MBE-Sputtering-Dünnschicht- Wachstumsanlage

Universität Regensburg

Los 1:
Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE ist dabei der unter anderem epitaktischen Abscheidung von Materialien mit hohem Schmelzpunkt und niedrigem Dampfdruck (z. B. Pt,Ta,W) sowie von Metallen mit Schmelzpunkten bis 1500°C und Oxiden gewidmet. Es soll dabei ein Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer mit Flussratenmessung zum Einsatz kommen, sowie die Möglichkeit geboten werden, das Substrat auf 1000°C heizen und <120K zu kühlen.
Los2:
Die Sputteranlage soll dabei das Abscheiden von antiferro- und ferromagnetischen Materialien, sowie Materialien mit hohem Spin-Hall-Winkel (z.B. Pt, Ta, W) und guter magnetischer Kopplungseigenschaft (z.B. Ru, Ir) zweier magnetischer Lagen übernehmen. Es werden mindestens 8 Sputterquellenflansche für 2“-Sputterquellen benötigt.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-03-20. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-02-20.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH

Wer?

• Universität Regensburg

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Oberpfalz › Regensburg, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2023-02-20	Auftragsbekanntmachung
2023-02-23	Ergänzende Angaben
2023-05-23	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2023-02-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 2023PGE000002WU
Kurze Beschreibung:

Los 1: Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE ist dabei der unter anderem epitaktischen Abscheidung von Materialien mit hohem Schmelzpunkt und niedrigem Dampfdruck (z. B. Pt,Ta,W) sowie von Metallen mit Schmelzpunkten bis 1500°C und Oxiden gewidmet. Es soll dabei ein Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer mit Flussratenmessung zum Einsatz kommen, sowie die Möglichkeit geboten werden, das Substrat auf 1000°C heizen und <120K zu kühlen. Los2: Die Sputteranlage soll dabei das Abscheiden von antiferro- und ferromagnetischen Materialien, sowie Materialien mit hohem Spin-Hall-Winkel (z.B. Pt, Ta, W) und guter magnetischer Kopplungseigenschaft (z.B. Ru, Ir) zweier magnetischer Lagen übernehmen. Es werden mindestens 8 Sputterquellenflansche für 2“-Sputterquellen benötigt.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Regensburg, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Regensburg
Postanschrift: Universitätsstraße 31
Postleitzahl: 93053
Postort: Regensburg
Kontakt
Internetadresse: https://www.auftraege.bayern.de 🌏
E-Mail: ausschreibung@ur.de 📧
Fax: +49 9419432331 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/external/deeplink/subproject/adbe12cd-9002-44d2-bbb7-413b27b9c562 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/external/deeplink/subproject/adbe12cd-9002-44d2-bbb7-413b27b9c562 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-02-20 📅
Einreichungsfrist: 2023-03-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-02-24 📅
Datum des Beginns: 2023-05-31 📅
Datum des Endes: 2024-04-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 040-118816
ABl. S-Ausgabe: 40

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Los 1:

Die Universität Regensburg plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE ist dabei der unter anderem epitaktischen Abscheidung von Materialien mit hohem Schmelzpunkt und niedrigem Dampfdruck (z. B. Pt,Ta,W) sowie von Metallen mit Schmelzpunkten bis 1500°C und Oxiden gewidmet. Es soll dabei ein Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer mit Flussratenmessung zum Einsatz kommen, sowie die Möglichkeit geboten werden, das Substrat auf 1000°C heizen und <120K zu kühlen.

Los2:

Die Sputteranlage soll dabei das Abscheiden von antiferro- und ferromagnetischen Materialien, sowie Materialien mit hohem Spin-Hall-Winkel (z.B. Pt, Ta, W) und guter magnetischer Kopplungseigenschaft (z.B. Ru, Ir) zweier magnetischer Lagen übernehmen. Es werden mindestens 8 Sputterquellenflansche für 2“-Sputterquellen benötigt.

Bezeichnung des Loses: Los 1 MBE System
Losnummer: 1
Kurze Beschreibung:

