Epitaxie-Anlage EpiLab - PR237391-2610-W

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Epitaxie-Anlage EpiLab

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-02-09. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-01-10.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Polyteknik AS

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2023-01-10	Auftragsbekanntmachung
2023-05-04	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2023-01-10)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: PR237391-2610-W
Kurze Beschreibung: Epitaxie-Anlage EpiLab
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL der Dokumente: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-01-10 📅
Einreichungsfrist: 2023-02-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-01-13 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 010-023763
ABl. S-Ausgabe: 10
Zusätzliche Informationen
Das Projekt wird mit Haushaltsinternen Mitteln finanziert.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1 piece

The Fraunhofer Institute for Organic Electronics, Electron Beam and Plasma Technology FEP (henceforth referred to as FEP) has a number of active projects related to magnetron sputter epitaxy. These projects are funded by government grants as well as internal grants of the Fraunhofer society. The common aim of these projects is to transfer magnetron sputter epitaxy from lab scale to an industrial production technology for semiconductor devices.

Magnetron sputter epitaxy is a novel technique that can be used to grow single crystal film stacks on large area silicon wafers. Such a process is in general referred to as epitaxy. Such single crystal film stacks are the basis of many optoelectronic and power electronic devices.

Currently the technological development is performed on an existing tool at the FEP. However, this tool is unable to achieve the high degree of film quality and process control required by the semiconductor industry. Moreover, the existing tool does not provide the flexibility for rapidly transferring process from the lab to an industrial scale. Thus, a new epitaxy tool will be procured from the successful bidder (henceforth referred to as capital equipment manufacturer) on this tender to complement the existing tool at the FEP and accelerate the development process.

Options:

4.3.1Cooling power of min. 2 kW at 253 K

4.3.2 Cooling fluid suitable for the magnetron sputtering sources offered as part of EpiLab (cf. section 4.1)

4.4.1Duration of 24 months

4.5.1Rated for class ISO 6 cleanroom

4.5.2 All components that will enter room EE014 (cf. section 1.6)

Dauer: 4 Monate
Beschreibung der Optionen:

4.3.1 Cooling power of min. 2 kW at 253 K

4.3.2 Cooling fluid suitable for the magnetron sputtering sources offered as part of EpiLab (cf. section 4.1)

4.4.1 Duration of 24 months

4.5.1 Rated for class ISO 6 cleanroom

4.5.2 All components that will enter room EE014 (cf. section 1.6)

Zusätzliche Informationen: Das Projekt wird mit Haushaltsinternen Mitteln finanziert.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Fraunhofer FEP

Winterbergstraße 28

01277 Dresden

Deutschland

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents under III.1). Furthermore, it must be confirmed that they will be available if the order is placed; their share in the scope of the contractual object must be stated.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-04-11 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-02-09 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Zusätzliche Informationen: not applicable

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Research Society e. V.
Kontakt
Dokumente URL: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-1859bae617a-37ef78f2b35f02f6 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a lack of willingness to help with the objection (§160 Par. 3 Clause 1 No. 4 GWB [German Act Against Restraints of Competition]). A request for review is additionally inadmissible if the contract has been awarded before the Vergabekammer (procurement review authority) has informed the ordering party of the request for review (§§ 168 Par. 2 Clause 1, 169 Par. 1 GWB). The award of the contract is possible 15 calendar days after the dispatch of the tenderer information pursuant to § 134 Par. 1 GWB. If the information is sent electronically or via fax, this time period is reduced to ten calendar days (§ 134 Par. 2 GWB). The time period begins on the day after the dispatch of the information by the ordering party; the day on which it is received at the concerned tenderer and applicant is not relevant. The admissibility of a request for review furthermore presupposes that a complaint has been made to the ordering party with regard to the asserted procurement violations within 10 days after knowledge was obtained of it (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB). Complaints regarding violations of procurement rules that are apparent on the basis of the announcement must be made to the ordering party before the expiration of the time period named in the announcement for the application or for the tendering (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB). Complaints regarding violations of procurement rules that do not become apparent until appearing in the award documents must be made to the ordering party no later than by the expiration of the time period for the application or for the tendering (§ 160 Par. 3 Clause 1 No. 1 GWB).

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: https://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2023/S 010-023763 (2023-01-10)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-05-04)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-05-04 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-05-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 089-275992
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 010-023763
ABl. S-Ausgabe: 89

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1 piece The Fraunhofer Institute for Organic Electronics, Electron Beam and Plasma Technology FEP (henceforth referred to as FEP) has a number of active projects related to magnetron sputter epitaxy. These projects are funded by government grants as well as internal grants of the Fraunhofer society. The common aim of these projects is to transfer magnetron sputter epitaxy from lab scale to an industrial production technology for semiconductor devices. Magnetron sputter epitaxy is a novel technique that can be used to grow single crystal film stacks on large area silicon wafers. Such a process is in general referred to as epitaxy. Such single crystal film stacks are the basis of many optoelectronic and power electronic devices. Currently the technological development is performed on an existing tool at the FEP. However, this tool is unable to achieve the high degree of film quality and process control required by the semiconductor industry. Moreover, the existing tool does not provide the flexibility for rapidly transferring process from the lab to an industrial scale. Thus, a new epitaxy tool will be procured from the successful bidder (henceforth referred to as capital equipment manufacturer) on this tender to complement the existing tool at the FEP and accelerate the development process. Options: 4.3.1Cooling power of min. 2 kW at 253 K 4.3.2 Cooling fluid suitable for the magnetron sputtering sources offered as part of EpiLab (cf. section 4.1) 4.4.1Duration of 24 months 4.5.1Rated for class ISO 6 cleanroom 4.5.2 All components that will enter room EE014 (cf. section 1.6)

Beschreibung der Optionen:

4.3.1 Cooling power of min. 2 kW at 253 K 4.3.2 Cooling fluid suitable for the magnetron sputtering sources offered as part of EpiLab (cf. section 4.1) 4.4.1 Duration of 24 months 4.5.1 Rated for class ISO 6 cleanroom 4.5.2 All components that will enter room EE014 (cf. section 1.6)

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical Description
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60,00
Preis (Gewichtung): 40,00

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-04-28 📅
Name: Polyteknik AS
Postanschrift: Moellegade 21
Postort: Oetervraa
Postleitzahl: 9750
Land: Dänemark 🇩🇰
Telefon: +45 96892800 📞
E-Mail: sales@polyteknik.dk 📧
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2023/S 089-275992 (2023-05-04)

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