Trockenchemische Ätzanlage (RIE)

Universität der Bundeswehr München

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Trockenchemischen Ätzanlage (RIE) inkl. Schulung

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-10-25. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-09-21.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• Universität der Bundeswehr München

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Oberbayern › München, Landkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2022-09-21	Auftragsbekanntmachung
2022-11-16	Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2023-01-18	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2022-09-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Referenznummer: M/HSB1/MT741/EIT2.1_MP
Kurze Beschreibung:

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Trockenchemischen Ätzanlage (RIE) inkl. Schulung

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: München, Landkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität der Bundeswehr München
Postanschrift: Werner-Heisenberg-Weg 39
Postleitzahl: 85577
Postort: Neubiberg
Kontakt
Internetadresse: http://www.evergabe-online.de/ 🌏
E-Mail: zv13@unibw.de 📧
Telefon: +49 8960043403 📞
Fax: +49 8960042691 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=479490 🌏
URL der Teilnahme: http://www.evergabe-online.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-09-21 📅
Einreichungsfrist: 2022-10-25 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-09-26 📅
Datum des Beginns: 2022-11-14 📅
Datum des Endes: 2023-09-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 185-523312
ABl. S-Ausgabe: 185
Zusätzliche Informationen
entfällt

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

mm und 200 mm; es sollen aber auch kleinere Formate und Bruchstücke in der Anlage geätzt werden. Es werden auch doppelseitig polierte Wafer prozessiert.

Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

Beschreibung der Optionen:

Siehe Leistungsbeschreibung.

Die Anlage muss mit einem in die Software integrierbaren Laserinterferometer-System nachrüstbar sein - bestehend aus Lichtquelle (670nm, x-y Tisch und Eintrittsfenster (>= 25 mm)). Der Preis für das System ist als Option im Angebot anzugeben.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Neubiberg

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Siehe Vergabeunterlagen (bei Bietergemeinschaften möglichst von jedem Mitglied).

Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

a) Angabe der Gesamtumsätze der letzten bis zu 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre, möglichst durch Jahresabschlüsse und Prüfberichte belegt.

b) Bestätigung, dass der Bieter eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung gem. §12 des Vertrages unterhält oder im Falle der Auftragserteilung abschließen wird.

Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Der Hersteller/Bieter muss als Referenz 10 Anlagen aus den letzten 3 Jahren in Deutschland nennen, davon mind. 5 vom angebotenen Typ.

Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-12-14 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-10-25 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00
Zusätzliche Informationen: entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: ZV I.3
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=479490 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattform einzusetzenden elektronischen Mittel sind die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform. Diese werden über die mit "Anwendungen" bezeichneten Menüpunkte auf www.evergabe-online.de zur Verfügung gestellt. Hierzu gehören für Unternehmen der Angebots-Assistenten (AnA) und der Signatur-Client für Bieter (Sig-Client) für elektronische Signaturen sowie das LV-Cockpit (www.lv-cockpit.de).

Die technischen Parameter zur Einreichung von Teilnahmeanträgen, Angeboten und Interessensbestätigungen verwendeten elektronischen Mittel sind durch die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform bestimmt. Verwendete Verschlüsselungs- und Zeiterfassungsverfahren sind Bestandteil der Clients der e-Vergabe-Plattform sowie der Plattform selber und der elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform.

Weitergehende Informationen stehen auf https://www.evergabe-online.info bereit.

1) Die Angebote sind elektronisch in Textform (§ 126b BGB) über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal einzureichen. Nähere Informationen stehen auf der Startseite des in Ziffer I.3) genannten Vergabeportals zur Verfügung.

2) Die gesamte Kommunikation zwischen Auftraggeber und Bietern (auch Rückfragen zum Angebot) findet ausschließlich über das in Ziffer I.3) genannte Vergabeportal statt. Der Auftraggeber wird alle Fragen und Antworten auf dem in Ziffer I.3) genannten Vergabeportal anonymisiert zur Verfügung stellen.

3) Die Bildung von Bietergemeinschaften (BG) ist nur bis zur Abgabe des Angebots möglich. Die Angaben zur Zusammensetzung der BG sind grundsätzlich bindend. Ein Austausch einzelner Mitglieder der BG vor Auftragsvergabe bedarf der Zustimmung des Auftraggebers. Die Abgabe von Angeboten durch BG ist nur bei gesamtschuldnerischer Haftung mit bevollmächtigtem Vertreter möglich. Hierzu ist eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmachtmittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen. Außerdem haben sämtliche Mitglieder der BG namentlich mit Anschrift einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die Durchführung des Vertrages zu bezeichnen. Der Auftraggeber behält sich ausdrücklich vor, diese Angaben nachzufordern. Bei der Eignungsprüfung wird die BG als Ganzes beurteilt.

