Ausgeschrieben wird eine Anlage zur plasma-aktivierten chemischen Gasabscheidung (PECVD) zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika. Die abzuscheidenden Dielektrika finden Anwendung als Isolationsschicht, Passivierungsschicht, Hartmasken für Ätzprozesse, Antireflexvergütung, dielektrische Spiegel und mikro-elektro-mechanisch durchstimmbare Systeme (MEMS).
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-03-30.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-02-27.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“PECVD-Anlage zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika
A 301-23-41”
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Ausgeschrieben wird eine Anlage zur plasma-aktivierten chemischen Gasabscheidung (PECVD) zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer...”
Kurze Beschreibung
Ausgeschrieben wird eine Anlage zur plasma-aktivierten chemischen Gasabscheidung (PECVD) zur Prozessierung von Halbleiterstrukturen und optischer Dielektrika. Die abzuscheidenden Dielektrika finden Anwendung als Isolationsschicht, Passivierungsschicht, Hartmasken für Ätzprozesse, Antireflexvergütung, dielektrische Spiegel und mikro-elektro-mechanisch durchstimmbare Systeme (MEMS).
1️⃣
Ort der Leistung: Darmstadt, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Technische Universität Darmstadt Karolinenplatz 5 64289 Darmstadt
Beschreibung der Beschaffung:
“Wünschenswerte Ausstattung:
- Abgasreinigung/Scrubber passend zum Großgerät.
Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der...”
Beschreibung der Beschaffung
Wünschenswerte Ausstattung:
- Abgasreinigung/Scrubber passend zum Großgerät.
Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der notwendigen Spezifikationen (Typ, Durchsatz, Filtermaterial, Jahresmenge). Geschätzte Prozessstunden /Jahr: 770h
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 9
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die unter III.1.1)-III.1.3) verlangten Erklärungen und Nachweise sind ausschließlich unter Verwendung der der Aufforderung zur Angebotsabgabe als Anlagen...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Die unter III.1.1)-III.1.3) verlangten Erklärungen und Nachweise sind ausschließlich unter Verwendung der der Aufforderung zur Angebotsabgabe als Anlagen beigefügten Formblätter zu erbringen. Die Nachweise und Erklärungen sind bei Bietergemeinschaften von allen Mitgliedern der Bietergemeinschaft zu erbringen.
Der Auftraggeber wird von dem für den Zuschlag vorgesehenen Bieter vor Zuschlagserteilung unter Fristsetzung von sämtlichen NU darüber hinaus die Erklärungen nach Ziff. III.1.1.) 1.) bis 2.) und Ziffer III.1.2.)1.) (siehe nachfolgend) anfordern. Werden diese Unterlagen nicht vorgelegt, wird das Angebot ausgeschlossen.
Folgende Erklärungen und Nachweise sind von den Bietern/Bietergemeinschaften einzureichen:
1. Kopie der Anmeldungs- bzw. Eintragungsbescheinigung ins Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Heimatlandes; andernfalls vergleichbarer Nachweis für die Existenz und den Gegenstand des Unternehmens des Bieters/jedes Mitglieds der Bietergemeinschaft. Der Auszug aus dem Handelsregister darf zum Zeitpunkt des Schlusstermins für den Eingang der Teilnahmeanträge nicht älter als 6 Monate sein.
2. Eigenerklärung des Bieters/der Bietergemeinschaft, dass keine Ausschlussgründe nach §§ 123, 124 GWB vorliegen.
3. Verpflichtungserklärung zu Tariftreue- und Mindestentgelt bei öffentlichen Aufträgen nach dem Hessischen Vergabe- und Tariftreuegesetz (HVTG)
4. Erklärung Runderlass
5. Erklärung Russ. Sanktionen
6. Ggf. Bietergemeinschaftserklärung;
7. Ggf. Erklärung zum Nachunternehmereinsatz (bereits mit dem Angebot vorzulegen);
8. Ggf. Nachunternehmerverpflichtungserklärung (im Fall der Eignungsleihe zur Erfüllung der Anforderungen gemäß Zif. III.1.2) und III.1.3) der Bekanntmachung mit dem Angebot vorzulegen, im Fall der reinen Nachunternehmerschaft ohne Eignungsleihe erst auf Verlangen des Auftraggebers).
Der Auftraggeber wird von dem für den Zuschlag vorgesehenen Bieter vor Zuschlagserteilung einen Auszug aus dem Gewerbezentralregister nach §150a GewO iVm. § 19 MiLoG beim Bundesamt für Justiz anfordern.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Erklärung über das Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von 3 Mio. EUR pauschal bei Personen-, Sach- und Vermögensschäden je...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1. Erklärung über das Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme von 3 Mio. EUR pauschal bei Personen-, Sach- und Vermögensschäden je Schadensereignis bzw. Erklärung über die Bereitschaft eine Haftpflichtversicherung mit den vorgenannten Deckungssummen im Auftragsfall abzuschließen.
2. Angabe des Nettogesamtumsatzes des Bieters/der Bietergemeinschaft in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren;
3. Angaben des Bieters/ der Bietergemeinschaft über die Anzahl der Mitarbeiter der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der notwendigen...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der notwendigen Spezifikationen (Typ, Durchsatz, Filtermaterial, Jahresmenge). Geschätzte Prozessstunden /Jahr: 770h
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-03-30
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-04-28 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-03-30
12:00 📅
“Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der
Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der
notwendigen...”
Sollte die Abgasreinigung nicht Bestandteil des Angebots sein, muss der
Hersteller für eine passende Abgasreinigung angegeben werden, incl. der
notwendigen Spezifikationen (Typ, Durchsatz, Filtermaterial, Jahresmenge).
Geschätzte Prozessstunden /Jahr: 770h
Bekanntmachungs-ID: CXS0YDQYWW2J1MDC
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Hessen beim Regierungspräsidium Darmstadt
Postanschrift: Dienstgebäude: Wilhelminenstraße 1-3 Fristenbriefkasten Luisenplatz 2
Postort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland 🇩🇪 Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Landes Hessen beim Regierungspräsidium Darmstadt
Postanschrift: Dienstgebäude: Wilhelminenstraße 1-3 Fristenbriefkasten Luisenplatz 2
Postort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland 🇩🇪 Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer des Landes Hessen beim Regierungspräsidium Darmstadt
Postanschrift: Dienstgebäude: Wilhelminenstraße 1-3 Fristenbriefkasten Luisenplatz 2
Postort: Darmstadt
Postleitzahl: 64283
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2023/S 045-133625 (2023-02-27)