Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Lithografieclusters

Leibniz Universität Hannover

Die Leibniz Universität Hannover, Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt die Beschaffung eines Lithographieclusters. Die Beschaffung soll die Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung des Lithographieclusters beinhalten.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-11-13. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-10-10.

Wer?

• Leibniz Universität Hannover

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Hannover › Region Hannover
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-10-10	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-10-10)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Lithografieclusters
Referenznummer: 51.30-2025-28
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: 51.30-2025-28
Beschreibung der Beschaffung:

Im Rahmen der Forschungsarbeiten im Bereich der Quantentechnologien planen wir die Beschaffung eines kompakten Lithographieclusters, welches künftig als zentrale Plattform für die Herstellung und Weiterentwicklung mikro- und nanostrukturierter Proben bis zu 8" eingesetzt werden soll. Das System muss eine hohe Reproduzierbarkeit, Flexibilität und Prozesssicherheit gewährleisten, um sowohl bewährte Verfahrensabläufe unter konstanten Bedingungen abzubilden als auch die Entwicklung neuer Prozesse zu ermöglichen. Die Ausschreibung umfasst vier Hauptmodule: - Automatisches Schleuderbeschichtungsmodul für Fotolacke (Modul 1) - Automatisches Sprühbeschichtungsmodul für Fotolacke (Modul 2) - Automatisches Entwicklungsmodul, lösemittelbasiert (Modul 3) - Automatisches Entwicklungs- und Reinigungsmodul, wasserbasiert (Modul 4) Ergänzend dazu sind folgende Funktionsbausteine vorgesehen, die für einen reibungslosen Betrieb unerlässlich sind: Beladungsstation, Probenhandhabung mittels Roboter, automatische Zentrierung, die automatische Aufbringung eines Haftvermittlers (z. B. HMDS) sowie Heizplatten zur Vor- und Nachbehandlung der Substrate. Von besonderer Bedeutung ist, dass das gesamte System als kompakte und vollständig integrierte Lösung konzipiert ist, da das System in einem vorhandenen Reinraum mit begrenztem Platzangebot integriert werden muss. Kurze Umrüstzeiten für den Austausch von Fotolacken oder Entwicklerflüssigkeiten, eine benutzerfreundliche Bedienoberfläche, sowie hohe Service und Ersatzteilverfügbarkeit sind deshalb fester Bestandteil unserer Anforderungen. Besonderes Augenmerk wird ebenfalls auf die Nachhaltigkeitsziele der Abfallvermeidung, der Schadstoffminimierung in Abfällen, der Abfallverwertung, des Ressourcenschutzes sowie Einsparung von Energie und Wasser gelegt. Neben der Lieferung frei Verwendungsstelle des Hauptgeräts umfasst der Leistungsumfang die Montage, Inbetriebnahme sowie anschließender Abnahme des Systems und die Einweisung. Der gewünschte Liefertermin ist der 01.12.2026. Alle Liefertermine, die vor dem 01.12.2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.600.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten. Den Zuschlag wird das wirtschaftlichste Angebot bekommen. Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden die Kriterien des beigefügten Leistungsverzeichnisses angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem "B" gekennzeichneten Anforderungen stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10 Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder "ja/nein" enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird. Die Vergabe erfolgt nach dem Niedersächsischen Tariftreue- und Vergabegesetz (NTVergG). Dieses Gesetz soll Verzerrungen im Wettbewerb um öffentliche Aufträge entgegenwirken, die durch den Einsatz von Niedriglohnkräften entstehen, Belastungen für die sozialen Sicherungssysteme mildern sowie die umwelt- und sozialverträgliche Beschaffung durch die öffentliche Hand fördern. Entsprechende Angaben hierzu müssen dem Angebot beigefügt werden. Ihr ausführliches - unterschriebenes bzw. digital signiertes - Angebot muss bis zum 13.11.2025 um 10.00 Uhr im Vergabeportal hochgeladen sein. Die Zuschlagsfrist wird auf den 15.12.2025 festgesetzt. Die Zuschlagserteilung wird aber ggf. auch früher erfolgen. Bis zum Ablauf dieser Frist sind Sie an Ihr Angebot gebunden. Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten Leistungsverzeichnis. Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das Vergabeportal zu stellen. Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich zu machen, bzw. gesondert darzustellen. Für die Beschaffung gelten die Allgemeinen Einkaufs-und Lieferbedingungen der Leibniz Universität Hannover. Abweichungen bzw. eigens formulierte Einkaufs-oder Lieferbedingungen stellen eine Änderung der Vergabeunterlagen dar, welche einen zwangsweisen Ausschluss des Angebotes nach sich zieht.

