Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Die IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping-Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern. Auf vorstrukturtierten Wafern (bis zum Kontaktmodul) soll ein Backend (Kupfer/Aluminimum Metallisierung) gefertigt werden. Das Backend soll mindestens folgende Spezifikation einhalten: - Mindestens 4 dünne Cu-Leitbahnen im 130nm Technologieniveau. - Mindestens 2 dicke Cu-Leitbahnen mit 3µm Dicke - Eine Top-Metallleitbahn aus Aluminium mit mindestens 2,5µm Dicke. - Des Weiteren soll ein MIM Kondensator mit mindestens 2fF/µm2 Flächendichte im Backend zur Verfügung stehen. - Das Backend soll eine qualifizierte Passivierung enthalten. Es sollen in den nächsten 3 Jahren pro Jahr mindestens 3 Maskensätze und ungefähr 36 Wafer mit einer Losgröße von je mindestens 6 Wafer gefertigt werden. Weiterhin sollen innerhalb von 3 Jahren ca. 60 Setup- oder Shortloop-Wafer gefertigt werden, die nur die oberste Aluminimum-Leitbahn und die Passivierung enthalten.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2024-01-11. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-12-11.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-12-11 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2023-12-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Kupfer-Backend-Prozessierung auf vorgefertigten Wafern
Kurze Beschreibung:
“Die IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping-Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern. Auf vorstrukturtierten Wafern...”    Mehr anzeigen
Art des Vertrags: supplies
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Die IHP GmbH benötigt im Rahmen eines MPW und Prototyping-Service Nachtbearbeitungsschritte an strukturierten 200mm Wafern. Auf vorstrukturtierten Wafern...”    Mehr anzeigen
Zusätzliche Informationen:
“#Besonders geeignet für:selbst#”
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Vergabekriterien
Preis
Preis (Gewichtung): 100
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2024-01-11 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2024-01-11 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60
Informationen zur elektronischen Auktion
Es wird eine elektronische Auktion durchgeführt
Informationen über eine Rahmenvereinbarung oder ein dynamisches Beschaffungssystem
Rahmenvereinbarung mit mehreren Betreibern

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Technische und berufliche Leistungsfähigkeit: Referenzen: Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Keine Losaufteilung”

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Nationale Registrierungsnummer: DE138996546
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: petau@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625337 📞
Fax: +49 335-5625333 📠
Art des öffentlichen Auftraggebers
Body governed by public law
Haupttätigkeit
Economic and financial affairs
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDY1L1HZWZH/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDY1L1HZWZH 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDY1L1HZWZH 🌏

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDY1L1HZWZH Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie...”    Mehr anzeigen
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Nationale Registrierungsnummer: t:03318661719
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postleitzahl: 14473
Postort: Potsdam
Region: Potsdam, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mwae.brandenburg.de 📧
Telefon: +49 331 866-1719 📞
Fax: +49 331 866-1652 📠
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Nationale Registrierungsnummer: t:03318661719
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postleitzahl: 14473
Postort: Potsdam
Region: Potsdam, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mwae.brandenburg.de 📧
Telefon: +49 331 866-1719 📞
Fax: +49 331 866-1652 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Nationale Registrierungsnummer: t:03318661719
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postleitzahl: 14473
Postort: Potsdam
Region: Potsdam, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mwae.brandenburg.de 📧
Telefon: +49 331 866-1719 📞
Fax: +49 331 866-1652 📠
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Quelle: OJS 2023/S 239-751757 (2023-12-11)