Lithographiesystem

Universität Leipzig

Der Leistungsgegenstand dieses Verfahrens ist ein Lithographiesystems zur direkten Erzeugung von Strukturen in Lacken, die auf Festkörperoberflächen aufgebracht sind, mit lateralen Abmessungen von 30 nm oder kleiner.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2024-01-18. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-12-13.

Wer?

• Universität Leipzig

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Leipzig › Leipzig, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2023-12-13	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2023-12-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lithographiesystem
Kurze Beschreibung:

Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Sonstige Beschränkungen am Erfüllungsort: Ort im betreffenden Land
Beschreibung
Interne Kennung: #1
Beschreibung der Beschaffung:

Es soll Standardstrukturierungsverfahren wie lift-off oder Ätzen ermöglichen. Der Schreibvorgang soll ohne Verwendung von (hoch)energetischen geladenen Teilchen stattfinden. Das System soll den Schreibprozess simultan überwachen und gegebenenfalls Prozessparameter durch Rückkopplungsprozesse in-situ korrigieren, um eine bestmögliche Übertragung des gewünschten Musters zu gewährleisten. Das System soll in der Lage sein, unter dem Lack befindliche Strukturen (z.B. Nanodrähte) zu erkennen um gewünschte Muster auf diesen zu realisieren. Die während eines Strukturierungsvorganges beschreibbare Fläche soll mindestens 50?m x 50?m betragen. Zudem muss ein "field stitching" möglich sein, falls größere Flächen strukturiert werden müssen. Die Genauigkeit beim field stitching muss 50nm oder darunter sein. Weiter soll präzises stitchung ohne künstliche Markierungen (alignment marker) möglich sein. Das System soll in der Lage sein, beliebig geformte Muster zu erstellen und zu schreiben. Weiter soll das System über ein optisches Mikroskop verfügen. Das System soll mittels Graustufenlithografie die Erzeugung von 3D Strukturen erlauben. Alle Das Mess- und Schreibfunktionen des Gerätes sollen über ein Computersystem bedient und durchgeführt werden können. Die Software soll es ermöglichen, Strukturen direkt in ein optische bzw. topografische Aufnahme einzufügen und nach Wunsch auszurichten. Softwareupdates sollen für mindestens 24 Monate kontenlos zur Verfügung gestellt werden. Weiter verfügt das System es über eine CAD Software, um Belichtungsdaten zu erstellen und zu editieren als auch über eine Konvertierungssoftware, welche den Umgang mit verschiedenen Datenformaten wie beispielsweise gds oder bitmap gewährt.

Art des Vertrags: Lieferungen
Stadt: Leipzig
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Leipzig, Kreisfreie Stadt 🏙️
Informationen zu elektronischen Katalogen
Die Angebote müssen in Form von elektronischen Katalogen eingereicht werden oder einen elektronischen Katalog enthalten
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technischer Wert des Lithografiesystems
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Wert der Software, sowie Bedienkomfort / Bedienerfreundlichkeit der Software (bündelt alle technischen und sonstigen Details der Software zur Steuerung, Analyse usw.)
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service- und Wartungsfreundlichkeit, Betriebs- und Instandhaltungs-kosten des Systems für den Zeitraum der ersten 5 Jahre
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Umfang / Konzept der im Angebot enthaltenen Schulung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Betreuung/Kundendienst/Service
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2024-01-18 23:59:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2024-01-19 09:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2024-01-19 09:00:00 📅
Elektronischer Katalog: Zulässig
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Zusätzliche Informationen:

Aus der Unterlage "Angaben zur Eignung sowie Erklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen" geht hervor: Diese Vorlage ist vollständig ausgefüllt dem Angebot beizufügen. Fehlt eine Angabe führt dies zum Ausschluss vom Verfahren. Der Auftraggeber fordert nicht nach.

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:

a) Eigenerklärung über die Eintragung in ein Handels- oder Berufsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Herkunftslandes oder über die Gründe des Fehlens einer solchen Eintragung.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:

b) Erklärung über die pflichtgemäße Zahlung von Steuern, Abgaben und Sozialbeiträgen c) Erklärung über den Gesamtumsatz für die letzten drei Geschäftsjahre d) Erklärung über den Umsatz im Tätigkeitsbereich des Auftrags für die letzten drei Geschäftsjahre f) Eigenerklärung gemäß § 123 GWB g) Eigenerklärung gemäß § 124 GWB h) Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 (Anwendung der Russland-Sanktionen im Bereich der Vergabe öffentlicher Aufträge)

Technische und berufliche Fähigkeiten

e) Angabe von Referenzen, bezogen auf den Leistungsgegenstand, über wesentlich ausgeführte Liefer- und Dienstleistungsaufträge in den letzten drei Jahren

Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung: wie in den Vergabeunterlagen beschrieben
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrugsbekämpfung

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 20 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Entrichtung von Steuern

Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Konkurs

Korruption

Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Vergleichsverfahren

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge

Zahlungsunfähigkeit

Beschreibung der Ausschlussgründe: Zwingende bzw. fakultative Ausschlussgründe nach §§ 123 bis 126 GWB

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Universität Leipzig
Nationale Registrierungsnummer: DE 141 51 0 383
Postanschrift: Ritterstraße 26
Postleitzahl: 04109
Postort: Leipzig
Region: Leipzig, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Dezernat 5, Sachgebiet 53 - Vergabestelle-
E-Mail: vergabestelle@zv.uni-leipzig.de 📧
Telefon: +49 341 97 3100 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4Y9SHHCB/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4Y9SHHCB 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4Y9SHHCB 🌏
Sprache des Beschaffungsdokuments: Deutsch 🗣️
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Elektronischer Katalog: Zulässig

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4Y9SHHCB
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Nationale Registrierungsnummer: keine Angabe
Postanschrift: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen, PF 10 13 64
Postleitzahl: 04103
Postort: Leipzig
Region: Leipzig, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@lds.sachsen.de 📧
Telefon: +49 3419773800 📞
Fax: +49 3419771049 📠
Körper überprüfen
Wie: Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2023-12-13+01:00 📅
Quelle: OJS 2023/S 241-757786 (2023-12-13)

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