Entwicklung & Lieferung eines AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.

Kurze Beschreibung

Die in der Arbeitsgruppe Präzisionsgitter (WI-APG) bestehenden vier AFM-Systeme sind essenziell für die Qualitäts- und Prozesskontrolle der Gitterfertigung und werden dauerhaft und parallel genutzt. Eines der bestehenden, manuellen Messsysteme („Hand AFM“ CO 404820) soll durch ein teilautomatisiertes System ersetzt werden, das sowohl in der Fertigung als auch für F&E-Untersuchungen zum Einsatz kommen soll.
Die zu entwickelnde AFM-Stage kombiniert eine Translations- mit einer Rotationsstage, so dass mehrere Proben in einer Messreihe automatisiert gemessen werden können (Batch-Messung), während gleichzeitig die Probenrotation jeder einzelnen Probe bzgl. des Messkopfes automatisch korrigiert werden kann. Die Translations-/Rotationsstage soll die Arbeiten erleichtern, den Messaufwand verringern und somit eine Zeitersparnis einbringen. Bisher werden die Gitter-Teststücke (Waferstücke mit etwa 1 mm Höhe, die mit Unterlage gemessen werden) per Augenmaß ausgerichtet, anschließend einzeln manuell angefahren und gemessen. Gegebenenfalls ist eine Korrektur der Probenausrichtung und eine erneute Messung nötig.
Das AFM-System mit Translations-/Rotationsstage ist hauptsächlich konzipiert, um mehrere (Wafer-) Teststücke mit Gitterstrukturen automatisiert zu messen:
Nach einmaliger Lokalisierung der zu messenden Strukturen und entsprechender Zuweisung der Koordinaten sollen die Proben einzeln angefahren, der Rotationswinkel vom System korrigiert und die Messung durchgeführt werden. Mit dem neuen System sind auch weiterhin einzelne, einfache Messungen entsprechend des bisherigen Vorgehens möglich, z.B. wenn keine Rotationskorrektur erforderlich ist.
Weiterhin soll das neue System Batch-Messungen an Gitterträgern mit und ohne Rotationskorrektur ermöglichen. Dabei sollen Gitterträger bis zu einer Höhe von 70 mm gemessen werden können. Generell soll die Möglichkeit bestehen, Proben bis zu einer Länge von ≥ 300 mm in das Messsystem einzulegen. Die messbare Probenlänge soll dabei ≥ 200 mm für Messungen mit und ohne Rotationskorrektur sein. Die messbare Probenbreite soll mindestens ≥ 120 mm betragen. Dadurch ist zusätzlich die Ausfallsicherheit in der Gitterproduktion erhöht, da kleinere Gitterträger an zwei AFM-Systemen automatisiert gemessen werden können.

Beschreibung der Beschaffung

Entwicklung, Lieferung sowie Inbetriebnahme eines teilautomatisierten AFM-Systems mit kombinierter Translations-/Rotationsstage für die Gitterfertigung für das HZB.

Hauptstandort oder Erfüllungsort

Die Aufstellung erfolgt in Gebäude 14.51 in Raum 3196, einem Reinraum Klasse ISO 5. Entsprechende Maßnahmen/Vorkehrungen sind bei der Anlieferung und Installation zu berücksichtigen.

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

• Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet
• Handelsregisterauszug (möglichst nicht älter als drei Monate)
• Unterschriebene Eigenerklärungen: Ausschlussgründe nach den §§ 123,124 GWB

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

• Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet
o Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie ggf. den Umsatz bezüglich der besonderen Leistungsart, die Gegenstand der Vergabe ist, bezogen auf die letzten drei Geschäftsjahre.
• Nachweis der Betriebshaftpflichtversicherung des Unternehmens

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

• Bewerbungsbogen - vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet
o Erklärung über die Anzahl der Beschäftigten des Unternehmens sowie ggf. die Anzahl der davon beschäftigten Facharbeiter, bezogen auf die letzten drei Geschäftsjahre
o Angaben zur technischen Ausstattung
o mind. Zwei Referenzen vergleichbarer Komplexität, möglichst nicht älter als drei Jahre.
Als vergleichbar gelten Referenzen, die das Design, die Installation sowie erfolgreiche Inbetriebnahme eines kundenspezifischen AFM-Systems in Forschung oder Industrie beinhalten.
o Angaben zu Projekt-Mitarbeitenden/Ansprechpersonen

Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien

• Unterschriebene Eigenerklärungen:
o Sanktionen RUS
o EU-Angaben zum Bieter
• Vertretungsbefugnis bei juristischen Personen – vollständig ausgefüllt und rechtsverbindlich unterzeichnet
• Ggf. Bevollmächtigung des Vertreters bei Bietergemeinschaften
• Kurze Unternehmenspräsentation

