Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-08-08.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-07-08.
Auftragsbekanntmachung (2025-07-08) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition
Reference number: IHP-2025-048
Kurze Beschreibung:
“Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen...”
Kurze Beschreibung
Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm.
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Art des Vertrags: supplies
Produkte/Dienstleistungen: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen📦 Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen...”
Beschreibung der Beschaffung
Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm.
Das Grundgehäuse soll Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit des Gerätes enthalten, insbesondere ist hierbei ein geeignetes Rückhaltesystem z.B. Kühlfalle oder Aktivkohlefilter zur Silanentfernung integriert.
Das Gerät umfasst einen Vakuumofen, eine Plasmaquelle, ein Reagenzkabinett in welchem die Präkursor-Substanzen für die Beschichtungen eingelagert werden, Anschlüsse für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff sowie für eine Vakuumpumpe.
Das Gerät besitzt eine Reaktionskammer, welche bis mindestens 180°C temperiert werden kann und in welcher Sauerstoffplasma unter verminderten Druck direkt vor der Silanisierungsreaktion erzeugt werden kann. Hierbei ist kein mechanischer Umbau der Anlage notwendig. Der Vakuumofen soll mit einer wiederverschließbaren Tür versehen sein.
Als Sicherheitsvorkehrungen sind neben einer Kühlfalle oder einem Filter ebenfalls visuelle und akustische Warnanlagen sowie ein redundantes Temperaturüberwachungssystem verbaut. Das Gerät ist mit einer Luftabsaugung für die Pumpen ausgestattet und geeignet ohne dass weitere Sicherheitsvorkehrungen im Reinraum oder Graubereich betrieben werden müssen. Das Gerät ist mit 230 V kompatibel.
Das Gerät ist insbesondere dafür geeignet dünne kovalente Sichten von 3-Aminopropyltriethoxysilan (APTES) aber auch (3-Glycidyloxypropyl)trimethoxysilan (GLYMO) auf den Targets zu immobilisieren.
- Lokaler Server, einschließlich Hardware und Software
Die Softwaresteuerung des Gerätes erfolgt über einen PC oder ein Echtzeit-Betriebssystem. Die Software und ggfs. der Rechner sind im Lieferumfang enthalten.
- System Wagen, laminiert, mit feststellbaren Rollen
- Lieferung und Installation der Anlage, inklusive Schulung
- Trockenes Pumpensystem
- Massendurchflussregler für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff
- Montage der Kältemaschine
- Ersatzteil-Kit
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Zusätzliche Informationen:
“#Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:other-sme#”
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt🏙️ Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-08-08 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-08-08 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Referenzen (Mit dem Angebot; Keine oder anderweitige Formerfordernis): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Referenzen (Mit dem Angebot; Keine oder anderweitige Formerfordernis): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen: -Referenzgeber: -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer: -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung: -Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“-”
“Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYT03JCZDC
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
http://vergabemarktplatz.brandenburg.de
Sie...”
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYT03JCZDC
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist insbesondere auch unter Betrachtung von Transparenz und Effizienz.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Nationale Registrierungsnummer: t:0331866-1719
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postleitzahl: 14473
Postort: Potsdam
Region: Potsdam, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mwae.brandenburg.de📧
Telefon: +49 331866-1719📞
Fax: +49 331866-1652 📠
URL: https://mwae.brandenburg.de🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“-” Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Quelle: OJS 2025/S 129-447274 (2025-07-08)