Los 1:
Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE ist dabei der unter anderem epitaktischen Abscheidung von Materialien mit hohem Schmelzpunkt und niedrigem Dampfdruck (z. B. Pt,Ta,W) sowie von Metallen mit Schmelzpunkten bis 1500°C und Oxiden gewidmet. Es soll dabei ein Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer mit Flussratenmessung zum Einsatz kommen, sowie die Möglichkeit geboten werden, das Substrat auf 1000°C heizen und <120K zu kühlen.
Los2:
Die Sputteranlage soll dabei das Abscheiden von antiferro- und ferromagnetischen Materialien, sowie Materialien mit hohem Spin-Hall-Winkel (z.B. Pt, Ta, W) und guter magnetischer Kopplungseigenschaft (z.B. Ru, Ir) zweier magnetischer Lagen übernehmen. Es werden mindestens 8 Sputterquellenflansche für 2“-Sputterquellen benötigt.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-03-20.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-02-20.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: MBE-Sputtering-Dünnschicht- Wachstumsanlage
2023PGE000002WU
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Los 1:
Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie...”
Kurze Beschreibung
Los 1:
Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE ist dabei der unter anderem epitaktischen Abscheidung von Materialien mit hohem Schmelzpunkt und niedrigem Dampfdruck (z. B. Pt,Ta,W) sowie von Metallen mit Schmelzpunkten bis 1500°C und Oxiden gewidmet. Es soll dabei ein Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer mit Flussratenmessung zum Einsatz kommen, sowie die Möglichkeit geboten werden, das Substrat auf 1000°C heizen und <120K zu kühlen.
Los2:
Die Sputteranlage soll dabei das Abscheiden von antiferro- und ferromagnetischen Materialien, sowie Materialien mit hohem Spin-Hall-Winkel (z.B. Pt, Ta, W) und guter magnetischer Kopplungseigenschaft (z.B. Ru, Ir) zweier magnetischer Lagen übernehmen. Es werden mindestens 8 Sputterquellenflansche für 2“-Sputterquellen benötigt.
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Angebote können für alle Lose eingereicht werden
1️⃣ Umfang der Beschaffung
Titel: Los 1 MBE System
Titel
Los-Identifikationsnummer: 1
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Ort der Leistung: Regensburg, Kreisfreie Stadt🏙️
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Universität Regensburg (Auftraggeber) plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für...”
Beschreibung der Beschaffung
Die Universität Regensburg (Auftraggeber) plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- und Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE-Anlage soll dabei Platz für mindestens 7 Zellen aufweisen, einen Manipulator, der zum Probenheizen (>1000°C) und Kühlen (<120K) geeignet ist, zudem ein RHEED System für in-situ Prozessverfolgung, einen Restgasanalysator, ein ausreichendes, ölfreies Pumpensystem, um das System auf einen niedrigen Basisdruck zu bringen, was durch die Kombination aus Turbomolekular- und Ionen-Getter-Pumpen bewerkstelligt werden soll und eine Quarzwaage zur Flussrateneichung. Zudem soll eine separat gepumpte und eigenständig ausheizbare Zusatzkammer an der Hauptkammer installiert sein, welche einen Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer (MPES) einhausen und die Möglichkeit zur Flusskontrolle und -steuerung durch einen cross-beam Quadrupol-Massenanalysator bieten muss. Ein solches Kammersystem hat den Vorteil, dass der MPES befüllt und ausgeheizt werden kann, ohne das Vakuum in der Hauptkammer zu brechen. Zudem soll die MBE einen internen Kühlmantel (Shroud) aufweisen, der die Zellenöffnungen kühlt und den Wärmeeintrag und dadurch die Druckerhöhung beim Betrieb der Verdampferzellen minimiert. Es wird jedoch gefordert, dass dieser Shroud horizontal zweigeteilt ist, wobei beide Teile unabhängig voneinander mit verschiedenen Kühlflüssigkeiten wie Wasser oder Flüssigstickstoff (LN2) betrieben werden können, was die Kosten- und Energieeffizienz solcher Anlagen erheblich steigert. Der Manipulator muss die bestehenden Probenhalter (3-Pin 2"-Probenhalterdesign) aus einer Transferkammer aufnehmen können. Eine halbautomatische Steuerung der Anlage, so dass auch komplexere Schichtfolgen gewachsen werden können, wird ebenfalls gefordert. Zudem wird eine Standard-Effusionszelle heizbar bis 1400°C inkl. steuerbarem Netzgerät und zwei Hochtemperaturzellen bis 1700°C inkl. steuerbarem Netzgerät gefordert.
