Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-08-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-07-08.

Wer?

• IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) › Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen

Wo?

• Brandenburg › Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-07-08	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-07-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung und Installation einer manuellen Abscheideanlage für Molecular-Layer-Deposition
Referenznummer: IHP-2025-048
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen 📦
Beschreibung
Interne Kennung: IHP-2025-048
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet ✅
Beschreibung der Beschaffung:

Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm. Das Grundgehäuse soll Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit des Gerätes enthalten, insbesondere ist hierbei ein geeignetes Rückhaltesystem z.B. Kühlfalle oder Aktivkohlefilter zur Silanentfernung integriert. Das Gerät umfasst einen Vakuumofen, eine Plasmaquelle, ein Reagenzkabinett in welchem die Präkursor-Substanzen für die Beschichtungen eingelagert werden, Anschlüsse für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff sowie für eine Vakuumpumpe. Das Gerät besitzt eine Reaktionskammer, welche bis mindestens 180°C temperiert werden kann und in welcher Sauerstoffplasma unter verminderten Druck direkt vor der Silanisierungsreaktion erzeugt werden kann. Hierbei ist kein mechanischer Umbau der Anlage notwendig. Der Vakuumofen soll mit einer wiederverschließbaren Tür versehen sein. Als Sicherheitsvorkehrungen sind neben einer Kühlfalle oder einem Filter ebenfalls visuelle und akustische Warnanlagen sowie ein redundantes Temperaturüberwachungssystem verbaut. Das Gerät ist mit einer Luftabsaugung für die Pumpen ausgestattet und geeignet ohne dass weitere Sicherheitsvorkehrungen im Reinraum oder Graubereich betrieben werden müssen. Das Gerät ist mit 230 V kompatibel. Das Gerät ist insbesondere dafür geeignet dünne kovalente Sichten von 3-Aminopropyltriethoxysilan (APTES) aber auch (3-Glycidyloxypropyl)trimethoxysilan (GLYMO) auf den Targets zu immobilisieren. - Lokaler Server, einschließlich Hardware und Software Die Softwaresteuerung des Gerätes erfolgt über einen PC oder ein Echtzeit-Betriebssystem. Die Software und ggfs. der Rechner sind im Lieferumfang enthalten. - System Wagen, laminiert, mit feststellbaren Rollen - Lieferung und Installation der Anlage, inklusive Schulung - Trockenes Pumpensystem - Massendurchflussregler für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff - Montage der Kältemaschine - Ersatzteil-Kit

Beschreibung der Beschaffung

Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Manuellen Molecular-Layer-Deposition Abscheideanlage (MLD-Anlage) zum flächigen Beschichten von Wafern mit Abmessungen von 200 mm Durchmesser und einer Dicke von 150 bis 750 µm.

Das Grundgehäuse soll Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit des Gerätes enthalten, insbesondere ist hierbei ein geeignetes Rückhaltesystem z.B. Kühlfalle oder Aktivkohlefilter zur Silanentfernung integriert.

Das Gerät umfasst einen Vakuumofen, eine Plasmaquelle, ein Reagenzkabinett in welchem die Präkursor-Substanzen für die Beschichtungen eingelagert werden, Anschlüsse für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff sowie für eine Vakuumpumpe.

Das Gerät besitzt eine Reaktionskammer, welche bis mindestens 180°C temperiert werden kann und in welcher Sauerstoffplasma unter verminderten Druck direkt vor der Silanisierungsreaktion erzeugt werden kann. Hierbei ist kein mechanischer Umbau der Anlage notwendig. Der Vakuumofen soll mit einer wiederverschließbaren Tür versehen sein.

Als Sicherheitsvorkehrungen sind neben einer Kühlfalle oder einem Filter ebenfalls visuelle und akustische Warnanlagen sowie ein redundantes Temperaturüberwachungssystem verbaut. Das Gerät ist mit einer Luftabsaugung für die Pumpen ausgestattet und geeignet ohne dass weitere Sicherheitsvorkehrungen im Reinraum oder Graubereich betrieben werden müssen. Das Gerät ist mit 230 V kompatibel.

Das Gerät ist insbesondere dafür geeignet dünne kovalente Sichten von 3-Aminopropyltriethoxysilan (APTES) aber auch (3-Glycidyloxypropyl)trimethoxysilan (GLYMO) auf den Targets zu immobilisieren.

- Lokaler Server, einschließlich Hardware und Software
Die Softwaresteuerung des Gerätes erfolgt über einen PC oder ein Echtzeit-Betriebssystem. Die Software und ggfs. der Rechner sind im Lieferumfang enthalten.
- System Wagen, laminiert, mit feststellbaren Rollen
- Lieferung und Installation der Anlage, inklusive Schulung
- Trockenes Pumpensystem
- Massendurchflussregler für Sauerstoff, und Argon oder Stickstoff
- Montage der Kältemaschine
- Ersatzteil-Kit

Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:startup#, #Besonders auch geeignet für:other-sme#
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Stadt: Frankfurt (Oder)
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-08-08 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-08-08 12:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2025-08-08 12:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2025-07-31 23:59:59 📅
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Referenzen (Mit dem Angebot; Keine oder anderweitige Formerfordernis): Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag. Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen: -Referenzgeber: -Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer: -Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung: -Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs

Eignungskriterium: Eintragung in das Handelsregister
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Nachweis über die Eintragung in ein Handelsregister (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Nationale Registrierungsnummer: DE138996546
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Beschaffung
E-Mail: vergabestelle@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625337 📞
Fax: +49 335-5625333 📠
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYT03JCZDC/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYT03JCZDC 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYT03JCZDC 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYT03JCZDC Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist insbesondere auch unter Betrachtung von Transparenz und Effizienz.

Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Nationale Registrierungsnummer: t:0331866-1719
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postleitzahl: 14473
Postort: Potsdam
Region: Potsdam, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@mwae.brandenburg.de 📧
Telefon: +49 331866-1719 📞
Fax: +49 331866-1652 📠
URL: https://mwae.brandenburg.de 🌏
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-07-08+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 129-447274 (2025-07-08)

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