Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden.
Die genauen Spezifikationen und Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis hinterlegt.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-02-19.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-01-10.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage
VG_INNO_2022_MOS_Kristall_v2”
Produkte/Dienstleistungen: Bewertungs- und Testinstrumente📦
Kurze Beschreibung:
“Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der...”
Kurze Beschreibung
Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden.
Die genauen Spezifikationen und Anforderungen sind im Leistungsverzeichnis hinterlegt.
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Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 960 000 💰
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Bau von Forschungs- und Prüfeinrichtungen📦
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: in den Vergabeunterlagen aufgeführt
Beschreibung der Beschaffung:
“Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der...”
Beschreibung der Beschaffung
Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden.
Beim LPE-Verfahren werden die Substratwafer in eine unterkühlte Schmelzlösung aus Fe2O3, Bi2O3, Ga2O3, B2O3 und PbO bei Temperaturen von 600 bis 1250°C eingetaucht. Dabei kann durch epitaktisches Kristallwachstum eine einkristalline Funktionsschicht abgeschieden werden. Anlagentechnisch ist der hohe Dampfdruck von Bleioxid zu beachten und es müssen entsprechende Sicherheitsvorkehrungen vorhanden sein, um die Exposition der Umgebung mit Blei-haltigen Verbindungen auszuschließen.
Wesentliche Prozessparameter der Anlage sind ein definiert einstellbarer vertikaler Temperaturgradient im Ofen, sowie die Möglichkeit, Tiegel und Probenhalter in zeitlich programmierbaren Translations- und Rotationsbewegungen zu verfahren. Zusätzlich soll die Möglichkeit geschaffen werden, die Homogenisierung der Schmelze durch die Einkopplung einer definierten mechanischen Schwingung in den Tiegel zu verbessern. Das Anfahren der Zuchttemperatur durch Absenkung der Temperatur der Schmelze um ca. 100 K muss durch die Durchströmung des Ofenrohrs mit Druckluft auf eine Zeitspanne von wenigen Stunden reduziert werden können. Es müssen anlagentechnische Vorkehrungen getroffen werden, die erhöhte Abdampfung von Bleioxid während der Abkühlphase zu unterdrücken. Die Anlage muss außerdem die Möglichkeit bieten, die zu beschichtenden Wafer durch geeignete Prozessierung thermisch vor- und nachzubehandeln. Die Anlage muss als Komplettsystem mit allen zur Beschichtung von 4-Zoll-Wafern notwendigen Einbauten inklusive Leistungselektronik, Kühlwasser¬kreislaufsystem, Abluftsystem sowie Steuerungs- und Regelungssystem mit PC angeboten werden.
Die Anforderungen an die einzelnen Prozessparamater sind zwingend dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen. Weitere Bedingungen sind in der Anlage "Vergabebedingungen" hinterlegt!
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Die Anforderungsmerkmale haben eine Gewichtung von
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70
Preis (Gewichtung): 30
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 960 000 💰
Dauer
Datum des Endes: 2023-09-15 📅
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union:
“FTI-Richtlinie - Förderkennzeichen: 2022 WIN 0024 "Wirtschaftsnahe Infrastruktur"” Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“Um die LPE-Anlage an dessen Verwendungsstelle zu positionieren, müssen folgende Grundspezifikationen des Gebäudes berücksichtigt werden:
• Der geplante...”
Zusätzliche Informationen
Um die LPE-Anlage an dessen Verwendungsstelle zu positionieren, müssen folgende Grundspezifikationen des Gebäudes berücksichtigt werden:
• Der geplante Aufstellort ist ein Labor im Keller mit 3,70 m Deckenhöhe
• Zugang in das Gebäude ist entweder über einen Kellereingang oder eine Rampe ins Erdgeschoss möglich; der Kellereingang benötigt einen Kran zum Ablassen, die Rampe muss ab einem Gewicht von 400 kg zusätzlich abgestützt werden
• Außentür Keller: Breite 1530 mm, Höhe 2045 mm
• Labortür: Breite 1285 mm (mit ausgehangenen Flügeln), Höhe 2090 mm
• Damit ergibt sich ein lichtes Durchgangsmaß von Breite 1280 x Höhe 2045 mm
• Fahrstuhl: Türbreite: 880 mm, Höhe: 2050 mm, Länge: 2000 mm zulässige max. Traglast 1000 kg
• Eine Ortsbegehung für einen sichergestellten Antransport zum Aufstellort ist von allen Bietern zwingend durchzuführen
• Die maximale Stellfläche beträgt 1800 x 1800 mm
• Die maximale Bodenlast beträgt 400 kg pro m²
• Für das Abluftsystem und das Kühlwassersystem sind in den angrenzenden Räumen zusätzliche Stellflächen vorhanden
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen: Ein aktueller Handelsregisterauszug ist mit Angebotsabgabe einzureichen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Von allen Bewerbern, welche an der Ausschreibung teilnehmen, ist während der Ausschreibungsdauer eine Konzeption der geforderden Kristallzuchtanlage zu...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Von allen Bewerbern, welche an der Ausschreibung teilnehmen, ist während der Ausschreibungsdauer eine Konzeption der geforderden Kristallzuchtanlage zu erstellen. Das Konzept der Schutzvorkehrungen vor giftigen Bleioxid-haltigen Dämpfen und zur Filtration und Entsorgung Bleioxid-haltiger Kondensate ist dabei von besonderer Relevanz. Die Schutzvorkehrungen müssen in die bestehende Haustechnik integriert werden.