Diese Ausschreibung wird einfach und kostengünstig über das elektronische Vergabeinformations-System subreport ELViS abgewickelt. Das Angebot und alle weiteren Unterlagen sind in elektronischer Form auf diesem Portal abzugeben. Bitte registrieren Sie sich kostenlos unter https://www.subreport.de . Erste Informationen und Unterstützung bei der Registrierung erhalten Sie durch: subreport Verlag Schawe GmbH,
Buchforststr. 1-15, 51101 Köln, Tel.: +49 (0)2 21/9 85 78-23, Fax: +49 (0)221/9 85 78-66, E-Mail: info@subreport.de , Internet: www.subreport.de
Die Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung. *** Ihre Registrierung gewährleistet, dass Sie alle für die Ausschreibung relevanten Informationen, wie Antworten auf Bieterfragen und Änderungen bei den Fristen oder Vergabeunterlagen, automatisch an Ihre dort eingetragene E-Mail Adresse erhalten. ***
Sofern Sie bereit sind, an der Ausschreibung teilzunehmen, erbitten wir dazu Ihr Angebot ausschließlich in elektronischer Form. Laden Sie dies bei www.subreport.de bis zum Ablauf der Frist zur Abgabe (Eingangsdatum) hoch. Der Auftraggeber behält sich vor, unvollständige, nicht wie gefordert abgegebene bzw. fehlende Nachweise, Erklärungen oder sonstige Angaben nachzufordern. Ein Anspruch auf eine derartige Handhabung besteht nicht. Insbesondere kann der Auftraggeber aus Gründen der Gleichbehandlung und/oder zeitlichen
Erwägungen unvollständige Angebote vom Vergabeverfahren ausschließen. *** Fragen können via Bieterkommunikation/Nachrichten ausschließlich elektronisch bis 7 Tage vor der Angebotsabgabefrist gestellt werden. Zur Wahrung des gleichen Informationsstandes aller,
werden die anonymisierten Fragen und Antworten ausschließlich über subreport.de veröffentlicht. Es liegt in der Verantwortung des*der Bieters*in, sich über ergänzende Informationen in regelmäßigen Abständen zu informieren. *** Die AGBs vom Auftragnehmer
sind ausgeschlossen und finden keine Anwendung. Sie werden vollständig ersetzt durch die „Allgemeinen Vertragsbedingungen für die Ausführung von Leistungen (VOL/B)“, Fassung 2003. Änderungen und Ergänzungen der Verdingungsunterlagen sind unzulässig.
Nebenangebote sind nicht zugelassen. *** Das Angebot muss alle geforderten Angaben und Erklärungen enthalten sowie rechtsverbindlich unterschrieben sein. Sämtliche Preisangaben sind in EURO zu machen. Das FB 633 VHB „Angebotsschreiben“ fordert die Angabe von
Brutto-Preisen. Dies gilt jedoch nur für Bieter aus der Bundesrepublik Deutschland. ***
Enthalten die Verdingungsunterlagen nach Auffassung des*der Bieters*in Unklarheiten oder sind diese zur Vertragsausführung unwirtschaftlich, fehlerhaft, unvollständig, nicht eindeutig oder sind die Leistungen objektiv so nicht ausführbar, so hat der*die Bieter*in die
ausschreibende Stelle unverzüglich schriftlich auf dieses und die erkennbaren Folgen hinzuweisen. Der Einwand, dass sich der*die Bieter*in über den Umfang der Leistung oder die Art und Weise der Ausführung nicht genügend informieren konnte, ist ausgeschlossen. ***
Unzulässig sind den Wettbewerb beschränkende Absprachen im Sinne des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen, insbesondere Verabredungen oder Empfehlungen über die Abgabe bzw. Nichtabgabe von Angeboten und über die zu fordernden Preise. ***
Das Angebot kann nur bis zum Ablauf der Angebotsfrist geändert, berichtigt oder zurückgezogen werden. Vom Ablauf der Angebotsfrist an bis zum Ablauf der Bindefrist ist der Bieter an sein Angebot gebunden. *** Das Angebot sowie alle Anlagen und die geforderten Nachweise müssen in sämtlichen Teilen in deutscher Sprache vorliegen. Anderssprachige Unterlagen werden nicht gewertet; es sei denn, es liegt eine beglaubigte Übersetzung bei. *** Für Informationen zum allgemeinen Rechtsrahmen können Bewerber sich an nachfolgend aufgeführte Stellen wenden:
• Steuerrecht: www.bundesfinanzministerium.de Rubrik Steuern, Bundesfinanzministerium, 11016 Berlin, Tel.-Nr.: 01888/682-0, Fax: 01888/682-4248,
• Umweltrecht: www.bundesumweltministerium.de Rubrik Gesetze/Verordnungen, Bundesumweltministerium, Postfach 120629, 53048 Bonn, Tel.-Nr.: 01888/305-0, Fax: 01888/305-3225,
• Arbeitsschutz und Arbeitsbedingungen: www.bmas.bund.de Rubrik Arbeitsschutz; Bundesministerium für Arbeit und Soziales, 53107 Bonn, Tel.-Nr.: 01888/527-0, Fax: 01888/527-4900,
• Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen können sich die Bieter an nachfolgend aufgeführte Stelle wenden: www.
bundeskartellamt.de Vergabekammern des Bundes, Bundeskartellamt, Telefon: +49 228 9499-0, Fax: + 49 228 9499-163

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen
Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens
bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum
Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe. Der Nachprüfungsantrag ist ebenfalls unzulässig, wenn mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.