Trockenätzsystemcluster

Universität Stuttgart

Gegenstand der Beschaffung ist ein Trockenätzcluster Trockenätzsystem Cluster bestehend aus reaktivem Ionenätzen mit ICP Quelle und Ionenstrahlätzen (IBE, RIBE, CAIBE).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-04-07. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-03-07.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• Universität Stuttgart

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Stuttgart › Stuttgart, Stadtkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-03-07	Auftragsbekanntmachung
2022-04-26	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-03-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Referenznummer: 22-030
Kurze Beschreibung:

Gegenstand der Beschaffung ist ein Trockenätzcluster Trockenätzsystem Cluster bestehend aus reaktivem Ionenätzen mit ICP Quelle und Ionenstrahlätzen (IBE, RIBE, CAIBE).

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Stuttgart, Stadtkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Stuttgart
Postanschrift: Keplerstr. 7
Postleitzahl: 70174
Postort: Stuttgart
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-stuttgart.de 🌏
E-Mail: beschaffung@verwaltung.uni-stuttgart.de 📧
URL der Dokumente: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXUEYY8YYLS/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXUEYY8YYLS 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-03-07 📅
Einreichungsfrist: 2022-04-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-03-11 📅
Datum des Beginns: 2022-06-03 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 050-126961
ABl. S-Ausgabe: 50
Zusätzliche Informationen

Die Zahlungsbedingungen sind in § 7 der AGB der Universität Stuttgart (Anhang 3) geregelt. Eine Vorauszahlung muss mittels selbstschuldnerischer Bankbürgschaft abgesichert sein. Die Kosten für eine solche Bürgschaft trägt der Auftragnehmer. Support und Beratung zum Vergabeportal: Anleitungen und Tutorials: https://support.cosinex.de/ Beratung: support@cosinex.de Information zur Umsetzung der datenschutzrechtlichen Vorgaben nach der Datenschutzgrundverordnung (DSGVO) an der Universität Stuttgart (Anhang 5) Fragen sind ausschließlich elektronisch über das Vergabeportal unter Bezugnahme auf den jeweiligen Anhang sowie unter Nennung des jeweiligen Abschnitts bzw. des Paragraphen zu stellen. Verbindlicher Bestandteil der Vergabeunterlagen werden nur die über das Vergabeportal erteilten Antworten. Mündliche Auskünfte und Erklärungen haben keine Gültigkeit. gefördert vom Bundesministerium für Bildung und Forschung Bekanntmachungs-ID: CXUEYY8YYLS

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Dabei müssen die Anforderungen für das System aus der Leistungsbeschreibung erfüllt werden.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Universität Stuttgart, 3. Physikalisches Institut Allmandring 13 70569 Stuttgart Zentrum für Angewandte Quantentechnologie, Allmandring 13, 70569 Stuttgart, zentrale Anlieferung

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Eigenerklärung zu Ausschlussgründen gemäß §…

… 123 GWB,

… 124 GWB,

Eigenerklärung gemäß § 19 Abs. 3 Mindestlohngesetz (MiLoG),

Eintragung des Unternehmens in das Berufs- oder Handelsregister,

Eigenerklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie Angabe des Umsatzes in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit er Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind unter Einschluss des Anteils bei gemeinsam mit anderen Unternehmen ausgeführten Leistungen,

Eigenerklärung aus der die durchschnittliche jährliche Beschäftigtenzahl in den letzten drei Geschäftsjahren (2018, 2019, 2020) ersichtlich sind.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: gemäß Bewerbungsbedingungen, sowie dem Anhang 1 - Angebotsformular
Technische und berufliche Fähigkeiten:

gemäß Bewerbungsbedingungen, sowie dem Anhang 2 - Leistungsverzeichnis

Eigenerklärung über erbrachte Leistungen, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind aus den letzten drei Geschäftsjahren

Die Erklärung über Referenzleistungen muss jeweils folgende Angaben enthalten:

- Bezeichnung des Auftrags

- Auftraggeber (Anschrift, Kontaktmöglichkeit, Funktionsmail)

- Angaben über Art der ausgeführten Leistungen

- Leistungszeitraum

- Auftragssumme

Gesucht wird ein erprobtes System, da die Ätzprozesse für Forschungszwecke benötigt werden. Im Preis muss der Besuch eines Prozesspezialisten (mind 3 Tage vor Ort) zum Prozessnachweis und zum Training enthalten sein.

