Plasmaanlagen

Beschreibung der Beschaffung

Beschafft werden zwei Plasmaanlagen zur Reinigung bzw. Ätzung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Dabei ist eine Anlage zur Reinigung mit Ar und O2 und die zweite für das reaktive Ionenätzen (reactive ion etching, RIE) mit Ar, O2 und SF6 für den zukünftigen zentralen Reinraum der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen vorgesehen. Die Plasmaanlagen dienen in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Strukturierung (Ätzen) und Reinigung unterschiedlichster Substrate oder Proben.

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Die geforderten Nachweise sind von dem Bieter bzw. den Mitgliedern der Bietergemeinschaft jeweils gesondert vorzulegen. Alle Nachweise sind mit dem Angebot vorzulegen; fehlende Nachweise können vom Auftraggeber nachgefordert werden. Sämtliche Referenzen müssen erbrachte Leistungen umfassen, die mit den hier ausgeschriebenen Leistungen hinsichtlich Art und Umfang vergleichbar sind. Ausländische Bewerber haben gleichwertige Nachweise der für sie zuständigen Behörde/Institution ihres Heimatlandes beizubringen. Zusätzlich sind diese ins Deutsche zu übersetzen. Folgende Eigenerklärungen und Nachweise sind erforderlich: Eigenerklärung, dass die in § 123 Abs. 1 bis 4 GWB aufgeführten zwingenden Ausschlussgründe und die in § 124 Abs. 1 GWB aufgeführten fakultativen Ausschlussgründe nicht vorliegen (Vordruck 10-NL24EOV Eigenerklärung) und - soweit das der Fall ist - ggfs. Maßnahmen zur Selbstreinigung nach § 125 Abs. 1 S. 1 GWB getroffen wurden, mit Darstellung derselben unter Berücksichtigung der Anforderungen des § 125 Abs. 1 S. 1 GWB. (formlose Eigenerklärung) Dieser ist für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und jeden wesentlichen Nachunternehmer auszufüllen. Bestätigung einer Berufsgenossenschaft, dass das Unternehmen Mitglied in einer Berufsgenossenschaft ist. (Unternehmen, die ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, reichen eine Bestätigung des für sie zuständigen Versicherer ein.) Sofern eine Teilnahme als Bietergemeinschaft beabsichtigt ist, hat die Bietergemeinschaft in ihrem Angebot eine Erklärung abzugeben, in der alle Mitglieder der Bietergemeinschaft und der für die Durchführung des Vertrages rechtskräftig bevollmächtigte Vertreter benannt werden (Vordruck 10-NL24EOV Eigenerklärung). Darüber hinaus ist zu erklären, dass alle Mitglieder der Bietergemeinschaft dem Auftraggeber als Gesamtschuldner haften (formloses Schreiben durch die Vertreter aller Mitglieder der Bietergemeinschaft unterschrieben). Wenn ein Bieter für Leistungen Nachunternehmer einsetzen will und sich auch auf die Eignung eines Nachunternehmers berufen will (Eignungsleihe), sind zusätzlich die Formular 533 und und Vordruck "10-NL24EOV Eigenerklärung Nachunternehmer " zu verwenden. Zusätzlich sind die konkret nach Maßgabe dieser Bekanntmachung erforderlichen Eignungsnachweise für den Nachunternehmer vorzulegen. Eigenerklärung zu Subventionen (Vordruck 10-NL24EOV Eigenerklärung) Eigenerklärung Informationen zum Bieter (Vordruck 10-NL24EOV Eigenerklärung)

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

Geforderte Erklärungen/ Nachweise sind: Eigenerklärung, dass der Bewerber eine Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Mindestdeckungssumme in Höhe von 1.000.000 EUR je Schadensfall für Personenschäden und in Höhe von jeweils 1.000.000 EUR je Schadensfall für Vermögens- und Sachschäden bzw. im Auftragsfall unverzüglich abschließen wird. Erklärung über den Gesamtumsatz in den letzten 3 Geschäftsjahren (Geschäftsjahre 2021, 2022, 2023) und über den Umsatz für den Bereich der ausgeschriebenen Aufgabenbereiche für die genannten Geschäftsjahre. Sofern das Geschäftsjahr 2023 noch nicht abgeschlossen wurde, ist der Umsatz bezogen auf die Geschäftsjahre 2020, 2021 und 2022 anzugeben.

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

Geforderte Erklärungen/ Nachweise sind: - Referenzen, mindestens zwei in vergleichbarem Umfang - Angabe der technischen Fachkräfte oder der technischen Stellen, die im Zusammenhang mit der Leistungserbringungen eingesetzt werden sollen - Erklärung, aus der die durchschnittliche jährliche Beschäftigtenzahl des Unternehmens in den letzten drei Jahren ersichtlich ist (Die Angaben sind zwingend. Mit einem Hinweis auf den Datenschutz können die Angaben nicht verweigert werden. Der Bieter ist für die Rechtmäßigkeit der Datenweitergabe verantwortlich.)

Bedingungen für die Vertragserfüllung

Es gelten die in den Vergabeunterlagen beigefügten Vertragsbedingungen des Landes NRW. Die AGBs des Auftragnehmers sind ausgeschlossen. Der Auftragnehmer stimmt den Vertragsbedingungen des Landes NRW mit Einreichung des Angebots zu Wesentl. Zahlungsbedingungen: Die Universität Siegen darf Vorauszahlungen bzw. Anzahlungen nur gegen Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft leisten. Der Auftragnehmer wird spätestens 14 Tage vor Ablauf der Bankbürgschaft unaufgefordert eine neue gleichartige Bankbürgschaft bei der Universität Siegen vorlegen, falls die vollständige Lieferung noch nicht erfolgt ist. Andernfalls wird die Universität Siegen die auslaufende Bankbürgschaft in Anspruch nehmen. Die Rechnungsstellung erfolgt nachträglich und muss als PDF-Datei unter Angabe der Auftragsnummer an die im Auftrag genannte E-Mail-Adresse erfolgen. Die Zahlungsfrist beträgt 30 T.. Im Falle einer Skontogewährung kann die Zahlungsfrist auf bis zu 14 T. verkürzt werden.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.