Wartungsvertrag und Stundenkonto für Reinraum Messtools

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Ausschreibung für "Wartungsvertrag für 2 Messgeräte von KLA über 2 Jahre"
Laufzeit 2 Jahre, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. Overlay-Tool "Archer-A 100 AIM"
S/N: 6032378
2. Schichtdicken-Tool "SpectraFx200"
S/N: 200608080725
Und ein Messgerät von KLA über 1 Jahr
3. Schichtdicken-Tool "SpectrafilmF1"
S/N: 7271531
Der Wartungsvertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance, der jeweiligen Anlagen nach Herstellerangaben, beinhalten (vorbeugende Instandhaltung oder "PM", Mängel- und Fehlerbeseitigung, etc.).
Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall (tool down order) ist innerhalb von mindestens 72 Stunden (3 Tage) werktags zu realisieren.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Über den Wartungsvertrag sollen bei Bedarf Ersatz- und Verschleißteile mit budgetiert und beschafft werden.
Kosten für Unterbringung, für An- und Abreise des Servicepersonals bei Service vor Ort sind durch den Wartungsvertrag abzudecken.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software der Messgeräte.
Ausschreibung für "Stunden-Konto für 1 Messgerät von KLA für 1 Jahr"
Laufzeit 1 Jahr, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. CD-SEM "eCD2"
S/N: 1032
Das Stunden-Konto soll für ein Jahr, 50 Stunden Personalkosten beinhalten.
Die Arbeit über das Stunden-Konto muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software des Messgerätes.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-02-03. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-01-03.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-01-03 Auftragsbekanntmachung
2023-10-06 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2023-01-03)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Reparatur- und Wartungsdienste
Referenznummer: IHP-2023-001
Kurze Beschreibung:
Ausschreibung für "Wartungsvertrag für 2 Messgeräte von KLA über 2 Jahre" Laufzeit 2 Jahre, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023 Gilt für folgende Messgeräte: 1. Overlay-Tool "Archer-A 100 AIM" S/N: 6032378 2. Schichtdicken-Tool "SpectraFx200" S/N: 200608080725 Und ein Messgerät von KLA über 1 Jahr 3. Schichtdicken-Tool "SpectrafilmF1" S/N: 7271531 Der Wartungsvertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten. Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance, der jeweiligen Anlagen nach Herstellerangaben, beinhalten (vorbeugende Instandhaltung oder "PM", Mängel- und Fehlerbeseitigung, etc.). Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall (tool down order) ist innerhalb von mindestens 72 Stunden (3 Tage) werktags zu realisieren. Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein. Über den Wartungsvertrag sollen bei Bedarf Ersatz- und Verschleißteile mit budgetiert und beschafft werden. Kosten für Unterbringung, für An- und Abreise des Servicepersonals bei Service vor Ort sind durch den Wartungsvertrag abzudecken. Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software der Messgeräte. Ausschreibung für "Stunden-Konto für 1 Messgerät von KLA für 1 Jahr" Laufzeit 1 Jahr, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023 Gilt für folgende Messgeräte: 1. CD-SEM "eCD2" S/N: 1032 Das Stunden-Konto soll für ein Jahr, 50 Stunden Personalkosten beinhalten. Die Arbeit über das Stunden-Konto muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten. Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein. Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software des Messgerätes.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Dienstleistungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Reparatur- und Wartungsdienste 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Installation (außer Software) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/ 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYWP8T998D/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYWP8T998D 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-01-03 📅
Einreichungsfrist: 2023-02-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-01-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 005-008484
ABl. S-Ausgabe: 5
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYWP8T998D
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Ausschreibung für "Wartungsvertrag für 2 Messgeräte von KLA über 2 Jahre"
Laufzeit 2 Jahre, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
Gilt für folgende Messgeräte:
1. Overlay-Tool "Archer-A 100 AIM"
S/N: 6032378
2. Schichtdicken-Tool "SpectraFx200"
S/N: 200608080725
Und ein Messgerät von KLA über 1 Jahr
3. Schichtdicken-Tool "SpectrafilmF1"
S/N: 7271531
Der Wartungsvertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Der Vertrag muss den turnusmäßigen Support zu Erhaltung der Maschinenperformance, der jeweiligen Anlagen nach Herstellerangaben, beinhalten (vorbeugende Instandhaltung oder "PM", Mängel- und Fehlerbeseitigung, etc.).
Die Anforderung des Service Supports vor Ort bei Maschinenausfall (tool down order) ist innerhalb von mindestens 72 Stunden (3 Tage) werktags zu realisieren.
Das vom Bieter bereitgestellte Servicepersonal muss vom Hersteller trainiert und qualifiziert sein.
Über den Wartungsvertrag sollen bei Bedarf Ersatz- und Verschleißteile mit budgetiert und beschafft werden.
Kosten für Unterbringung, für An- und Abreise des Servicepersonals bei Service vor Ort sind durch den Wartungsvertrag abzudecken.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software der Messgeräte.
Ausschreibung für "Stunden-Konto für 1 Messgerät von KLA für 1 Jahr"
Laufzeit 1 Jahr, frühestmöglicher Starttermin 1.1.2023
1. CD-SEM "eCD2"
S/N: 1032
Das Stunden-Konto soll für ein Jahr, 50 Stunden Personalkosten beinhalten.
Die Arbeit über das Stunden-Konto muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb der Messgeräte absichern und die Maschinenspezifikationen des Herstellers gewährleisten.
Der Bieter muss die Lizenzrechte des Herstellers KLA-Tencor besitzen, auf Grund der Lizenzrechte und Lizenzbindung an der Hardware und Software des Messgerätes.
Dauer: 24 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt
Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
-Referenzgeber:
-Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:
-Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung:
-Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-04-04 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-02-03 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYWP8T998D/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
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Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYWP8T998D

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2023/S 005-008484 (2023-01-03)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-10-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 468630.12 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-10-06 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-10-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 196-612725
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 005-008484
ABl. S-Ausgabe: 196
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDY1CBL9QXQ

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-02-06 📅
Name: KLA-Tencor GmbH
Postanschrift: Moritzburger Weg 67
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01109
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 351828020 📞
E-Mail: guido.schnasse@kla-tencor.com 📧
Land: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: http://www.kla-tencor.com 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 468620.12 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2023/S 196-612725 (2023-10-06)