OPENSENS/2

Kurze Beschreibung

Im Rahmen des Projektes "Optimierte Entwicklungsumgebung für ein ressourcenschonendes Mikrosensorik-Prototyping" möchte das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH in ein Testsystem zur Parametererfassung sowie in Zubehör für einen vollautomatisierten Waferprober (Typ MPI TS2000-IFE) investieren. In Kombination mit dem bereits beschafften Probing-System soll eine permanente Parametererfassung für das Mikrosensorik-Prototyping auf 6"-Waferebene ermöglicht werden.
Verbunden mit einer leistungsfähigen schnellen Parameteroptimierung werden ressourcenschonende Entwicklungsprozesse möglich und flexible Entwicklungsergebnisse in kurzer Zeit zielgenau realisierbar (first time right).

Beschreibung der Beschaffung

Testsystem inkl. Waferprober-Zubehör
Lieferumfang:
Das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH benötigt ein Testsystem zur Charakterisierung der Sensoren und Teststrukturen auf den Si-Wafern und Waferverbünden inkl. diverses Zubehör für einen vollautomatisierten Waferprober. Das Testsystem soll zu den vorhandenen Messprogrammen und -routinen kompatibel sein.
Vorhandene Medien sind:
- Stromanschluss 2-polig mit zusätzlicher Erdung 32 A
- Vakuum
- Reinstluft für Pneumatik (> 6 Bar)
- Ethernetanschluss
- Aufstellfläche + Wartungsbereich 2500 mm x 2000 mm
- Max. Anlagenhöhe: 2800 mm
Der Raumplan, mit vorhandenen Medien und Transportwegen, kann auf Anfrage zugestellt werden.
Anlagenbeschreibung:
Technische Daten:
Anforderungen an das Messsystem:
Das Messsystem zur Paramtererfassung soll folgende Eigenschaften bieten:
- Durchführung von DC I-V und C-U Messungen
- Schaltmatrix mit >= 36 Kanälen zum Schalten und Messen von niedrigen Strömen (pA) und Spannungen bis zu 1300V, Eingänge für Low Current, General Purpose sowie C-V Messung.
- Hochspannung SMU mit >=1kV Ausgangsspannung, 1A, 20W, Vierquadrantenbetrieb, Measurement Resolution 10fA/100nV, TSP support
- Alle Geräte fernsteuerbar über LAN und GPIB
- Triax-Anschlüsse oder Adapter
- 19" Rack inkl. Einbau und zusätzlichen Einlegeböden + Steckdosen, 38 HE
Benötigtes Zubehör für Waferprober System (Typ MPI TS2000-IFE):
Probecard System zum schnellen Wechsel von Probecards im Testfeld:
- Triaxial Anschlüsse zum Messen von pA
- Kabelbaum zur Verkabelung mit Switchmatrix und Prober (z.B. Kantensucher) mit bis zu 36 Kanälen
- Nadelkarten mit bis zu 30 Nadeln, projektspezifisch nachrüstbar
- Temperaturbereich: 20°C - 200°C
- Probecard muss in einer vorgegebenen Zeit ausgetauscht werden können:
o Zeit t für Austauch: < 30s
- Inkl. Muster Probecard mit 2x12 Nadeln für Pads Größe 100x100µm, Pitch in x-Richtung: 140µm, y-Richtung: 300µm
Waferprober (MPI TS2000-IFE) Erweiterungskit:
- Spezialchuckadapter 8" auf 4" zur Messung von 4"-Differenzdruck-Sensorwafern (Vakuumansaugung nur am Waferrand (3,5mm) - Mitte ist hinterlüftet über Schlauchanschluss)
- Spezialchuckadapter 8" auf 4" zur Messung von beidseitigstrukturierten 4"-Fotodetektor-Wafern mit Randauflage (4,0mm breit) und Randansaugung
- Umbau Kit 4" für Waferhandling System mit folgenden Eigenschaften:
o Es sollen mindestens 25 Stück 4-Zoll-Wafer bis 0,675 mm Dicke im Batch gehandelt werden können
o Das Waferhandling soll ausschließlich im 3,5 mm breiten Randbereich (doppelseitig polierte Wafer) erfolgen
o Kassettenstation, 25 Wafer pro Kassette bis 0,675 mm Dicke, e-Pak kompatibel oder 12 Wafer-Kassette für Waferverbünde 4" mit einer Dicke von 3,5 mm
- Zweite Kassette für Standardwafer 4" - 0,675mm Dicke
- 2 Spezialkassetten für Waferverbünde 4" mit einer Dicke von 3,5mm
- Edgesenorkit, Schnittstelle zum Anschluss von 2 Kantensensoren, kompatible mit MPI TS2000 und Sentio, 3,5 mm Klinken-Stecker
2 manuelle Positionierer (je 1x links, je 1x rechts positionierbar) mit 12,5 mm XYZ Verfahrbereich mit 1 µm Auflösung einschließlich high performance DC Mess-Spitze (erweiterter Temperaturbereich >200°C, low noise, fully guarded, fA) mit Arm für Triaxan-schluss sowie Messspitzen und Kabel mit Triaxialanschlüssen.
1 Adapter C-Mount Aufnahmen für eine Kamera ohne Fokusanpassung passend für PSM-1000 / VIS200-S Mikroskope
Benötigtes Zubehör für Waferprober System (Süss PA200):
- Spezialchuckadapter zur Messung von 6" Differenzdruck-Sensorenwafern, genauere Spezifikation auf Anfrage
Softwarepaket:
- Softwarepaket zum Testen und Charakterisieren elektronischer Bauteile und Waferstrukturen mittels Testskript (LUA, Python, C#)
- Eingebauter Testsequenzer
- Variable Schnittstelle zur Geräteprogrammierung
- Frei programmierbare GUI
- Steuerbar über Remote-Kommandos
- Grafische und Tabellarische Darstellung der Messdaten
- Vorgefertigte Gerätetreiber für Testsytem (siehe oben) sowie für Waferprober (MPI, Formfactor Velox)
- Softwarelizenz für 2 Messplätze
- Softwareupdates für mind. 5 Jahre und Windows 10/11 Unterstützung
Weiteres:
- Gewährleistung von 24 Monaten
- Angabe eines Service-/Kalibrierkonzepts
- Angabe von Wartungsintervallen, Wartungskosten, Betriebskosten pro Jahr
- Angabe von 2 Referenzen über vergleichbare Anlagen
Dokumente:
- Bedienungsanleitung für alle Komponenten in deutscher/englischer Sprache
- Aufstell- und Anschlussbedingungen bzw. -parameter
Liefer- und Anschlussbedingungen:
- Verpackung inklusive
- Versand inklusive
- Transportversicherung inklusive
- Aufstellung inklusive, Einbringung 1. OG
- Installation inklusive
- Inbetriebnahme inklusive
- Nachweis der Funktionsfähigkeit aller Komponenten
- Einweisung und Schulung/ Training (2 Tage) der Nutzer (bis zu 4 Personen)

