ICP-Ätzanlage

Universität Paderborn

Ausgeschrieben wird eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die extrem hohe Anforderungen an die Strukturhomogenität und Seitenrauheit stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-01-16. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2024-12-16.

Wer?

• Universität Paderborn

Wie?

• Bewertungs- und Testinstrumente › Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft

Wo?

• Detmold › Paderborn
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2024-12-16	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2024-12-16)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: ICP-Ätzanlage
Referenznummer: 200/93/24/1
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft 📦
Beschreibung
Interne Kennung: 200/93/24/1
Beschreibung der Beschaffung:

Geliefert, installiert und in Betrieb genommen werden soll eine Anlage zum reaktiven Ionenätzen mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-RIE). Die detaillierte Leistungsbeschreibung entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen (Kriterienkatalog)

Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Innovative Beschaffung
Innovationsfördernde Auftragsvergabe: Die in Auftrag gegebenen Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen umfassen Forschungs- und Entwicklungstätigkeiten.
Stadt: 33098
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Paderborn 🏙️
Dauer: 10 Monate
Maximale Verlängerungen: 0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-01-16 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-01-16 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eine Sicherheitsleistung ist erforderlich ✅
Eröffnungstermin: 2025-01-16 12:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2025-01-08 23:59:00 📅
Zusätzliche Informationen: Es werden lediglich Unterlagen zur Eignungsfeststellung nachgefordert.
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: 1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung des Versicherungsgebers sowie der Deckungssummen für Personenschäden, Sachschäden und Vermögensschäden. Wichtiger Hinweis: Die Hinweise aus Ziffer III.1.1) hinsichtlich des Nachforderns von Nachweisen und Erklärungen gelten entsprechend.

Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Eignung zur Berufsausübung: Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen: Eigenerklärungen, dass 1. die in § 123 Abs. 1 bis 4 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe und 2. die in § 124 Abs. 1 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe nicht vorliegen und - soweit das der Fall ist - ggf. Maßnahmen zur Selbstreinigung nach § 125 Abs. 1 S. 1 GWB getroffen wurden, mit Darstellung derselben unter Berücksichtigung der Anforderungen aus § 125 Abs. 1 S. 1 GWB. 3. das Unternehmen in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen ist. Für die Mitgliedstaaten der Europäischen Union sind die jeweiligen vergleichbaren Berufs- oder Handelsregistereinträge nachzuweisen. 4. das Unternehmen Mitglied in einer Berufsgenossenschaft ist. (Unternehmen, die Ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Versicherer an.)

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Eignung zur Berufsausübung: Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen:
Eigenerklärungen, dass
1. die in § 123 Abs. 1 bis 4 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe und
2. die in § 124 Abs. 1 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe nicht vorliegen und - soweit das der Fall ist - ggf. Maßnahmen zur Selbstreinigung nach § 125 Abs. 1 S. 1 GWB getroffen wurden, mit Darstellung derselben unter Berücksichtigung der Anforderungen aus § 125 Abs. 1 S. 1 GWB.
3. das Unternehmen in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen ist. Für die Mitgliedstaaten der Europäischen Union sind die jeweiligen vergleichbaren Berufs- oder Handelsregistereinträge nachzuweisen.
4. das Unternehmen Mitglied in einer Berufsgenossenschaft ist. (Unternehmen, die Ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Versicherer an.)

Geforderte Kautionen und Garantien:

Etwaige Vorauszahlungen erfolgen ausschließlich gegen die Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft seitens des Bieters.

Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Öffentliche Auftraggeber sind gem. § 6 Abs. 1. Wettbewerbsregistergesetz (WRegG) verpflichtet, vor Erteilung des Zuschlags für einen öffentlichen Auftrag beim Wettbewerbsregister elektronisch abzufragen, ob das Unternehmen, das den Auftrag erhalten soll, eingetragen ist.

Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrugsbekämpfung

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Entrichtung von Steuern

Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Rein innerstaatliche Ausschlussgründe

Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge

Zahlungsunfähigkeit

Beschreibung der Ausschlussgründe: vgl. § 123 Abs. 1 bis 4 GWB, § 124 GWB

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Universität Paderborn
Nationale Registrierungsnummer: DEA47
Postanschrift: Warburger Str. 100
Postleitzahl: 33098
Postort: Paderborn
Region: Paderborn 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Dezernat 1.4 - Beschaffung
E-Mail: beschaffung@zv.upb.de 📧
Telefon: +49 5251-600 📞
Fax: +49 5251-602536 📠
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYTYUS3DEK/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYTYUS3DEK 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YYPYTYUS3DEK 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Gültigkeitsdauer des Angebots: 60 Tage
Maximale Verlängerungen: 0

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYTYUS3DEK Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu. Für die Übermittlung Ihres Angebotes nutzen Sie bitte ausschließlich das Vergabeportal und das dort bereitgestellte Tool als Kommunikationsmittel. Angebote, die uns per Fax oder E-Mail erreichen, werden sofort ausgeschlossen! Dies gilt ebenso für Angebote, die postalisch an uns gesendet werden.

Körper überprüfen
Name: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Nationale Registrierungsnummer: DEA33
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Straße 9
Postleitzahl: 48143
Postort: Münster
Region: Münster, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de 📧
Telefon: +49 2514110 📞
Fax: +49 2514112165 📠
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt. 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden. 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden. 4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2024-12-16+01:00 📅
Quelle: OJS 2024/S 245-772892 (2024-12-16)

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Bewertungs- und Testinstrumente (4)