Beschreibung der Beschaffung

Postanschrift: An der Universität 2
Postleitzahl: 30823
Stadt: Garbsen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Region Hannover 🏙️
Dauer des Qualifizierungssystems
Unbestimmte Dauer ✅
Informationen zu elektronischen Katalogen
Die Angebote müssen in Form von elektronischen Katalogen eingereicht werden oder einen elektronischen Katalog enthalten
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 25.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Liefertermin
Qualitätskriterium (Gewichtung): 25.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Funktionsumfang
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50.0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-11-13 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-11-13 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 15122025 Monate
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2025-11-13 10:00:00 📅
Elektronischer Katalog: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2025-11-03 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen:

Es dürfen keine wesentlichen Angebotsbestandteile nachgereicht werden, die zur Wertung des Angebots erforderlich sind (z.B. Preise oder Leistungen, die den Angebotsinhalt grundlegend verändern können).

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Bitte beachten Sie die im Anschreiben angegebenen einzureichenden Unterlagen
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Sollten Anzahlungen gewünscht bzw. vereinbart werden, so sind diese nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.

Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Der gewünschte Liefertermin ist der 01.12.2026. Liefertermine nach diesem Datum werden mit einem Punktabzug versehen. (siehe Bewertungsschema) Alle Liefertermine, die vor dem 01.12 2026 liegen, werden mit der Maximalpunktzahl versehen. Danach angekündigte Liefertermine werden unter allen abgegebenen Angeboten absteigend bewertet Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.600.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten. Für die Beschaffung gelten die Allgemeinen Einkaufs-und Lieferbedingugen der Leibniz Universität Hannover, die Sie unter der Rubrik "Vergabeunterlagen" finden. Bitte beachten Sie, dass Änderungen bzw. eigens formulierte Einkaufs-oder Lieferbedingungen eine Änderung der Vergabeunterlagen darstellen, die einen Ausschluss der Angebotes nach sich zieht. Anzahlungen sind nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.

Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Leibniz Universität Hannover
Nationale Registrierungsnummer: DE811245527
Postanschrift: Welfengarten 1
Postleitzahl: 30167
Postort: Hannover
Region: Region Hannover 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: vergabe@zuv.uni-hannover.de 📧
Telefon: +49 5117625444 📞
URL: https://www.uni-hannover.de/de/ 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.uni-hannover.de/de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE514M/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE514M 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE514M 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE514M#
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft, Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Nationale Registrierungsnummer: t:04131153308
Postanschrift: Auf der Hude 2
Postleitzahl: 21339
Postort: Lüneburg
Region: Lüneburg, Landkreis 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mw.niedersachsen.de 📧
Telefon: +49 413115-3308 📞
Fax: +49 413115-2943 📠
URL: https://www.mw.niedersachsen.de/startseite/themen/aufsicht_und_recht/vergabekammer_rechtslage_ab_18_04_2016/vergabekammer-niedersachsen-144803.html 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Gem. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Antrag auf Durchführung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig soweit: 1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt; 2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-10-10+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 196-671116 (2025-10-10)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (>20 neue Beschaffungen)