PECVD-Anlage zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika

Technische Universität Darmstadt

Ausgeschrieben wird eine Anlage zur plasma-aktivierten chemischen Gasabscheidung (PECVD) zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika. Die abzuscheidenden Dielektrika finden Anwendung als Isolationsschicht, Passivierungsschicht, Hartmasken für Ätzprozesse, Antireflexvergütung, dielektrische Spiegel und mikro-elektro-mechanisch durchstimmbare Systeme (MEMS).

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-03-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-02-27.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-02-27 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2023-02-27)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Technische Universität Darmstadt
Postanschrift: Karolinenplatz 5
Postort: Darmstadt
Postleitzahl: 64289
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Dez. III E - Einkauf und Materialwirtschaft
Telefon: +49 6151/16-24551 📞
E-Mail: vergabestelle@pvw.tu-darmstadt.de 📧
Fax: +49 6151 / 16-24553 📠
Region: Darmstadt, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.tu-darmstadt.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YDQYWW2J1MDC/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://satellite.dtvp.de/Satellite/notice/CXS0YDQYWW2J1MDC 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Bildung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“PECVD-Anlage zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika A 301-23-41”
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung:
“Ausgeschrieben wird eine Anlage zur plasma-aktivierten chemischen Gasabscheidung (PECVD) zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Darmstadt, Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Technische Universität Darmstadt Karolinenplatz 5 64289 Darmstadt
Beschreibung der Beschaffung:
“Wünschenswerte Ausstattung: - Abgasreinigung/Scrubber passend zum Großgerät. Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 9

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die unter III.1.1)-III.1.3) verlangten Erklärungen und Nachweise sind ausschließlich unter Verwendung der der Aufforderung zur Angebotsabgabe als Anlagen...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Erklärung über das Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von 3 Mio. EUR pauschal bei Personen-, Sach- und Vermögensschäden je...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der notwendigen...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-03-30 12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-04-28 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-03-30 12:00 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der notwendigen...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Hessen beim Regierungspräsidium Darmstadt
Postanschrift: Dienstgebäude: Wilhelminenstraße 1-3 Fristenbriefkasten Luisenplatz 2
Postort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland 🇩🇪
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Landes Hessen beim Regierungspräsidium Darmstadt
Postanschrift: Dienstgebäude: Wilhelminenstraße 1-3 Fristenbriefkasten Luisenplatz 2
Postort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland 🇩🇪
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer des Landes Hessen beim Regierungspräsidium Darmstadt
Postanschrift: Dienstgebäude: Wilhelminenstraße 1-3 Fristenbriefkasten Luisenplatz 2
Postort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2023/S 045-133625 (2023-02-27)