Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-09-10.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-08-06.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Auftragsbekanntmachung (2025-08-06) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Ionenstrahlätzanlage
Reference number: 06.25.O.00
Kurze Beschreibung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und...”
Kurze Beschreibung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
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Art des Vertrags: supplies
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 1 189 000 EUR 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und...”
Beschreibung der Beschaffung
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
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Zusätzliche Informationen:
“Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 1.415.000 Euro brutto zur Verfügung. Es ist bis spätestens 15.12.2025 eine Anzahlungsrechnung in Höhe von...”
Zusätzliche Informationen
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 1.415.000 Euro brutto zur Verfügung. Es ist bis spätestens 15.12.2025 eine Anzahlungsrechnung in Höhe von 60% des Auftragswertes gegen Bankbürgschaft zu stellen.
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Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️ Dauer
Datum des Beginns: 2025-10-01 📅
Datum des Endes: 2026-12-15 📅
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-09-10 13:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-09-10 13:05:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 40
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Als Nachweis zu den bestehenden Erfahrungen sind mind. 2 Referenzen aus den vergangenen 3 Jahren mit dem Angebot einzureichen.”
Geforderte Kautionen und Garantien:
“Bankbürgschaft”
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“60 % Anzahlung gegen Bankbürgschaft bis 15.12.2025” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“- Besondere Vertragsbedingungen für Lieferleistungen des Leibniz- IPHT Jena - Eigenerklärung gem. ThürVgG”
“Bekanntmachungs-ID: CXP4YBR5754” Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Thüringen
Nationale Registrierungsnummer: Land Thüringen
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de📧
Telefon: 0361573321059📞 Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer Thüringen
Nationale Registrierungsnummer: Land Thüringen
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de📧
Telefon: 0361573321059📞 Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Quelle: OJS 2025/S 150-517774 (2025-08-06)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2025-10-01) Objekt Umfang der Beschaffung
Geschätzter Wert ohne MwSt: 1 189 000 EUR 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): 118 900 EUR 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (höchstes Angebot): 899 650 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (niedrigstes Angebot): 899 650 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70.0
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 30.0
Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Vertragsnummer: 2520182/195032
Datum des Vertragsabschlusses: 2025-09-29 📅
Titel: Ionenstrahlätzanlage
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Höchstes Angebot: 899 650 💰
Niedrigstes Angebot: 899 650 💰
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 1191182.88 EUR 💰
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: scia Systems GmbH
Nationale Registrierungsnummer: DE288142776
Postleitzahl: 09116
Postort: Chemnitz
Region: Chemnitz, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