Korrelativer 3D-Profiler für die KI-basierte Prozessentwicklung, Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem

Kurze Beschreibung

Leistungsbeschreibung zur Vergabe im Rahmen des Förderprojekts "Korrelativer 3D-Profiler für die KI-basierte Prozessentwicklung" Im Rahmen des Vorhabens sollen neben drei lichtoptischen Messgeräten, auch Computertechnik, Software und schwingungsdämpfende Tische beschafft werden. Das Weißlichtinterferometersystem (Fachlos 1) und das konfokale Laserscanningmikroskop (Fachlos 2) werden als Komplettsystem ausgeschrieben. Die technischen Anforderungen an das Weitfeldmikroskop (Fachlos 3) können nach intensiver Markterkundung nur durch einen Eigenbau der Arbeitsgruppe "Physik und Angewandte Lasertechnik" erfüllt werden, was eine Aufteilung in Teillose notwendig macht. Übersicht der Lose: Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem Fachlos 2: Konfokales 3D-Laserscanning-Mikroskop Fachlos 3: Weitfeldmikroskop -Teillos 1: Hochauflösendes Infrarotkamerasystem -Teillos 2: Probenpositioniersystem -Teillos 3: Ansteuersoftware Fachlos 4: Optische Tische -Teillos 1: Pneumatisch-schwingungsisolierter optischer Tisch -Teillos 2: Aktiv-schwingungsisolierter optischer Tisch Fachlos 5: Software für Datenauswertung und Korrelation Fachlos 6: Auswerteserver