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Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2023-05-31 📅
2️⃣ Umfang der Beschaffung
Titel: Los2 Sputtersystem
Titel
Los-Identifikationsnummer: 2
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems....”
Beschreibung der Beschaffung
Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die Sputterkammer muss ein UHV-System sein, welches Platz für mindestens 8-Sputterquellen aufweist und mindestens drei verschiedene Prozessgase (Ar, N, O) erlaubt. Der Manipulator muss die Proben auf mindestens 1000°C bei einem partiellen Sauerstoffdruck von >1e-2mbar heizen können und während des Abscheidevorgangs muss die Rotation und das Anlegen einer Vorspannung möglich sein. Die Sputteranlage muss mit mindestens 8 Stück 2-Zoll-Sputterquellen und zwei 750W-DC und zwei 300W-AC Generatoren/Netzteilen und dazu zwei 4-Wege Switchbox ausgestattet sein. Die einzelnen Sputterquellen sollen dabei konfokal angeordnet sein und zudem soll der Neigungswinkel einzelner Sputterquellen in-situ einstellbar sein. Das Sputtersystem muss ausheizbar sein und eine Probenschleuse soll vorhanden sein, welche zudem mindestens 4 Proben auf einmal aufnehmen und in-situ lagern kann. Das System muss darüber hinaus die bestehenden Probenhalter (3-Pin 2“-Probenhalterdesign) aufnehmen können. Eine halbautomatische Steuerung der Anlage, so dass auch komplexere Schichtfolgen gewachsen werden können, wird auch gefordert.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung: AAB´s der Universität Regensburg
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-03-20
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-05-31 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-03-20
10:00 📅
Ergänzende Informationen Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2023/S 040-118816
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: I.3)
Ort des zu ändernden Textes: Kommunikation
Alter Wert
Text:
“Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter...”
Mehr anzeigen Neuer Wert
Text:
“Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter...”
Mehr anzeigen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.2
Ort des zu ändernden Textes: Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Alter Wert
Text: Tag: 20.03.2023
Ortszeit: 10:00
Neuer Wert
Text: Tag: 27.03.2023
Ortszeit: 10:00
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.7
Ort des zu ändernden Textes: Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Alter Wert
Text: Tag: 20.03.2023
Ortszeit: 10:00
Neuer Wert
Text: Tag: 27.03.2023
Ortszeit: 10:00
Quelle: OJS 2023/S 042-124633 (2023-02-23)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-05-23) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 480 000 💰
Informationen über Lose
Dieser Vertrag ist in Lose unterteilt ✅ Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70
Kostenkriterium (Name): Preis
Kostenkriterium (Gewichtung): 30
Preis
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2023/S 040-118816
Auftragsvergabe
1️⃣
Los-Identifikationsnummer: 1
Titel: Los 1 MBE System
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-05-23 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH
Postanschrift: Josef-Beyerle-straße 18/1
Postort: Weil der Stadt
Postleitzahl: 71263
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Böblingen🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 480 000 💰
2️⃣
Los-Identifikationsnummer: 2
Titel: Los2 Sputtersystem
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Andere Gründe (Abbruch des Verfahrens)
Quelle: OJS 2023/S 101-313952 (2023-05-23)