Ausgeschrieben wird eine Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die bei niedrigen Abscheidungsdrücken und -temperaturen (?20°C) mittels der Anlage abgeschiedenen Schichten sollen von hoher Qualität mit geringen Schäden und einer hohen nasschemischen Ätzbeständigkeit sein und eine hohe Konformität bzw. Stufenabdeckung aufweisen. Bei den abzuscheidenden Schichten soll es sich unter anderem um SiO2, Si3N4, SiOxNy, a-Si:H und SiC handeln.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-01-16.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2024-12-16.
Auftragsbekanntmachung (2024-12-16) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: ICPCVD-Beschichtungsanlage
Referenznummer: 200/92/24/1
Kurze Beschreibung:
“Ausgeschrieben wird eine Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD). Die Anlage soll ein Kernstück der...”
Kurze Beschreibung
Ausgeschrieben wird eine Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD). Die Anlage soll ein Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur darstellen
und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Die Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 8 Zoll), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die bei niedrigen Abscheidungsdrücken und -temperaturen (?20°C) mittels der Anlage abgeschiedenen Schichten sollen von hoher Qualität mit geringen Schäden und einer hohen nasschemischen Ätzbeständigkeit sein und eine hohe Konformität bzw. Stufenabdeckung aufweisen. Bei den abzuscheidenden Schichten soll es sich unter anderem um SiO2, Si3N4, SiOxNy, a-Si:H und SiC handeln.
Mehr anzeigen
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Technischer Simulator für Forschung, Prüfungen und Wissenschaft📦 Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Geliefert, installiert und in Betrieb genommen werden soll eine Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung mittels induktiv gekoppeltem Plasma...”
Beschreibung der Beschaffung
Geliefert, installiert und in Betrieb genommen werden soll eine Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung mittels induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-CVD).
Die detaillierte Leistungsbeschreibung entnehmen Sie bitte den Vergabeunterlagen (Kriterienkatalog)
Mehr anzeigen
Ort der Leistung: Paderborn🏙️
Dauer: 10 (MONTH)
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-01-16 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-01-16 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: 1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit: 1. Eigenerklärung über das Bestehen einer branchenüblichen Betriebshaftpflichtversicherung unter Nennung des Versicherungsgebers sowie der Deckungssummen für Personenschäden, Sachschäden und Vermögensschäden.
Wichtiger Hinweis: Die Hinweise aus Ziffer III.1.1) hinsichtlich des Nachforderns von Nachweisen und Erklärungen gelten entsprechend.
Mehr anzeigen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Eignung zur Berufsausübung: Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Eignung zur Berufsausübung: Hinweise: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen:
Eigenerklärungen, dass
1. die in § 123 Abs. 1 bis 4 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe und
2. die in § 124 Abs. 1 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe nicht vorliegen und - soweit das der Fall ist - ggf. Maßnahmen zur Selbstreinigung nach § 125 Abs. 1 S. 1 GWB getroffen wurden, mit Darstellung derselben unter Berücksichtigung der Anforderungen aus § 125 Abs. 1 S. 1 GWB.
3. das Unternehmen in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen ist. Für die Mitgliedstaaten der Europäischen Union sind die jeweiligen vergleichbaren Berufs- oder Handelsregistereinträge nachzuweisen.
4. das Unternehmen Mitglied in einer Berufsgenossenschaft ist. (Unternehmen, die Ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Versicherer an.)
Mehr anzeigen
Geforderte Kautionen und Garantien:
“Etwaige Vorauszahlungen erfolgen ausschließlich gegen die Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft seitens des Bieters.” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Öffentliche Auftraggeber sind gem. § 6 Abs. 1. Wettbewerbsregistergesetz (WRegG) verpflichtet, vor Erteilung des Zuschlags für einen öffentlichen Auftrag...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Öffentliche Auftraggeber sind gem. § 6 Abs. 1. Wettbewerbsregistergesetz (WRegG) verpflichtet, vor Erteilung des Zuschlags für einen öffentlichen Auftrag beim Wettbewerbsregister elektronisch abzufragen, ob das Unternehmen, das den Auftrag erhalten soll, eingetragen ist.
“Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYTYUAN6N8
Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu.
Für die...”
Bekanntmachungs-ID: CXS0YYPYTYUAN6N8
Die Vergabestelle der Universität Paderborn lässt generell nur die Abgabe elektronischer Angebote zu.
Für die Übermittlung Ihres Angebotes nutzen Sie bitte ausschließlich das Vergabeportal und das dort bereitgestellte Tool als Kommunikationsmittel.
Angebote, die uns per Fax oder E-Mail erreichen, werden sofort ausgeschlossen! Dies gilt ebenso für Angebote, die postalisch an uns gesendet werden.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer bei der Bezirksregierung Münster
Nationale Registrierungsnummer: DEA33
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Straße 9
Postleitzahl: 48143
Postort: Münster
Region: Münster, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de📧
Telefon: +49 2514110📞
Fax: +49 2514112165 📠 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
1. Der geltend gemachte Verstoß gegen Vergabevorschriften wurde vor Einreichen des Nachprüfungsantrages erkannt und innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gegenüber dem Auftraggeber gerügt.
2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen bis spätestens zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber
gerügt werden.
3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar waren, müssten bis zum Ablauf der Bewerbungsfrist oder der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden.
4. Ein Nachprüfungsantrag muss innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wolle, eingehen.
Mehr anzeigen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Quelle: OJS 2024/S 245-772359 (2024-12-16)