Beschreibung der Beschaffung

Fachlos 1: 3D-Weißlichtinterferometersystem (CPV: 38600000-1) Das Weißlichtinterferometersystem muss aus zwei, eigenständig nutzbaren Messköpfen bestehen, wobei einer der Messköpfe (MK1) zum Lieferzeitpunkt in eine geeignet schwingungsgedämpfte Geräteplattform mit Bewegungssystem integriert sein muss. 1.1 Geräteplattform Die Geräteplattform muss folgende technische Spezifikationen erfüllen: - Zulässige laterale Probendimensionen: mindestens 300 mm x 300 mm - Zulässige Probenhöhe: mindestens 50 mm - Zulässiges Probengewicht: mindestens 5 kg Das Hauptgerät (exklusive Benutzerarbeitsplatz) muss als möglichst kompaktes und zugängliches Laborgerät mit einer Grundfläche von höchstens 1650 mm x 1250 mm ausgeführt sein. Eine nachträgliche Neupositionierung am Aufstellungsort muss z.B. durch absetzbare Rollen möglich sein. 1.2 Bewegungssystem Das Bewegungssystem der Grundplattform muss nachfolgende Spezifikationen erfüllen: - Laterale Positionierung (x,y- Richtung) mittels motorisierter Achsen mit einem Verfahrweg von mindestens 300 mm x 300 mm - Ausgleich der Probenhöhe durch eine motorisierte vertikal verbaute Positionierachse (z-Richtung) mit einem Verfahrweg von mindestens 50 mm - Ausgleich einer Verkippung zwischen Proben und Objektiv in zwei Achsen durch einen motorisierten Neige-Tisch mit einem Verkippungsbereich von mindestens 2° in beiden Richtungen 1.3 Messköpfe Messkopf 1 (MK1) muss nachfolgende Spezifikationen erfüllen: - Kameraauflösung: mindestens 5 MP - Geschwindigkeit bei voller Auflösung: mindestens 75 fps - Möglichkeit zur kameraseitigen Einschränkung der Messpunktzahl zur Erhöhung der Geschwindigkeit - Motorisierter Objektivrevolver für mindestens 4 Objektive - Verfahrweg der Messachse: mindestens 200 µm - Topografie-Wiederholbarkeit: 0.05 nm - Wiederholbarkeit RMS: 0.005 nm Messkopf 2 (MK2) muss nachfolgende Spezifikationen erfüllen: - Kameraauflösung: mindestens 1MP - Geschwindigkeit bei voller Auflösung: mindestens 750 fps - Möglichkeit zur kameraseitigen Einschränkung der Messpunktzahl zur Erhöhung der Geschwindigkeit - Verfahrweg der Messachse: mindestens 300 µm - Topografie-Wiederholbarkeit: 0.05 nm (Einfach-Scan) - Wiederholbarkeit RMS: 0.005 nm (Einfach-Scan) Es ist ein kompletter Kabelsatz mit 5 m Länge in doppelter Ausführung zu liefern. 1.4 Objektive Zum Lieferumfang des Systems müssen 5 Objektive mit folgenden Charakteristika enthalten sein: - 5x Objektiv Hellfeld zur Probennavigation mit NA>0,1 und WD >20 mm - 10x Objektiv Mirau mit NA>0,25 und WD >7 mm - 20x Objektiv Mirau mit NA>0,35 und WD > 4,5 mm - 50x Objektiv Mirau mit NA>0,5 und WD > 3 mm - mind. 100x Objektiv Mirau mit NA>0,75 und WD > 0,5 mm 1.5 Messmodi und Datenaufnahme Beide Messköpfe müssen über eine eigenständige Ansteuerung und Datenerfassung verfügen, welche zusätzlich mit den Komponenten der Geräteplattform kommunizieren bzw. diese steuern können, sofern sie dort verbaut sind. Folgende Messmodi müssen zwingend verfügbar sein: 1. vertical scanning interferometry (VSI) bzw. coherence-scanning interferometry (CSI) 2. phase shift interferometry (PSI) 3. extended phase shift interferometry (EPSI) als Kombination von VSI/CSI und PSI 4. Mehrfachmessung mit Profilmittelung 5. Variable Schrittweiten Folgende Messmodi wären wünschenswert: 1. Anpassungen des Messmodus zur Erhöhung der Auflösung für VSI/CSI/PSI/EPSI 2. Pre-Scan Routinen zur Verkürzung der Messzeit Die Auswertung der 3D Daten in Echtzeit wäre wünschenswert. 1.6 Rechentechnik In Anbetracht der mit dem Interferometer aufnehmbaren Datenmengen muss das System über eine performante Rechentechnik mit Mehrkernprozessor, mind. 1TB SSD, 64 GB DDR5-RAM, geeigneter externer Grafikkarte sowie einem Monitor mit einer Bildschirmdiagonale von mindestens 27" ausgestattet sein. 1.7 Software Zur Datenaufnahme muss das System über eine geeignete Software mit graphischer Benutzeroberfläche verfügen. Die Software muss die Visualisierung der Probenoberfläche sowie die Anpassung der Abbildungsparameter und die Steuerung der motorisierten Aktoren ermöglichen. Ferner muss damit der Messbereich, die Schrittweite bzw. ROI oder das Binning festgelegt werden können. Die Software muss die Analyse ausgedehnter Bildbereiche durch Aneinanderreihung von Einzelmessungen (Stitching) ermöglichen. Die Software zur Auswertung der Daten muss die folgende Mindestfunktionalität aufweisen: - Automatische Visualisierung von 3D-Daten - Zusammenführung von Einzelmessungen unter Einbeziehung von Positionierdaten und Überlappungsbereichen - Berechnung von 2D (Profilschnitte) und 3D Rauheitsparametern und Basisfunktionen für die Bewertung von Geometrien - Erstellen von Makros und Batch-Processing von Datensätzen - Analyse von transparenten Schichten auf reflektierenden Substraten Ergänzung wäre die Zusammenführung von Einzelmessungen unter Einbeziehung von Höhen- und Winkeldaten wünschenswert. 1.8 Schnittstellen Zur Integration der Messköpfe in andere Anlagen muss ein Software Development Kit (SDK) mit Bibliotheken für mindestens eine der folgenden Programmiersprachen enthalten sein : C, C#, Python. Sofern verfügbar, wäre ein I/O-Modul für die Triggerung vordefinierter Messoperationen wünschenswert. 1.9 Standards Für die Kalibrierung des Systems müssen folgende Standards geliefert werden: - Laterale Kalibierstandards für alle Objektive - Ebenheitsstandard - Stufenstandard 1.10 Installation und Training Nach erfolgter Installation durch den Lieferanten, müssen mindestens 2 Mitarbeiter der AG vor Ort in der Handhabung des Geräts unterwiesen werden.

Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien

Angaben zu seiner/ihrer Identität und Existenz Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft, der/die Eignungsleihgeber und der/die Unterauftragnehmer muss/müssen Angaben zu seiner/ihrer Identität und Existenz machen. Gefordert sind die folgenden Angaben: Name, Anschrift, Ansprechpartner nebst Kontaktdaten, Niederlassungen, Unternehmensgröße, Rechtsform, Gewerbeanmeldung, Handelsregistereintragung, ggf. Berufsregistereintragung, ggf. Kammermitgliedschaften. Dies ist nachzuweisen durch Eigenerklärungen. Mit dem Angebot sind außerdem eine Gewerbeanmeldung und ein Auszug aus dem Handelsregister einzureichen. Die Eigenerklärung/en sowie die Nachweise sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen. Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft, der/die Eignungsleihgeber und der/die Unterauftragnehmer muss/müssen Angaben zu seiner/ihrer Identität und Existenz machen. Gefordert sind die folgenden Angaben: Name, Anschrift, Ansprechpartner nebst Kontaktdaten, Niederlassungen, Unternehmensgröße, Rechtsform, Gewerbeanmeldung, Handelsregistereintragung, ggf. Berufsregistereintragung, ggf. Kammermitgliedschaften. Dies ist nachzuweisen durch Eigenerklärungen. Mit dem Angebot sind außerdem eine Gewerbeanmeldung und ein Auszug aus dem Handelsregister einzureichen. Die Eigenerklärung/en sowie die Nachweise sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen. Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft, der/die Eignungsleihgeber und der/die Unterauftragnehmer muss/müssen Angaben zu seiner/ihrer Identität und Existenz machen. Gefordert sind die folgenden Angaben: Name, Anschrift, Ansprechpartner nebst Kontaktdaten, Niederlassungen, Unternehmensgröße, Rechtsform, Gewerbeanmeldung, Handelsregistereintragung, ggf. Berufsregistereintragung, ggf. Kammermitgliedschaften. Dies ist nachzuweisen durch Eigenerklärungen. Mit dem Angebot sind außerdem eine Gewerbeanmeldung und ein Auszug aus dem Handelsregister einzureichen. Die Eigenerklärung/en sowie die Nachweise sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen.

Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien

Ausschlussgründe nach §§ 123, 124 GWB Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft, der/die Eignungsleihgeber und der/die Unterauftragnehmer dürfen keine Ausschlussgründe verwirklichen, insbesondere nicht nach §§ 123, 124 GWB. Sollten sie Ausschlussgründe verwirklichen, haben sie hierzu nähere Angaben zu machen und ggf. eine Selbstreinigung nachzuweisen. Der Nachweis erfolgt durch Eigenerklärungen, wobei sich der AG u. a. die Anforderungen von Registerauszügen etc. vorbehält. Die Eigenerklärung/en ist/sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen. Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft, der/die Eignungsleihgeber und der/die Unterauftragnehmer dürfen keine Ausschlussgründe verwirklichen, insbesondere nicht nach §§ 123, 124 GWB. Sollten sie Ausschlussgründe verwirklichen, haben sie hierzu nähere Angaben zu machen und ggf. eine Selbstreinigung nachzuweisen. Der Nachweis erfolgt durch Eigenerklärungen, wobei sich der AG u. a. die Anforderungen von Registerauszügen etc. vorbehält. Die Eigenerklärung/en ist/sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen. Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft, der/die Eignungsleihgeber und der/die Unterauftragnehmer dürfen keine Ausschlussgründe verwirklichen, insbesondere nicht nach §§ 123, 124 GWB. Sollten sie Ausschlussgründe verwirklichen, haben sie hierzu nähere Angaben zu machen und ggf. eine Selbstreinigung nachzuweisen. Der Nachweis erfolgt durch Eigenerklärungen, wobei sich der AG u. a. die Anforderungen von Registerauszügen etc. vorbehält. Die Eigenerklärung/en ist/sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen.

Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien

Leistungen von Bietergemeinschaft, Unterauftragnehmer, Eignungsleihgeber Falls das Angebot von einer Bietergemeinschaft abgegeben wird, müssen alle Mitglieder der Bietergemeinschaft die jeweils anderen Mitglieder der Bietergemeinschaft benennen und mitteilen, welche Leistungsteile sie im Rahmen der Bietergemeinschaft voraussichtlich erbringen werden. Der Nachweis erfolgt durch Eigenerklärungen. Die Eigenerklärung/en ist/sind mit dem Angebot einzureichen für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft. Falls der Einsatz von Unterauftragnehmern vorgesehen ist, muss der Bieter bzw. die Bietergemeinschaft die Leistungen benennen, die er bzw. sie voraussichtlich an Unterauftragnehmer zu vergeben beabsichtigt. Falls eine Eignungsleihe vorgesehen ist, muss der Bieter bzw. die Bietergemeinschaft angeben, wofür und in welchem Umfang dies vorgesehen ist, und der Unterauftragnehmer, der seine Eignung verleiht, bzw. der Eignungsleihgeber, ob und ggf. welchen Leistungsteil er übernimmt, welche Kapazitäten er verleiht, dass er die Kapazitäten tatsächlich zur Verfügung stellt, dass er - bei Leihe der beruflichen Leistungsfähigkeit - den betreffenden Leistungsteil auch selbst erbringt, und dass er - bei Leihe der wirtschaftlich-finanziellen Leistungsfähigkeit - die gesamtschuldnerische Haftung übernimmt. Die Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen für den Bieter bzw. die Bietergemeinschaft sowie für den/die Unterauftragnehmer, der seine Eignung verleiht/verleihen, bzw. den Eignungsleihgeber.

Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien

Versicherungsnachweis Der Bieter bzw. die Bietergemeinschaft und der/die Eignungsleihgeber (falls er die Eignung in wirtschaftlich-finanzieller Hinsicht verleiht) muss/müssen das Bestehen einer Haftpflichtversicherung ab Leistungsbeginn bei einem in der EU zugelassenen Versicherungsunternehmen mit folgender Deckung nachweisen: Personenschäden mindestens 1.000.000 EUR, Sachschäden mindestens 500.000 EUR, Vermögensschäden, die weder durch Personen- noch durch Sachschäden entstanden sind, mindestens 1.000.000 EUR. Als versicherte Risiken müssen alle wesentlichen Tätigkeiten umfasst sein, die der Auftragnehmer nach dem ausgeschriebenen Vertrag erbringt. Der Nachweis erfolgt durch Eigenerklärungen, wobei sich der AG u. a. die Anforderungen der Versicherungspolice oder einer Versicherungsbestätigung. Die Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen für den Bieter bzw. die Bietergemeinschaft sowie für den/die Unterauftragnehmer, der seine Eignung in wirtschaftlich-finanzieller Hinsicht verleiht/verleihen, bzw. den Eignungsleihgeber in wirtschaftlich-finanzieller Hinsicht.

Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien

Verschwiegenheitspflicht Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft, der/die Eignungsleihgeber und der/die Unterauftragnehmer müssen alle ihm/ihnen seitens des Auftraggebers mündlich, schriftlich oder elektronisch zur Verfügung gestellten, nicht allgemein zugänglichen Daten vertraulich behandeln (Verschwiegenheitspflicht) und dürfen sie nur zur Durchführung dieses Vergabeverfahrens sowie des sich ggf. anschließenden Auftrags und/oder zur Erfüllung rechtlicher Pflichten zu verarbeiten. Der Nachweis erfolgt durch Eigenerklärungen, wobei sich der AG vorbehält, Nachweise zu den Datensicherheitsmaßnahmen zu verlangen. Die Eigenerklärung/en ist/sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen.

Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien

"Russland-Erklärung" Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft, der/die Eignungsleihgeber und der/die Unterauftragnehmer dürfen nicht von Artikel 5k Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 betroffen sein ("Russland-Erklärung"). Der Nachweis erfolgt durch Eigenerklärungen. Die Eigenerklärung/en ist/sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen.

Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien

Eigenerklärungen nach Landesrecht Der Bieter, die Mitglieder der Bietergemeinschaft und der/die Eignungsleihgeber müssen die folgenden Dokumente unterschrieben mit dem Angebot einreichen: -D.3_Eigenerklaerung_Tariftreue_Mindeststundenentgelt -D.4_Eigenerklaerung_zum_Nachunternehmereinsatz -D.5_Erg. Vertragsbed. TVergG LSA Der Nachweis erfolgt durch Eigenerklärungen. Die Eigenerklärung/en ist/sind mit dem Angebot einzureichen für den Bieter, für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft und für den/die Eignungsleihgeber. Für den/die Unterauftragnehmer ist sie erst auf gesonderte Anforderung des AG einzureichen, außer der Unterauftragnehmer ist zugleich Eignungsleihgeber; in diesem Fall ist die Erklärung mit dem Angebot und nicht erst auf Anforderung einzureichen.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Genaue Angaben zu den Fristen für die Einlegung von Rechtsbehelfen: Auf die Rügepflicht des § 160 Abs. 3 GWB wird hingewiesen. Hiernach ist ein Nachprüfungsantrag bei der zuständigen Vergabekammer zulässig, soweit: - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 GWB bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.