Thermal evaporator and sputtering system

Ludwig-Maximilians-Universität München

The Department of Chemistry, Institute of Physical Chemistry, intends to purchase an integrated thermal evaporator and sputtering vacuum deposition system. Therefore, we invite offers from companies for a tool fulfilling the technical specifications as outlined in the corresponding RFT (see below)

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2024-04-15. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2024-03-12.

Wer?

• Ludwig-Maximilians-Universität München

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) › Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2024-03-12	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2024-03-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Thermal evaporator and sputtering system
Referenznummer: FL2024-001
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 0 EUR 💰
Beschreibung
Interne Kennung: 0001
Geschätzter Wert ohne MwSt: 0 EUR 💰
Beschreibung der Beschaffung:

The Department of Chemistry seeks to purchase an integrated thermal evaporator and sputtering vacuum deposition system designed for thin film depositions. The system is comprised of two modules: an evaporator and a sputtering system, integrated into a glove box that includes a 5-port shallow glovebox and a 2-port standard glove box on each side, assembled as outlined below. The evaporator component of the tool is intended for depositing both organic and inorganic compounds, such as C60, BCP, Spiro-TTB, CsBr, PbI2 as well as metals like Cu and Ag (but not limited to these examples). The sputtering part of the system facilitates controlled deposition of transparent conductive oxides, such as IZO and ITO, metal oxides such as NiOx, along with metals like Ag, utilizing at least one soft-landing (minimizing particle energy) hollow cathode magnetron. This system will be utilized for fabricating perovskite solar cells of various sizes and for the different layers within the cell stack. Apart from the price of the equipment, the following technical specifications will be evaluated and considered in the decision making process: Technical specifications and further requirements We plan a robotic arm upgrade on the tool in the future for automated sample and mask exchanges, therefore, if the offered tool does not have robotic arm upgradability, that offer is excluded. Both systems must be designed for future upgrades to accommodate automatic sample loading-unloading via a load lock. The load lock, positioned between the two chambers, must be capable of storing at least 6 pcs of plates or masks. The transfer arm must facilitate the automatic exchange of samples within both the evaporator and sputtering system. The load lock undergoes pump-down by the rough pump and connects to the main chambers through gate valves. The system is prearranged for potential upgrades such as electrical connections, openings, and chamber designs. Also, transfer-capable substrate stage assembly must be integrated into both systems to enable the stage to move automatically up and down. Furthermore, as this constitutes a critical element of our project, we are seeking a reference from the company for at least one previously developed and operational system to enhance risk mitigation. Additionally, any offers exceeding a total tool price of €725K (w/o tax, including shipping) will be excluded from further evaluation. The quote must include the details of the 2-day operation and maintenance training course for the end users and the training must be provided in English.

Beschreibung der Beschaffung

The Department of Chemistry seeks to purchase an integrated thermal evaporator and sputtering vacuum deposition system designed for thin film depositions. The system is comprised of two modules: an evaporator and a sputtering system, integrated into a glove box that includes a 5-port shallow glovebox and a 2-port standard glove box on each side, assembled as outlined below. The evaporator component of the tool is intended for depositing both organic and inorganic compounds, such as C60, BCP, Spiro-TTB, CsBr, PbI2 as well as metals like Cu and
Ag (but not limited to these examples). The sputtering part of the system facilitates controlled deposition of transparent conductive oxides, such as IZO and ITO, metal oxides such as NiOx, along with metals like Ag, utilizing at least one soft-landing (minimizing particle energy) hollow cathode magnetron. This system will be utilized for fabricating perovskite solar cells of various sizes and for the different layers within the cell stack. Apart from the price of the equipment, the following technical specifications will be evaluated and considered in the decision making process:
Technical specifications and further requirements We plan a robotic arm upgrade on the tool in the future for automated sample and mask exchanges, therefore, if the offered tool does not have robotic arm upgradability, that offer is excluded. Both systems must be designed for future upgrades to accommodate automatic sample
loading-unloading via a load lock. The load lock, positioned between the two chambers, must be capable of storing at least 6 pcs of plates or masks. The transfer arm must facilitate the automatic exchange of samples within both the evaporator and sputtering system. The load lock undergoes pump-down by the rough pump and connects to the main chambers through gate valves. The system is prearranged for potential upgrades such as electrical connections, openings, and chamber designs. Also, transfer-capable substrate stage assembly must be integrated into both systems to enable the stage to move automatically up and down. Furthermore, as this constitutes a critical element of our project, we are seeking a reference from the company for at least one previously developed and operational system to enhance risk mitigation. Additionally, any offers exceeding a total tool price of €725K (w/o tax, including shipping) will be excluded from further evaluation. The quote must include the details of the 2-day operation and maintenance training course for the end users and the training must be provided in English.

Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer: 14 Monate
Vergabekriterien
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde:

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt

Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2024-04-15 12:19:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2024-04-15 12:19:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 91
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2024-04-15 12:19:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Zusätzliche Informationen: Fehlende Unterlagen werden nachgefordert.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:

Ausfüllen des Formulars: Eigenerklärungen des Bieters zur Eignung im Rahmen der Beschaffung und zur Beziehung mit Russland (im Anhang)

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:

Ausfüllen des Formulars: Eigenerklärung des Bieters zur Eignung im Rahmen der Beschaffung (im Anhang)

Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrugsbekämpfung

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 21 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Entrichtung von Steuern

Falsche Angaben, verweigerte Informationen, die nicht in der Lage sind, die erforderlichen Unterlagen vorzulegen, und haben vertrauliche Informationen über dieses Verfahren erhalten.

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Konkurs

Korruption

Rein innerstaatliche Ausschlussgründe

Schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen Tätigkeit

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Vergleichsverfahren

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlung der Sozialversicherungsbeiträge

Zahlungsunfähigkeit

Beschreibung der Ausschlussgründe:

Täuschung oder unzulässige Beeinflussung des Vergabeverfahrens

Insolvenz

Mit Insolvenz vergleichbares Verfahren

Bestechlichkeit, Vorteilsgewährung und Bestechung

Bildung krimineller Vereinigungen

Wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen

Verstöße gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Betrug oder Subventionsbetrug

Menschenhandel, Zwangsprostitution, Zwangsarbeit oder Ausbeutung

Zahlungsunfähigkeit

Verstöße gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Rein nationale Ausschlussgründe

Interessenkonflikt

Wettbewerbsverzerrung wegen Vorbefassung

Schwere Verfehlung

Mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen Auftrags

Verstöße gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Sozialversicherungsbeiträgen

Einstellung der beruflichen Tätigkeit

Verstöße gegen Verpflichtungen zur Zahlung von Steuern oder Abgaben

Bildung terroristischer Vereinigungen

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Ludwig-Maximilians-Universität München
Nationale Registrierungsnummer: 13877
Postanschrift: Butenandtstr. 5-13 (E)
Postleitzahl: 81377
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: m.doeblinger@lmu.de 📧
Telefon: +49 89218077634 📞
URL: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/b1f22b63-0fc2-4210-9a8c-a3730f48d910 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/b1f22b63-0fc2-4210-9a8c-a3730f48d910 🌏
Sprache des Beschaffungsdokuments: Deutsch 🗣️
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern
Nationale Registrierungsnummer: a4e64a17-d5c8-4e3b-8c0d-877fcf1390bf
Postanschrift: Vergabekammer Südbayern
Postleitzahl: 80534
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 8921762411 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2024-03-12+00:00 📅
Quelle: OJS 2024/S 052-152863 (2024-03-12)

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