Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems

Leibniz Universität Hannover

Die Leibniz Universität Hannover, das Institut für Mikroproduktionstechnik, beabsichtigt den Erwerb eines multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive) Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF/IBT) eingesetzt werden können.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-08-14. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-07-14.

Wer?

• Leibniz Universität Hannover

Wie?

• Industrielle Maschinen

Wo?

• Hannover › Region Hannover
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-07-14	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-07-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Multifunktionalen Hochleistungs-Ionenstrahlätz- und -beschichtungssystems
Referenznummer: 51.31 - 2025 - 23
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Industrielle Maschinen 📦
Beschreibung
Interne Kennung: 51.31 - 2025 - 23
Beschreibung der Beschaffung:

Geliefert werden soll ein multifunktionales Ionenstrahlsystem, das sowohl (reaktive) Ionenstrahlätzvorgänge ((R)IBE - (Reactive) Ion Beam Etching) als auch (reaktive) Ionenstrahlbeschichtungsvorgänge ((R)IBS - (Reactive) Ion Beam Sputtering) erlaubt. Zur Planarisierung vorangegangener Beschichtungen soll das Ion Beam Figuring/Trimming (IBF/IBT) eingesetzt werden können. Die Kombination einer großen Primärionenquelle und der Sekundärionenquelle soll zudem das duale Ionenstrahlsputtern (DIBS) mit höchster Homogenität ermöglichen. Hierzu müssen beide Quellen gleichzeitig eingesetzt werden können. Zusammen mit der Defektfreiheit, Reinheit und dem einstellbaren Brechungsindex durch den Einsatz von Zonentargets lassen sich so optimal glatte und dichte Schichten mit höchster optischer Qualität erzeugen, wie es mit keinem anderen Verfahren möglich ist. Die Zonentargets erlauben zudem die Herstellung alternierender Schichtsysteme mit kontinuierlichen Übergängen, sodass Rugate Filter hergestellt werden können. Die physikalische Schichtdicke wird dabei hochpräzise mithilfe von Schwingquarzen und die optische Schichtdicke mithilfe eines optischen Breitband-Monitorings überwacht, mit dessen Hilfe eine rezeptorientierte, vollautomatische Prozesskontrolle vorliegt. Dabei ist ein automatischer Targetwechsel für mindestens 4 Targetmaterialien in Echtzeit möglich. Die Schleusenkammer ermöglicht kurze Abpumpzeiten und die komplementären Prozesse können flexibel aufeinanderfolgend ohne Vakuumbruch mit geringster Partikelkontamination eingesetzt werden. Dies erleichtert bspw. die Oberflächenvorbehandlung zur Erreichung maximaler Schichthaftung. Sensorische und optische Komponenten sollen so defektfrei und mit hoher Ausbeute und Reproduzierbarkeit hergestellt werden können. Die Anlage soll in einem Reinraum ISO Klasse 5 aufgestellt werden und muss entsprechend kompatibel sein. Bei der Ermittlung des wirtschaftlich günstigsten Angebots werden nachstehende Kriterien angewendet. Mit dem Buchstaben A werden Ausschlusskriterien gekennzeichnet. Die Nichterfüllung einer als Ausschlusskriterium gekennzeichneten Anforderung führt zum Ausschluss des Angebotes (KO-Kriterium). Mit dem Buchstaben B werden Bewertungskriterien gekennzeichnet. Die mit einem "B" gekennzeichneten Anforderungen stellen die innerhalb der Bewertungsskala mit Punkten zu bewertenden Kriterien dar und erhalten eine Gewichtung. Wenn aufgelistet, werden für jedes Bewertungskriterium 0 bis 10 Punkte vergeben, die mit dem angegebenen Gewichtungsfaktor in die Endpunktzahl eingehen. Das Feld Pflichtangaben ist vollständig auszufüllen. Wenn Felder "ja/nein" enthalten, ist hier die Angabe anzukreuzen, die angeboten wird. Preisangaben sind bitte Brutto anzugeben (inkl. MwSt.). Weitere Informationen zu den Anforderungen sowie Zuschlags-und Bewertungskriterien entnehmen Sie bitte dem beigefügten Leistungsverzeichnis. Eventuelle Fragen zum Leistungsverzeichnis bitte ich über das Vergabeportal zu stellen. Eventuelle Abweichungen vom Leistungsverzeichnis sind kenntlich zu machen, bzw. gesondert darzustellen.

Beschreibung der Beschaffung

Postanschrift: An der Universität 2
Postleitzahl: 30823
Stadt: Garbsen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Region Hannover 🏙️
Dauer des Qualifizierungssystems
Unbestimmte Dauer ✅
Informationen zu elektronischen Katalogen
Die Angebote müssen in Form von elektronischen Katalogen eingereicht werden oder einen elektronischen Katalog enthalten
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 25.0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-08-14 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-08-14 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 11092025 Monate
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2025-08-14 10:00:00 📅
Elektronischer Katalog: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2025-08-07 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen:

Es dürfen keine wesentlichen Angebotsbestandteile nachgereicht werden, die zur Wertung des Angebots erforderlich sind (z.B. Preise oder Leistungen, die den Angebotsinhalt grundlegend verändern können).

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Punkte, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Bitte beachten Sie die im Anschreiben angegebenen einzureichenden Unterlagen.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:

Sollten Anzahlungen gewünscht bzw. vereinbart werden, so sind diese nur gegen eine für den Auftraggeber kostenlose Bankbürgschaft möglich.

Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Als maßgeblich und verbindlich wird der zugesicherte Liefertermin an den Hauptlieferort ab möglicher Auftragserteilung gesehen. Berücksichtigt werden nur Angebote, deren Liefertermin am oder vor dem 01.06.2026 liegt. Das Angebot mit dem frühesten Liefertermin erhält die volle Punktzahl. Bitte beachten Sie den vorgegebenen Höchstpreis von 1.300.000,00 EUR brutto inklusive aller Nebenkosten.

Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Leibniz Universität Hannover
Nationale Registrierungsnummer: DE811245527
Postanschrift: Welfengarten 1
Postleitzahl: 30167
Postort: Hannover
Region: Region Hannover 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf
E-Mail: vergabe@zuv.uni-hannover.de 📧
Telefon: +49 5117625457 📞
URL: https://www.uni-hannover.de/de/ 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.uni-hannover.de/de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben ✅
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YHE5UX2 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YHE5UX2
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Niedersachsen beim Nds. Ministerium für Wirtschaft, Verkehr, Bauen und Digitalisierung
Nationale Registrierungsnummer: t:04131153308
Postanschrift: Auf der Hude 2
Postleitzahl: 21339
Postort: Lüneburg
Region: Lüneburg, Landkreis 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mw.niedersachsen.de 📧
Telefon: +49 413115-3308 📞
Fax: +49 413115-2943 📠
URL: https://www.mw.niedersachsen.de/startse 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Gem. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Antrag auf Durchführung eines Nachprüfungsverfahrens unzulässig soweit: 1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt; 2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden; 4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-07-14+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 133-460152 (2025-07-14)

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