Beschreibung der Beschaffung
Ausschreibung für "Wartungsvertrag für 2 Messgeräte von KLA über 2 Jahre"
Laufzeit 2 Jahre, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. Overlay-Tool "Archer-A 100 AIM"
S/N: 6032378
2. Schichtdicken-Tool "SpectraFx200"
S/N: 200608080725
Und ein Messgerät von KLA über 1 Jahr
3. Schichtdicken-Tool "SpectrafilmF1"
S/N: 7271531
Der Wartungsvertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance, der jeweiligen Anlagen nach Herstellerangaben, beinhalten (vorbeugende Instandhaltung oder "PM", Mängel- und Fehlerbeseitigung, etc.).
Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall (tool down order) ist innerhalb von mindestens 72 Stunden (3 Tage) werktags zu realisieren.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Über den Wartungsvertrag sollen bei Bedarf Ersatz- und Verschleißteile mit budgetiert und beschafft werden.
Kosten für Unterbringung, für An- und Abreise des Servicepersonals bei Service vor Ort sind durch den Wartungsvertrag abzudecken.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software der Messgeräte.
Ausschreibung für "Stunden-Konto für 1 Messgerät von KLA für 1 Jahr"
Laufzeit 1 Jahr, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. CD-SEM "eCD2"
S/N: 1032
Das Stunden-Konto soll für ein Jahr, 50 Stunden Personalkosten beinhalten.
Die Arbeit über das Stunden-Konto muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software des Messgerätes.