Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage

Ludwig-Maximilians-Universität München

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-09-29. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-08-27.

Wer?

• Ludwig-Maximilians-Universität München

Wie?

• Elektrische Ausrüstung › Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-08-27	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-08-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Beschaffung einer hybriden Plasmaätz- und Beschichtungsanlage
Referenznummer: MQV-Plasma
Kurze Beschreibung:

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer hybriden Anlagen zum plasmagestützten Ätzen und Abscheiden für die Probenherstellung in der Quantenforschung

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen, Apparate und Geräte mit eigener Funktion 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 700 000 EUR 💰
Beschreibung
Interne Kennung: 0001
Geschätzter Wert ohne MwSt: 700 000 EUR 💰
Beschreibung der Beschaffung:

Das hier beschriebene Vergabeverfahren betrifft die Beschaffung einer Anlagen zur Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) und Atomlagenätzen (Atomic Layer Etching, ALE) für plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung bei niedrigen Temperaturen. Zudem muss die Anlage über eine Bias-fähige Ellektrode verfügen, um klassische Parallelplatten-RIE-Prozesse durchzuführen. Das Vakuumsystem muss fähig sein, über einen breiten Druckbereich den Prozessdruck stabil zu regeln, da ALD-Prozesse gewöhnlich höhere Drücke erfordern als RIE-Prozesse. Darüber hinaus müssen alle wesentlichen Funktionen einer RIE und einer PE ALD voll erfüllt werden, so wie sie in den Mindestanforderungen der Ausschreibung aufgeführt sind. Auch RIE-Prozesse mit kapazitiv gekoppeltem Plasma und chemische Abscheideprozesse als IC PECVD müssen durchführbar sein.

Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer: 12 Monate
Vergabekriterien
Begründung, warum die Gewichtung der Zuschlagskriterien nicht angegeben wurde:

Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium; alle Kriterien sind in den Vergabeunterlagen aufgeführt

Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-09-29 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-09-29 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 39 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2025-09-29 12:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Liste mit Kundenreferenzen in Europa für vergleichbare Anlagen (mind. 1). Liste mit Kundenreferenzen in Europa für ALD- oder ALE- oder RIE-Anlagen (mind. 5).

Eignungskriterium: Zertifikate von unabhängigen Stellen über Qualitätssicherungsstandards
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Der Hersteller muss eine Zertifizierung gemäß DIN ISO 9001 (2015) vorweisen können.

Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Ludwig-Maximilians-Universität München
Nationale Registrierungsnummer: 13316
Postanschrift: Geschwister-Scholl-Platz 1
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: philipp.altpeter@lmu.de 📧
Telefon: +49 8921803733 📞
URL: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/bce63c21-96b4-4453-ae56-3c925722ffe4 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern - Vergabekammer Südbayern
Nationale Registrierungsnummer: 3a64fcad-d351-43fa-b8e2-980d686b3d8e
Postanschrift: Maximilianstr. 39
Postleitzahl: 80539
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 8921762411 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen. (2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen. (4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-08-29+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 165-563507 (2025-08-27)

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