Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage

Leibniz Universität Hannover

Die Leibniz Universität Hannover, Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt die Beschaffung einer Konfokalsputteranlage. Die Beschaffung soll die Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung der Konfokalsputteranlage beinhalten.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-08-28. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-07-21.

Wer?

• Leibniz Universität Hannover

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Hannover › Region Hannover
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-07-21	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-07-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung einer Konfokalsputteranlage
Referenznummer: 51.30-2025-24
Kurze Beschreibung:
“Die Leibniz Universität Hannover, Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt die Beschaffung einer Konfokalsputteranlage. Die Beschaffung soll die...”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: 51.30-2025-24
Beschreibung der Beschaffung:
“Geliefert werden soll ein Clustersystem für das reproduzierbare Abscheiden von Dünnschichten mittels Kathodenzerstäubung für die Anwendung in der...”

Beschreibung der Beschaffung

Geliefert werden soll ein Clustersystem für das reproduzierbare Abscheiden von Dünnschichten mittels Kathodenzerstäubung für die Anwendung in der Mikrosystemtechnik. Daher wird ein vollautomatisiertes Sputterclustersystem benötigt, welches über eine Schleusenkammer mit Probenmagazin, eine Transferkammer, eine Heizkammer sowie zwei Prozesskammern für das Sputtern verfügt. In den jeweiligen Prozesskammern werden Heizsysteme für die Temperierung der Proben sowie optische Emissionsspektrometer (OES) benötigt. Die benötigten Schichtsysteme unterscheiden sich in zwei Kategorien: Reaktiv gesputterte Schichten wie Nitride oder Oxide und inert gesputterte hochreine metallische Schichten. In beiden Fällen ist die Co-Abscheidung von bis zu vier verschiedenen Quellmaterialien entscheidend für die Leistungsfähigkeit der Schichten. Somit wird eine konfokale Anordnung der Targets benötigt. Die Substratgröße soll von Chiplevel bis zu 200 mm Wafern reichen und die Aufnahme der Proben soll auf drehbaren Substrathalter erfolgen. Das Sputtercluster wird im Reinraum der Klasse ISO 5 aufgestellt, weshalb das System mit einer entsprechenden Kompatibilität und in einem sauberen Zustand angeliefert werden muss. Neben der Lieferung frei Verwendungsstelle des Hauptgeräts umfasst der Leistungsumfang die Montage, Inbetriebnahme sowie anschließender Abnahme des Systems und die Einweisung. Der gewünschte Liefertermin ist der 01.07.2026. Alle Liefertermine, die vor dem 1. Juli 2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet. Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.500.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten. Den Zuschlag wird das wirtschaftlichste Angebot bekommen. Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden die Kriterien aus dem beigefügten Leistungsverzeichnis angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem "B" gekennzeichneten Anforderungen stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10 Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder "ja/nein" enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird. Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche Aufträge entgegenwirken, die durch den Einsatz von Niedriglohnkräften entstehen, Belastungen für die sozialen Sicherungssysteme mildern sowie die umwelt- und sozialverträgliche Beschaffung durch die öffentliche Hand fördern. Entsprechende Angaben hierzu müssen dem Angebot beigefügt werden. Ihr ausführliches - unterschriebenes bzw. digital signiertes - Angebot muss bis zum 28.08.2025 um 10.00 Uhr im Vergabeportal hochgeladen sein. Die Zuschlagsfrist wird auf den 25.09.2025 festgesetzt. Die Zuschlagserteilung wird aber ggf. auch früher erfolgen. Bis zum Ablauf dieser Frist sind Sie an Ihr Angebot gebunden. Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten Leistungsverzeichnis. Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das Vergabeportal zu stellen. Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich zu machen, bzw. gesondert darzustellen.

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Postanschrift: An der Universität 2
Postleitzahl: 30823
Stadt: Garbsen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Region Hannover 🏙️
Dauer des Qualifizierungssystems
Unbestimmte Dauer ✅
Informationen zu elektronischen Katalogen
Die Angebote müssen in Form von elektronischen Katalogen eingereicht werden oder einen elektronischen Katalog enthalten
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 25.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Liefertermin
Qualitätskriterium (Gewichtung): 25.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Funktionsumfang
Sonstiges
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-08-28 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-08-28 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 25092025
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2025-08-28 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Elektronischer Katalog: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2025-08-21 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen:
“Es dürfen keine wesentlichen Angebotsbestandteile nachgereicht werden, die zur Wertung des Angebots erforderlich sind (z.B. Preise oder Leistungen, die den...”
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Bitte beachten Sie die im Anschreiben angegebenen einzureichenden Unterlagen”
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Sollten Anzahlungen gewünscht bzw. vereinbart werden, so sind diese nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.”
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Der gewünschte Liefertermin ist der 01.07.2026. Liefertermine nach diesem Datum werden mit einem Punktabzug versehen. (siehe Bewertungsschema) Alle...”
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung
Betrug
Korruption
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen
Zahlungsunfähigkeit
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Leibniz Universität Hannover
Nationale Registrierungsnummer: DE811245527
Postanschrift: Welfengarten 1
Postleitzahl: 30167
Postort: Hannover
Region: Region Hannover 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: vergabe@zuv.uni-hannover.de 📧
Telefon: +49 5117625444 📞
URL: https://www.uni-hannover.de/de/ 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.uni-hannover.de/de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5GNW/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5GNW 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5GNW 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE5GNW”
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft, Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Nationale Registrierungsnummer: t:04131153308
Postanschrift: Auf der Hude 2
Postleitzahl: 21339
Postort: Lüneburg
Region: Lüneburg, Landkreis 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mw.niedersachsen.de 📧
Telefon: +49 413115-3308 📞
Fax: +49 413115-2943 📠
URL: https://www.mw.niedersachsen.de/startseite/themen/aufsicht_und_recht/vergabekammer_rechtslage_ab_18_04_2016/vergabekammer-niedersachsen-144803.html 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Gem. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Antrag auf Durchführung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig soweit: 1) Der Antragsteller den geltend gemachten...”
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Notice information
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-07-21+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 138-477415 (2025-07-21)

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