Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2024-04-16.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2024-03-12.
Auftragsbekanntmachung (2024-03-12) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Maskless Aligner
Reference number: 04.24.O.00
Kurze Beschreibung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von...”
Kurze Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
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Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 457 300 EUR 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von...”
Beschreibung der Beschaffung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchip bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind Strukturauflösungen bis 600 nm Linienbreite (CD) im Resist, präzise Mehrebenen-Justage mit bis zu 250 nm Überdeckungsgenauigkeit und Schreibgeschwindigkeiten, die Belichtungsanzahlen von mind. 1000 Wafer pro Jahr ermöglichen.
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Zusätzliche Informationen:
“Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 457.300,00 Euro netto zur Verfügung.”
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️ Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 60.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40.0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2024-04-16 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2024-04-16 13:10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 40
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Eigenerklärung” Bedingungen für die Teilnahme
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Anzahlungsrechnungen ausschließlich gegen Bankbürgschaft” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“- Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG”
“Bekanntmachungs-ID: CXP4YBRH0VK” Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Thüringen
Nationale Registrierungsnummer: Land Thüringen
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de📧
Telefon: 0361573321059📞 Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Quelle: OJS 2024/S 052-153604 (2024-03-12)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2024-04-19) Objekt Umfang der Beschaffung
Art des Vertrags: supplies
Geschätzter Wert ohne MwSt: 457 300 EUR 💰
Vergabekriterien
Preis (Gewichtung): 40.0
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60.0
Auftragsvergabe Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1