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:
1) Formblatt L 124_EU Eigenerklärung zur Eignung mit Erklärungen zu:
- Angabe über Ausschlussgründe gemäß § 42 VgV in Verbindung mit §§ 123 und § 124 GWB
- Angabe zu Insolvenzverfahren und Liquidation
- Angabe zur Zahlung von Steuern und Abgaben und Beiträgen zur Sozialversicherung
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
2) Berufs- bzw. Handelsregisterauszug
3) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes - soweit Finanzamt Bescheinigungen ausstellt
4) gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung der tariflichen Sozialkasse - soweit Betrieb beitragspflichtig
5) Freistellungsbescheinigung nach § 48b EstG
6) Eintragung in der Handwerksrolle oder bei der Industrie- oder Handwerkskammer oder sonstiger Nachweis
Da die Vergabestelle nach § 36 Abs. 5 Satz 1 VgV gehalten ist, vor der Zuschlagserteilung in Bezug auf reine Nachunternehmer die Voraussetzungen des §§ 123, 124 GWB zu prüfen, sind die Unterlagen 1) - 6) ggf. vom Nachunternehmer
(ohne Eignungsleihe) auf gesondertes Anfordern vorzulegen.
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen.
Der Nachweis einer Befähigung zur Berufsausübung kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft vorzulegen:
Nachweis einer Berufs- oder Betriebshaftpflichtversicherung für Personenschäden in Höhen von mindestens 2.000.000,00 EUR und für Sach- und Vermögensschäden in Höhe von 2.000.000,00 EUR gemäß Ziffer III der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU)
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
7) Zusicherung der Versicherung bzw. entsprechender Versicherungsnachweis
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:
Vorlage geeigneter Referenzen (mindestens zwei Referenzen) über früher ausgeführte Liefer- und Dienstleistungen der in den letzten drei Jahren erbrachten wesentlichen Leistungen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU).
Aus der Beschreibung der Referenz muss klar erkennbar sein, welche Leistungen der Bewerber oder das Mitglied der Bewerbergemeinschaft oder ein Dritter, auf dessen Leistungsfähigkeit abgestellt wird, selbstdurchgeführt hat. Die bloße untergeordnete Mitwirkung ist nicht ausreichend. Der Auftraggeber behält sich die Überprüfung der Angaben bei den Referenzauftraggebern sowie eigene Ermittlungen vor. Die Ergebnisse der eigenen Ermittlungen werden bei der Bewertung Berücksichtigung finden.
Lieferant weist die technologischen Parameter an einer Demoanlage mit gleicher Ausstattung unter Reinraumbedingungen in Form von Testwafern nach.
Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will auf gesondertes Verlangen vorzulegen:
8) Bescheinigung über die ordnungsgemäße Ausführung und das Ergebnis der genannten Leistungen
Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrensgeführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG). Es müssen mindestens zwei Referenzen vorgelegt werden.

Bedingungen für die Vertragserfüllung

Ausführungsbedingungen nach dem Thüringer Vergabegesetz:
- Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG - Kontrollen sowie § 18 ThürVgG - Sanktionen
- Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)
- Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)
Gemäß § 12a Abs. 2 ThürVgG weisen wir darauf hin, dass der Bestbieter im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen muss und dass, bei nicht fristgerechter Vorlage, das Angebot von der Wertung auszuschließen ist.
Es handelt sich dabei um folgende Erklärungen und Nachweise:
- Formblatt "Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG -Kontrollen sowie § 18 ThürVgG - Sanktionen"
- Formblatt "Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
- Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
Zudem müssen im Falle eines anfänglichen Nachunternehmereinsatzes spätestens vor der Auftragserteilung folgenden Formblätter beim Auftraggeber vorliegen:
- Formblatt "Verpflichtung des Nachunternehmers zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
- Formblatt "Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)"
Der Bestbieter muss im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen. Bei nicht fristgerechter Vorlage ist das Angebot von der Wertung auszuschließen.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

"Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:
1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zuwollen, vergangen sind."