Die Universität Regensburg (Auftraggeber) plant in der Fakultät für Physik die Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- und Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die MBE-Anlage soll dabei Platz für mindestens 7 Zellen aufweisen, einen Manipulator, der zum Probenheizen (>1000°C) und Kühlen (<120K) geeignet ist, zudem ein RHEED System für in-situ Prozessverfolgung, einen Restgasanalysator, ein ausreichendes, ölfreies Pumpensystem, um das System auf einen niedrigen Basisdruck zu bringen, was durch die Kombination aus Turbomolekular- und Ionen-Getter-Pumpen bewerkstelligt werden soll und eine Quarzwaage zur Flussrateneichung. Zudem soll eine separat gepumpte und eigenständig ausheizbare Zusatzkammer an der Hauptkammer installiert sein, welche einen Multi-Pocket-Elektronenstrahlverdampfer (MPES) einhausen und die Möglichkeit zur Flusskontrolle und -steuerung durch einen cross-beam Quadrupol-Massenanalysator bieten muss. Ein solches Kammersystem hat den Vorteil, dass der MPES befüllt und ausgeheizt werden kann, ohne das Vakuum in der Hauptkammer zu brechen. Zudem soll die MBE einen internen Kühlmantel (Shroud) aufweisen, der die Zellenöffnungen kühlt und den Wärmeeintrag und dadurch die Druckerhöhung beim Betrieb der Verdampferzellen minimiert. Es wird jedoch gefordert, dass dieser Shroud horizontal zweigeteilt ist, wobei beide Teile unabhängig voneinander mit verschiedenen Kühlflüssigkeiten wie Wasser oder Flüssigstickstoff (LN2) betrieben werden können, was die Kosten- und Energieeffizienz solcher Anlagen erheblich steigert. Der Manipulator muss die bestehenden Probenhalter (3-Pin 2"-Probenhalterdesign) aus einer Transferkammer aufnehmen können. Eine halbautomatische Steuerung der Anlage, so dass auch komplexere Schichtfolgen gewachsen werden können, wird ebenfalls gefordert. Zudem wird eine Standard-Effusionszelle heizbar bis 1400°C inkl. steuerbarem Netzgerät und zwei Hochtemperaturzellen bis 1700°C inkl. steuerbarem Netzgerät gefordert.

Bezeichnung des Loses: Los2 Sputtersystem
Losnummer: 2
Kurze Beschreibung:

Beschaffung eines neuen Clusters bestehend aus Anlagen für Molekularstrahlepitaxie (MBE), einer Aufdampf- bzw. Oxidationsanlage und eines Sputtersystems. Die Sputterkammer muss ein UHV-System sein, welches Platz für mindestens 8-Sputterquellen aufweist und mindestens drei verschiedene Prozessgase (Ar, N, O) erlaubt. Der Manipulator muss die Proben auf mindestens 1000°C bei einem partiellen Sauerstoffdruck von >1e-2mbar heizen können und während des Abscheidevorgangs muss die Rotation und das Anlegen einer Vorspannung möglich sein. Die Sputteranlage muss mit mindestens 8 Stück 2-Zoll-Sputterquellen und zwei 750W-DC und zwei 300W-AC Generatoren/Netzteilen und dazu zwei 4-Wege Switchbox ausgestattet sein. Die einzelnen Sputterquellen sollen dabei konfokal angeordnet sein und zudem soll der Neigungswinkel einzelner Sputterquellen in-situ einstellbar sein. Das Sputtersystem muss ausheizbar sein und eine Probenschleuse soll vorhanden sein, welche zudem mindestens 4 Proben auf einmal aufnehmen und in-situ lagern kann. Das System muss darüber hinaus die bestehenden Probenhalter (3-Pin 2“-Probenhalterdesign) aufnehmen können. Eine halbautomatische Steuerung der Anlage, so dass auch komplexere Schichtfolgen gewachsen werden können, wird auch gefordert.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung: AAB´s der Universität Regensburg

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-05-31 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-03-20 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Peter, Georgine
Dokumente URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/external/deeplink/subproject/adbe12cd-9002-44d2-bbb7-413b27b9c562 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern
Postanschrift: Promenade 27
Postort: Ansbach
Postleitzahl: 91522
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 981531277 📞
E-Mail: vergabekammer.nordbayern@reg-mfr.bayern.de 📧
Fax: +49 981531837 📠
Quelle: OJS 2023/S 040-118816 (2023-02-20)

Ergänzende Angaben (2023-02-23)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-02-23 📅
Einreichungsfrist: 2023-03-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-02-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 042-124633
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 040-118816
ABl. S-Ausgabe: 42
Quelle: OJS 2023/S 042-124633 (2023-02-23)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-05-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 480 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Gemischt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-05-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-05-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 101-313952
ABl. S-Ausgabe: 101

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70
Kostenkriterium (Name): Preis
Kostenkriterium (Gewichtung): 30

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-05-23 📅
Name: Dr. Eberl MBE-Komponenten GmbH
Postanschrift: Josef-Beyerle-straße 18/1
Postort: Weil der Stadt
Postleitzahl: 71263
Land: Deutschland 🇩🇪
Böblingen 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 480 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2023/S 101-313952 (2023-05-23)

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