Beschaffung eines dedizierten Elektronenstrahllithografie-Systems

Ludwig-Maximilians-Universität München

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung eines dedizierten Elektro-nenstrahllithographiesystems zur nanoskaligen Strukturierung dünner Polymerfilme mittels elektrostatischer Rasterung eines fokussierten, hochenergetischen Elektronenstrahls für die Erforschung zweidimensionaler Materialien in quantenphysikalischen Experimenten.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2024-04-25. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2024-03-21.

Wer?

• Ludwig-Maximilians-Universität München

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) › Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2024-03-21	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2024-03-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Beschaffung eines dedizierten Elektronenstrahllithografie-Systems
Referenznummer: MQV-EBL
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 1 300 000 EUR 💰
Beschreibung
Interne Kennung: 0001
Geschätzter Wert ohne MwSt: 1 300 000 EUR 💰
Beschreibung der Beschaffung:

Zur räumlichen Lokalisierung quantenphysikalischer Phänomene ist die nanoskalige Struktu-rierung von Quantenbaulementen erforderlich. Das laterale Auflösungsvermögen optischer Verfahren ist durch die Wellenlänge des Lichts in refraktiven Optiken und dessen Beugungs-verhalten stark begrenzt, weshalb alternative Methode zur Anwendung kommen. Elektro-nenstrahllithographie (im Folgenden abgekürzt als EBL, engl. Electron Beam Lithography) ist hier von besonders großer Bedeutung, da es neben einem extrem hohen Auflösungsvermö-gen von potentiell wenigen Nanometern, relativ kurzer Belichtungszeiten und einer hohen Kompatibilität mit in der Quantentechnolgie zum Einsatz kommenden Materialsystemen sich sehr gut in Prozessabläufe mit photolithographisch vorstrukturieren Proben integrieren lässt (Mix and Match). Im Rahmen der Munich Quantum Valley Initiative wird der Lehrstuhl Efetov, Ludwig-Maximilians-Universität München, Fakultät für Physik, eine Vielzahl neuartiger zweidimensio-naler Materialien herstellen und diese auf ihre elektrischen, magnetischen, optischen und thermischen Eigenschaften bei tiefsten Temperaturen untersuchen. Hierfür sind Strukturen mit Dimensionen im nanoskaligen Bereich unabdingbar. Zur Erfüllung dieser Aufgabe ist ein dediziertes EBL-System mit hoher Beschleunigungsspan-nung (mindestens 50 kV), elektrostatischer Strahlablenkung mit schneller Rasterelektronik (mindestens 50 MHz), einer Pobenbühne mit hochgenauer, laserinterferometrischer Positio-nierung für exakte Überlagerung (Overlay) aufeinanderfolgender Strukturierungsschritten und der Verbindung benachbarter Schreibfelder (Stitching) erforderlich.

Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer: 12 Monate
Vergabekriterien
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde:

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt

Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2024-04-25 09:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2024-04-25 09:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 21
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2024-04-25 09:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Zusätzliche Informationen:

Bitte beachten: Um einen eventuellen Ausschluss des Angebotes zu vermeiden, legen Sie bitte die geforderten Nachweise und Erklärungen dem Angebot unbedingt vollständig bei.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen: Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien: Eignungskriterien gemäß Auftragsunterlagen
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrugsbekämpfung

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 21 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Entrichtung von Steuern

Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Konkurs

Korruption

Rein innerstaatliche Ausschlussgründe

Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Vergleichsverfahren

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge

Zahlungsunfähigkeit

Beschreibung der Ausschlussgründe:

Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens

Insolvenz

Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren

Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung

Bildung krimineller Vereinigungen

Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen

Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Betrug oder Subventionsbetrug

Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung

Zahlungsunfähigkeit

Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Rein nationale Ausschlussgründe

Interessenkonflikt

Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung

Schwere Verfehlung

Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags

Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen

Einstellung der beruflichen Tätigkeit

Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben

Bildung terroristischer Vereinigungen

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Ludwig-Maximilians-Universität München
Nationale Registrierungsnummer: 13316
Postanschrift: Geschwister-Scholl-Platz 1
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: philipp.altpeter@lmu.de 📧
Telefon: +49 8921803733 📞
URL: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/4f937bea-14ac-4de1-be11-c568b5882810 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/4f937bea-14ac-4de1-be11-c568b5882810 🌏
Sprache des Beschaffungsdokuments: Deutsch 🗣️
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Nationale Registrierungsnummer: 295619d2-c969-4fd4-8f1e-4923beca718a
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 8921762411 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2024-03-25+00:00 📅
Quelle: OJS 2024/S 060-176510 (2024-03-21)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (>20 neue Beschaffungen)

Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften (>20)