 2023-01-01 📅
Datum des Endes: 2023-01-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 199-562663
ABl. S-Ausgabe: 199

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1 Stück TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente

Optional:

9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP)

9.2 SECS/GEM (BP)

9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP)

9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP)

9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP)

9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP)

9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP)

9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP)

9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP)

9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP)

9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP)

9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)

Beschreibung der Optionen:

Optional:

9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP)

9.2 SECS/GEM (BP)

9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP)

9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP)

9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP)

9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP)

9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP)

9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP)

9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP)

9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP)

9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP)

9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)

Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Efre react
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

EMFT

Hansastraße 27d

80686 München

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-183a3a90ecf-7cb19029cc52c85c

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-183a3a90ecf-7cb19029cc52c85c

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-183a3a90ecf-7cb19029cc52c85c

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Dokumente URL: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-183a3a90ecf-7cb19029cc52c85c 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: https://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2022/S 199-562663 (2022-10-10)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-02-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-02-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-02-22 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 038-112070
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 199-562663
ABl. S-Ausgabe: 38

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1 Stück TMAH Ätzanlage für CMOS und MEMS Bauelemente Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP) 9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP) 9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP) 9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP) 9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP) 9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP) 9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP) 9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP) 9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP) 9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)

Beschreibung der Optionen:

Optional: 9.1 Adapter für 150mm Carrier zum Einsetzen in den 200mm Drehantrieb aus PFA (BP) 9.2 SECS/GEM (BP) 9.3 Integrierte Datenbank für Rezept-Management und Maschinendaten (BP) 9.4 Konzentrationsüberwachung TMAH (BP) 9.5 Versorgungsfasswagen für 30l Versorgungsfass TMAH mit integrierter Förderpumpe (BP) 9.6 Entsorgungsfasswagen für 30l Entsorgungsfass TMAH (BP) 9.7 Medienversorgung HF-Dip Becken automatisch aus Vorratsgefäß (BP) 9.8 Da die Anlage nicht im Reinraum steht: gekapselter Arbeitsbereich mit FFUs vor der Anlage, Tiefe ca. 1,5m (BP) 9.9 FFUs oberhalb Prozessbereich (BP) 9.10 Hebeanlage für Abwasser (BP) 9.11 Separater Abluftwäscher für Anlage (BP) 9.12 Verlängerung der Gewährleistung von 12 auf 24 Monate (BP)

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30,00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 35,00
Preis (Gewichtung): 35,00

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-02-08 📅
Name: Ramgraber GmbH
Postanschrift: Pappelstraße 2
Postort: Brunnthal-Hofolding
Postleitzahl: 85649
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 8104648779 📞
E-Mail: info@ramgraber.de 📧
Land: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2023/S 038-112070 (2023-02-17)

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