4) Mehrfachbewerbungen, als Einzelbieter sowie als Mitglied einer/mehrerer BG, sind nicht zulässig. Soweit mehrere Unternehmen im Rahmen der Vergabe miteinander kooperieren (z. B. über ein gemeinsames Tochterunternehmen, als Nachunternehmer oder im Rahmen einer BG), behält sich der Auftraggeber vor, Nachweise dafür zu fordern, dass die Kooperation als Ganzes sowie die Teilnahme der einzelnen Unternehmen an der Kooperation zulässig ist, insbesondere keine unzulässige wettbewerbsbeschränkende Abrede getroffen wurde. Für jeden Teilnehmer der Kooperation wäre dann zu begründen, inwieweit sein Entschluss zur Teilnahme an der Kooperation eine im Rahmen von zweckmäßigen und kaufmännisch vernünftigen

Handelns liegende Entscheidung ist, z. B. weil der jeweilige Teilnehmer zur Zeit der Bildung der Kooperation überhaupt nicht oder jedenfalls zu dieser Zeit nicht über die erforderliche Kapazität zur Durchführung des hier ausgeschriebenen Auftrages verfügt oder aus anderen Gründen erst die Kooperation den jeweiligen Teilnehmer

in die Lage versetzt, ein erfolgversprechendes Angebot abzugeben.

5) Auf die Möglichkeit der Eignungsleihe nach § 47 VgV wird hingewiesen. Für den Fall, dass ein Bieter einzelne Unternehmen als Nachunternehmer einsetzen möchte, wird auf die Möglichkeit der Eignungsleihe und die in § 47 VgV genannten Voraussetzungen hingewiesen. Wenn und soweit sich der Bieter auf die

Eignung des Nachunternehmers beruft, ist mit dem Angebot insbesondere eine Verpflichtungserklärung des Nachunternehmers einzureichen, dass dieser seine Ressourcen und Kapazitäten dem Bewerber im Auftragsfall zur Verfügung stellt.

6) Bieter sollen die auf der in Ziffer I.3) genannten Website hinterlegten Vordrucke verwenden (soweit vorhanden, sonst eigene Formulare verwenden). Der Auftraggeber behält sich vor, Unterlagen im Rahmen des § 56 Abs. 2 VgV nachzufordern. Hierauf besteht kein Rechtsanspruch.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Bundeskartellamt - Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 22894990 📞
Fax: +49 2289499163 📠
Internetadresse: https://www.bundeskartellamt.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

§ 160 GWB Einleitung, Antrag

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht.

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit

1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 GWB bleibt unberührt,

2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2 GWB. § 134 Absatz 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.

§ 134 GWB Informations- und Wartepflicht

https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__134.html

§ 135 Unwirksamkeit

https://www.gesetze-im-internet.de/gwb/__135.html

Quelle: OJS 2022/S 185-523312 (2022-09-21)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-11-16)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-11-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-11-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 224-645169
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 185-523312
ABl. S-Ausgabe: 224

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Die Universität der Bundeswehr plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung einer trockenchemischen Ätzanlage (einer RIE (reaktive ion etch) Anlage). Dabei wird ein erprobtes System gesucht, welches zur Ätzung von dielektrischen Schichten (z.B. Siliziumnitrid, Siliziumoxid, Polymere und Fotolacke) und von Silizium geeignet ist. Die zu ätzenden Schichten befinden sich dabei auf Siliziumsubstraten. Substratformate sind hier vorwiegend Wafer mit den Durchmessern 100 mm, 150 mm und 200 mm; es sollen aber auch kleinere Formate und Bruchstücke in der Anlage geätzt werden. Es werden auch doppelseitig polierte Wafer prozessiert. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.

Beschreibung der Optionen:

Siehe Leistungsbeschreibung. Die Anlage muss mit einem in die Software integrierbaren Laserinterferometer-System nachrüstbar sein - bestehend aus Lichtquelle (670nm, x-y Tisch und Eintrittsfenster (>= 25 mm)). Der Preis für das System ist als Option im Angebot anzugeben.

Quelle: OJS 2022/S 224-645169 (2022-11-16)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-01-18)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: M/HSB1/MT741/EIT2.1_MPx
Kurze Beschreibung:

Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Aufstellung/Anschluss, Inbetriebnahme und Abnahme einer Trockenchemischen Ätzanlage (RIE)

Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-01-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-01-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 016-045126
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 224-645169
ABl. S-Ausgabe: 16

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung: 1 Trockenchemische Ätzanlage (RIE)
Beschreibung der Optionen:

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Siehe Verzeichnis der Empfängeranschriften

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-01-18 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstrasse 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: https://www.oxinst.com/ 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Die Einlegung von Rechtsbehelfen richtet sich nach den Vorschriften des vierten Teils des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Zur Wahrung der Fristen wird auf §§ 160 ff. GWB sowie, da es sich hier um die Bekanntmachung eines vergebenen Auftrags handelt, insbesondere auf § 135 Abs. 1 und 2 GWB hingewiesen.

Quelle: OJS 2023/S 016-045126 (2023-01-18)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Industrielle Maschinen (>20 neue Beschaffungen)