Lift-Off-Prozesmodul

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-05-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-04-04.

Wer?

• Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-04-04	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-04-04)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lift-Off-Prozesmodul
Referenznummer: Z.841ha-0252#0001
Kurze Beschreibung:

Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: Z.841ha-0252#0001
Titel: Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren.
Zusätzliche Informationen:

Hinweis gemäß § 11 (3) Vergabeverordnung (VgV): Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattformeinzusetzenden elektronischen Mittel sind die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischenWerkzeuge der e-Vergabe-Plattform. Diese werden über die mit "Anwendungen" bezeichneten Menüpunkte auf www.evergabe-online.de zur Verfügung gestellt. Hierzu gehören für Unternehmen derAngebots-Assistenten (AnA) und der Signatur-Client für Bieter (Sig-Client) für elektronische Signaturen. Die technischen Parameter zur Einreichung von Teilnahmeanträgen, Angeboten undInteressensbestätigungen verwendeten elektronischen Mittel sind durch die Clients der e-Vergabe-Plattform und die elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform bestimmt. VerwendeteVerschlüsselungs- und Zeiterfassungsverfahren sind Bestandteil der Clients der e-Vergabe-Plattform sowie der Plattform selber und der elektronischen Werkzeuge der e-Vergabe-Plattform. WeitergehendeInformationen stehen auf https://www.evergabe-online.info bereit. Zur Angebotsabgabe ist der beiliegende PTB-Angebotsvordruck zu verwenden. Zusätzliche Erläuterungen, Spezifikationen etc. auf einer separaten Anlage zum Angebot sind zulässig. Allgemeine Geschäfts-, Verkaufs- oder Lieferbedingungen des Bieters werden nicht akzeptiert. Fragen zu den Vergabeunterlagen sind über die e- Vergabeplattform des Bundes (www.evergabe-online.de) einzureichen. Bieterfragen werden grundsätzlich nur beantwortet, wenn sie bis spätestens 10 Kalendertage vor Ablauf der Angebotsfrist gestellt werden.

Art des Vertrags: Lieferungen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Berlin 🏙️
Vergabekriterien
Preis ✅
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Gewichtung: 50 % (Details s. Anlage Besondere Hinweise zur Wertung der Angebote)
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-05-12 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-05-13 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 7 Wochen
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2025-05-13 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen:

Unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:

Zum Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit reichen Sie bitte eine Liste mit geeigneten Referenzen in Bezug zur gegenständlichen Leistung ein. (s. Punkt 7.3 der Leistungsbeschreibung)

Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Prüfung der Eignung und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen ( s. Punkt 7.3 der Leistungsbeschreibung): - Beleg des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen gem. § 48 VgV (s. Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen) - Beleg des Nichtvorliegens von Verstößen gegen menschrechtliche (gem. § 2 Abs. 2 Nr. 1-12 LkSG) und umweltbezogene Pflichten (gem. § 2 Abs. 3 Nr. 1-8 LkSG) innerhalb des Unternehmens und der Unternehmen der Zulieferer (s. Erklärung Lieferkettensorgfaltspflichtengesetz) - Beleg der Nichtzugehörigkeit zu den in Artikel 5k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 genannten Personen oder Unternehmen (s. Erklärung zum 5. EU-Sanktionspaket)

Ausschlussgrund: Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter
Beschreibung der Ausschlussgründe:

Abweichend von dem voranstehenden Grund, gelten die Ausschlussgründe gemäß §123, §124, §125 GWB. Hierzu sind folgende Unterlagen einzureichen: Erklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s. Punkt 7.3 der Leistungsbeschreibung)

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Nationale Registrierungsnummer: 0204: 991-01483-67
Postleitzahl: 10587
Postort: Berlin
Region: Berlin 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: petra.hauser@ptb.de 📧
Telefon: +49 30 34817453 📞
URL: https://www.ptb.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?id=763729 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=763729 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Objekt
Art des Vertrags: Lieferungen

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes - Bundeskartellamt
Nationale Registrierungsnummer: t: 022894990
Postleitzahl: 53126
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: 000 📞
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-04-07+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 068-223262 (2025-04-04)

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