Darüber hinaus wird die Prozessunterstützung für mind 10 Jahre gefordert. Der Hersteller muss nachweisen, dass er in Europa einen eigenen Applikationsreinraum mit min. 10 Servicemitarbeitern unterhält (keine Partner). Es wird erwartet, dass der Anbieter dort mind 20 Anlagen, davon mind 5 ICP Ätzer und eine IBE/ RIBE/ CAIBE Anlage nachweisen kann. Die Zahl der Prozessingenieure muss mind 20 betragen.

Wir behalten uns das Recht, das Labor bei der Auswertung für eine Demo/ Evalierung zu besuchen. Bietergemeinschaften sind nicht zugelassen.

Mindeststandards:

Der Hersteller muss Massnahmen zur Umweltverträglichkeit, z B die ISO 14001:2004 Zertifizierung, nachweisen.

Das System muss die aktuell gültige CE Norm erfüllen, insbesondere

EN13849

Maschinenrichtlinie - 2006/42/EG

Niederspannungsrichtlinie - 2006/95/EG

EMV-Richtlinie 2004/108/EG

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-06-03 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-04-07 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DE 147 794 196
Kontakt
Kontaktperson: Zentrale Beschaffungsstelle
Dokumente URL: https://ausschreibungen.landbw.de/Satellite/notice/CXUEYY8YYLS/documents 🌏
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Stuttgart, Zentrale Beschaffungssstelle
Postanschrift: Breitscheidstr. 2 C
Land: Stuttgart, Stadtkreis 🏙️
Adresse des Käuferprofils: https://www.beschaeftigte.uni-stuttgart.de/uni-services/finanzen/beschaffung/index.html 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Support und Beratung zum Vergabeportal:

Anleitungen und Tutorials: https://support.cosinex.de/

Beratung: support@cosinex.de

Information zur Umsetzung der datenschutzrechtlichen Vorgaben nach der Datenschutzgrundverordnung (DSGVO) an der Universität Stuttgart (Anhang 5)

Fragen sind ausschließlich elektronisch über das Vergabeportal unter Bezugnahme auf den jeweiligen Anhang sowie unter Nennung des jeweiligen Abschnitts bzw. des Paragraphen zu stellen. Verbindlicher Bestandteil der Vergabeunterlagen werden nur die über das Vergabeportal erteilten Antworten. Mündliche Auskünfte und Erklärungen haben keine Gültigkeit.

gefördert vom Bundesministerium für Bildung und Forschung

Bekanntmachungs-ID: CXUEYY8YYLS

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg im Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 721/926-8730 📞
E-Mail: poststelle@rpk.bwl.de 📧
Fax: +49 721/926-3985 📠
Internetadresse: http://www.rp-karlsruhe.de/servlet/PB/menu/1159131/index.html 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Universität Stuttgart, Zentrale Beschaffungssstelle
Postanschrift: Breitscheidstr. 2 C
Postort: Stuttgart
Postleitzahl: 70174
E-Mail: beschaffung@verwaltung.uni-stuttgart.de 📧
Internetadresse: https://www.uni-stuttgart.de 🌏
Quelle: OJS 2022/S 050-126961 (2022-03-07)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-04-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 850 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-04-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-04-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 084-224795
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 050-126961
ABl. S-Ausgabe: 84
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXUEYY8YYA5

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Nachrüstbarkeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Preis (Gewichtung): 80.00

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-04-26 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstraße 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 6122937130 📞
E-Mail: ger-na_tenders@oxinst.com 📧
Land: Stuttgart, Stadtkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 850 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2022/S 084-224795 (2022-04-26)

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