Deswegen wird während der Angebotsfrist von seitens des Auftraggebers ein Ortstermin zur Begehung angeboten. Die Teilnahme von Bietern an diesem Termin ist zwingend erforderlich, insofern Sie dies nicht bereits nachweislich getan haben.
Bewerber, welche an der Ausschreibung teilnehmen, müssen Referenzen für vergleichbare Schutzvorkehrungen vor Blei-oxidhalten Dämpfen in den Bereichen Keramik-, Glas- oder Metallverarbeitung vorweisen können.
Zudem ist eine Ortsbegehung für einen sichergestellten Antransport zum Aufstellort von allen Bietern zwingend durchzuführen.
Um die LPE-Anlage an dessen Verwendungsstelle zu positionieren, müssen folgende Grundspezifikationen des Gebäudes berücksichtigt werden:
• Der geplante Aufstellort ist ein Labor im Keller mit 3,70 m Deckenhöhe
• Zugang in das Gebäude ist entweder über einen Kellereingang oder eine Rampe ins Erdgeschoss möglich; der Kellereingang benötigt einen Kran zum Ablassen, die Rampe muss ab einem Gewicht von 400 kg zusätzlich abgestützt werden
• Außentür Keller: Breite 1530 mm, Höhe 2045 mm
• Labortür: Breite 1285 mm (mit ausgehangenen Flügeln), Höhe 2090 mm
• Damit ergibt sich ein lichtes Durchgangsmaß von Breite 1280 x Höhe 2045 mm
• Fahrstuhl: Türbreite: 880 mm, Höhe: 2050 mm, Länge: 2000 mm zulässige max. Traglast 1000 kg
• Die maximale Stellfläche beträgt 1800 x 1800 mm
• Die maximale Bodenlast beträgt 400 kg pro m²
• Für das Abluftsystem und das Kühlwassersystem sind in den angrenzenden Räumen zusätzliche Stellflächen vorhanden
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-02-19
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-04-15 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-02-19
23:59 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren)
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Zusätzliche Informationen
“weitere Angaben sind dem Leistungsverzeichnis und den Vergabebedingungen zu entnehmen” Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt – Vergabekammer des Freistaates Thüringen
Postanschrift: Weimarplatz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361573321254📞
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de📧
Fax: +49 361573321059 📠 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
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Quelle: OJS 2023/S 010-023412 (2023-01-10)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-03-07) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der...”
Kurze Beschreibung
Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 950 000 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der...”
Beschreibung der Beschaffung
Der Auftragsgegenstand umfasst Konzeption, Planung, Aufbau und Inbetriebnahme einer modernen Kristallzuchtanlage, welche speziell auf die Anforderungen der Flüssigphasenepitaxie (LPE) zugeschnitten ist. Mit der geplanten Anlage soll die Fähigkeit geschaffen werden, einkristalline Substratwafer mit einem Durchmesser von 4 Zoll zu beschichten. Um die gewünschten magnetischen und optischen Funktionseigenschaften einzustellen, müssen dafür eine ganze Reihe von Prozessparametern präzise eingestellt und überwacht werden. Beim LPE-Verfahren werden die Substratwafer in eine unterkühlte Schmelzlösung aus Fe2O3, Bi2O3, Ga2O3, B2O3 und PbO bei Temperaturen von 600 bis 1250°C eingetaucht. Dabei kann durch epitaktisches Kristallwachstum eine einkristalline Funktionsschicht abgeschieden werden. Anlagentechnisch ist der hohe Dampfdruck von Bleioxid zu beachten und es müssen entsprechende Sicherheitsvorkehrungen vorhanden sein, um die Exposition der Umgebung mit Blei-haltigen Verbindungen auszuschließen. Wesentliche Prozessparameter der Anlage sind ein definiert einstellbarer vertikaler Temperaturgradient im Ofen, sowie die Möglichkeit, Tiegel und Probenhalter in zeitlich programmierbaren Translations- und Rotationsbewegungen zu verfahren. Zusätzlich soll die Möglichkeit geschaffen werden, die Homogenisierung der Schmelze durch die Einkopplung einer definierten mechanischen Schwingung in den Tiegel zu verbessern. Das Anfahren der Zuchttemperatur durch Absenkung der Temperatur der Schmelze um ca. 100 K muss durch die Durchströmung des Ofenrohrs mit Druckluft auf eine Zeitspanne von wenigen Stunden reduziert werden können. Es müssen anlagentechnische Vorkehrungen getroffen werden, die erhöhte Abdampfung von Bleioxid während der Abkühlphase zu unterdrücken. Die Anlage muss außerdem die Möglichkeit bieten, die zu beschichtenden Wafer durch geeignete Prozessierung thermisch vor- und nachzubehandeln. Die Anlage muss als Komplettsystem mit allen zur Beschichtung von 4-Zoll-Wafern notwendigen Einbauten inklusive Leistungselektronik, Kühlwasser¬kreislaufsystem, Abluftsystem sowie Steuerungs- und Regelungssystem mit PC angeboten werden. Die Anforderungen an die einzelnen Prozessparamater sind zwingend dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen. Weitere Bedingungen sind in der Anlage "Vergabebedingungen" hinterlegt!
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2023/S 010-023412
Auftragsvergabe
1️⃣
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-03-07 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Volkert Maschinen- und Anlagenbau GmbH
Postort: Blaibach
Postleitzahl: 93476
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Cham🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 950 000 💰