Lift-Off-Prozesmodul

Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-05-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-04-04.

Wer?

• Physikalisch-Technische Bundesanstalt

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-04-04	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-04-04)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lift-Off-Prozesmodul
Referenznummer: Z.841ha-0252#0001
Kurze Beschreibung:
“Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss...”
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: Z.841ha-0252#0001
Titel: Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren.
Beschreibung der Beschaffung:
“Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss...”
Zusätzliche Informationen:
“Hinweis gemäß § 11 (3) Vergabeverordnung (VgV): Die zur Nutzung der e-Vergabe-Plattformeinzusetzenden elektronischen Mittel sind die Clients der...”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Berlin 🏙️
Vergabekriterien
Preis ✅
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Gewichtung: 50 % (Details s. Anlage Besondere Hinweise zur Wertung der Angebote)
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-05-12 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-05-13 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 7
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2025-05-13 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen:
“Unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Zum Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit reichen Sie bitte eine Liste mit geeigneten Referenzen in Bezug zur gegenständlichen...”
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Prüfung der Eignung und des Nichtvorliegens von Ausschlussgründen ( s. Punkt 7.3 der Leistungsbeschreibung): - Beleg des Nichtvorliegens von...”
Ausschlussgrund: liq-admin
Beschreibung der Ausschlussgründe:
“Abweichend von dem voranstehenden Grund, gelten die Ausschlussgründe gemäß §123, §124, §125 GWB. Hierzu sind folgende Unterlagen einzureichen: Erklärung...”

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Nationale Registrierungsnummer: 0204: 991-01483-67
Postleitzahl: 10587
Postort: Berlin
Region: Berlin 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: petra.hauser@ptb.de 📧
Telefon: +49 30 34817453 📞
URL: https://www.ptb.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Ministerium oder sonstige zentral- oder bundesstaatliche Behörde
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?id=763729 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=763729 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Objekt
Art des Vertrags: Lieferungen

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes - Bundeskartellamt
Nationale Registrierungsnummer: t: 022894990
Postleitzahl: 53126
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: 000 📞
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Notice information
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-04-07+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 068-223262 (2025-04-04)

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