Laser-Lithographie-System

Friedrich-Schiller-Universität Jena

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit den Kauf eines (1) Laser-Lithographie-Systems, welches die in Anlage 2 beschriebenen technischen Leistungsparameter mindestens erfüllen muss.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-02-25. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-01-23.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2025-01-23 Auftragsbekanntmachung
2025-02-20 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2025-01-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laser-Lithographie-System
Referenznummer: EU-OV/2025-10
Kurze Beschreibung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit den Kauf eines (1) Laser-Lithographie-Systems, welches die in...”    Mehr anzeigen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: EU-OV/2025-10
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt für Ihre wissenschaftliche Tätigkeit den Kauf eines (1) Laser-Lithographie-Systems, welches die in...”    Mehr anzeigen
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): (2) weitere Kriterien gemäß Anlage 2 (B-Kriterien) /max. 42 % (42 Wertungspunkte): o Stitching-Test, mittlere Strukturgröße: Bewertung sphärische Form: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre > 4,0 µm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 4,0 µm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 2,0 µm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung von Best-Fit-Sphäre < 0,8 µm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Stitching-Test, kleine Strukturgröße: Bewertung Formtreue/Welligkeit: 0 Punkte (Ausschluss): P-V-Wert Abweichung Linearität > 100 nm 2 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 100 nm 4 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 50 nm 6 Punkte: P-V-Wert Abweichung Linearität < 25 nm Bewertung Oberflächenrauheit Ra: 0 Punkte (Ausschluss): Ra > 20 nm 2 Punkte: Ra < 20 nm 4 Punkte: Ra < 15 nm 6 Punkte: Ra < 10 nm o Automatischer Alignment-Test und Dosiertest: Bewertung Absoluter Versatz: 0 Punkte (Ausschluss): Absoluter Versatz > 1,5 µm 2 Punkte: Absoluter Versatz < 1,5 µm 4 Punkte: Absoluter Versatz < 1,0 µm 6 Punkte: Absoluter Versatz < 0,8 µm Bewertung Kantenrauigkeit: 0 Punkte (Ausschluss): Kantenrauigkeit > 1000 nm 2 Punkte: Kantenrauigkeit < 1000 nm 4 Punkte: Kantenrauigkeit < 800 nm 6 Punkte: Kantenrauigkeit < 400 nm Bewertung Positionsabstand Kreuzmarken 125,0 mm: 0 Punkte (Ausschluss): Abweichung >500 µm 2 Punkte: Abweichung < 500 µm 4 Punkte: Abweichung < 250 µm 6 Punkte: Abweichung < 50 µm
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-02-25 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-02-25 10:05:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 3
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2025-02-25 10:05:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen:
“Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der...”    Mehr anzeigen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“• Unternehmensdarstellung o Allgemeine Unternehmensdarstellung o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr. o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“#Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten

“#Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei (3) Referenzaufträge der letzten...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Kauf auf Rechnung, 30 Tage Zahlungsziel, es sind keine Vorauszahlungen möglich.”
Ausschlussgrund: nati-ground
Beschreibung der Ausschlussgründe:
“Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1...”    Mehr anzeigen

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Nationale Registrierungsnummer: DE150546536
Postleitzahl: 07743
Postort: Jena
Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de 📧
Telefon: 000 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?id=745975 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=730992 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Objekt
Art des Vertrags: Lieferungen

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Nationale Registrierungsnummer: 11111
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de 📧
Telefon: 0361 57332 1254 📞
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Notice information
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-01-23+01:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 017-053091 (2025-01-23)
Auftragsbekanntmachung (2025-02-20)
Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-03-07 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-03-07 10:05:00 📅
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Eröffnungstermin: 2025-03-07 10:05:00 📅

Ergänzende Informationen
Notice information
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-02-20+01:00 📅

Änderungen
Andere zusätzliche Informationen
Hauptgrund für die Änderung: Aktualisierte Informationen
Information about modifications
Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: 492dee43-3343-43c5-906c-9d314ce7e36c-01
Quelle: OJS 2025/S 037-117644 (2025-02-20)