Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Ludwig-Maximilians-Universität München
Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2025-09-29. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-08-27.
Wer? Wie? Wo?Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2025-08-27 | Auftragsbekanntmachung |
Auftragsbekanntmachung (2025-08-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Referenznummer: MQV-Plasma
Kurze Beschreibung:
“Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung...”
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Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 700 000 EUR 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen...”
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Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer: 12 (MONTH)
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-09-29 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-09-29 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 39
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Liste mit Kundenreferenzen in Europa für vergleichbare Anlagen (mind. 1). Liste mit Kundenreferenzen in Europa für ALD- oder ALE- oder RIE-Anlagen (mind. 5).”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Der Hersteller muss eine Zertifizierung gemäß DIN ISO 9001 (2015) vorweisen können.”
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Ludwig-Maximilians-Universität München
Nationale Registrierungsnummer: 13316
Postanschrift: Geschwister-Scholl-Platz 1
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: philipp.altpeter@lmu.de 📧
Telefon: +49 8921803733 📞
URL: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Nationale Registrierungsnummer: 3a64fcad-d351-43fa-b8e2-980d686b3d8e
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 8921762411 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen...”
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Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Quelle: OJS 2025/S 165-563507 (2025-08-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Referenznummer: MQV-Plasma
Kurze Beschreibung:
“Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung...”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 700 000 EUR 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen...”
Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer: 12 (MONTH)
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-09-29 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-09-29 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 39
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Liste mit Kundenreferenzen in Europa für vergleichbare Anlagen (mind. 1). Liste mit Kundenreferenzen in Europa für ALD- oder ALE- oder RIE-Anlagen (mind. 5).”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Der Hersteller muss eine Zertifizierung gemäß DIN ISO 9001 (2015) vorweisen können.”
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Ludwig-Maximilians-Universität München
Nationale Registrierungsnummer: 13316
Postanschrift: Geschwister-Scholl-Platz 1
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: philipp.altpeter@lmu.de 📧
Telefon: +49 8921803733 📞
URL: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Nationale Registrierungsnummer: 3a64fcad-d351-43fa-b8e2-980d686b3d8e
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 8921762411 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen...”
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Quelle: OJS 2025/S 165-563507 (2025-08-27)
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