Micro-System-Analyser (IMWS-10.1) - PR924107-2690-P

Beschreibung der Beschaffung

1 Stück Micro-System-Analyser

Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS erforscht das Einsatzverhalten, die Zuverlässigkeit, Sicherheit und Lebensdauer innovativer Materialien in Bauteilen und Systemen.
Gegenstand dieser Ausschreibung ist die Lieferung eines Laser-Doppler-Vibrometers (LDV) zur dynamischen Charakterisierung von Proben im Mikro- bis Millimeterbereich, wie MEMS-Strukturen oder mikromechanische Proben. Darüber hinaus müssen quasistatische out-of-plane Deformationsmessungen (z.B. basierend auf interferometrischen Ansätzen) möglich sein. Optionale Funktionen, Softwareunterstützung, Dokumentation, Lieferung, Abnahmeprüfung und Garantie müssen enthalten sein.

Optionen:
1.2.5. Dynamisches Messsystem (Scanning Laser Doppler Vibrometer) Das Gerät sollte Verschiebungs-/Schwingungsmessungen im Frequenzbereich größer 1,2 Ghz (bis 2 GHz oder höher (größere spezifizierte Frequenzbereiche werden höher bewertet) unterstützen.
1.2.9. Dynamisches Messsystem (Scanning Laser Doppler Vibrometer) "Optionaler externer Signalgenerator:
Ein externer Vektorsignalgenerator kann optional eingebaut werden, um Proben bei hohen Frequenzen elektrisch anzuregen. Das Gerät muss in der Lage sein, genaue und stabile Signale zu erzeugen, die für die dynamische Charakterisierung geeignet sind. Er muss eine hohe Ausgangsleistung von mindestens +30 dBm, eine Modulationsbandbreite von mindestens 1 GHz und eine Frequenzabdeckung von mindestens 10 kHz bis 2,4 GHz bieten."
1.2.12. Dynamisches Messsystem (Scanning Laser Doppler Vibrometer) Zusätzliche Mikroskopobjektive für LVD-Messungen (optional zu 1.2.11) in einem Vergrößerungsbereich von 1x-50x sollten angeboten werden.
1.2.14. Dynamisches Messsystem (Scanning Laser Doppler Vibrometer) "Optionaler externer Signalverstärker:
Ein externer HF-Breitband-Leistungsverstärker sollte optional enthalten sein, um eine multimodale Anregung der zu prüfenden Proben zu ermöglichen. Der Verstärker muss im Klasse-A- oder AB-Modus über einen Frequenzbereich von mindestens 1 MHz bis 200 MHz mit einer Mindestausgangsleistung von 40 dBm an einer 50-Ohm-Last arbeiten. Sowohl die Eingangs- als auch die Ausgangsimpedanz müssen 50 Ohm betragen. Der Verstärker muss eine Ausgangsverzerrung von nicht mehr als -15 dBc aufweisen."
1.2.15. Dynamisches Messsystem (Scanning Laser Doppler Vibrometer) "Optionales Hochgeschwindigkeitssignal-Erfassungsgerät:
Optional sollte ein Gerät enthalten sein, das eine hochauflösende Abtastung der Anregungs- und Messsignale während der Prüfung und Charakterisierung ermöglicht. Dies kann entweder ein Oszilloskop oder eine Hochleistungs-ADC-Karte mit der Möglichkeit der Live-Anzeige innerhalb des Messaufbaus sein. Das Gerät sollte 20 GS/s auf mindestens vier Kanälen erreichen und eine analoge Bandbreite von mindestens 2,4 GHz haben. Die Eingangsimpedanz der analogen HF-Kanäle sollte 50 Ohm betragen. Das Gerät sollte mindestens eine Trigger-Eingangsleitung und einen Synchronisations-Ausgangsanschluss enthalten. Außerdem sollte es Signalverarbeitungsfunktionen wie grundlegende mathematische Operationen, Spektralanalyse, Filterung und Mittelwertbildung unterstützen."
1.3.4. Topographiemessung für Verformung außerhalb der Ebene und Oberflächen-/Rauheitseigenschaften Es sollten zusätzliche Objektive für Topographiemessungen (optional zu 1.3.3) in einem Vergrößerungsbereich von 2,5x-50x angeboten werden.
1.3.5. Topographiemessung für Out-of-Plane-Verformung und Oberflächen-/Rauheitseigenschaften Topographiemessungen an größeren Proben sollten durch Stitching-Ansätze möglich sein. In diesem Fall muss ein automatischer / elektrischer Positioniertisch vorhanden sein.
1.4.2. "Tische und Probenhandhabung
Ein optionaler motorisierter oder manueller Kipptisch kann für die Winkelausrichtung eingebaut werden.
1.4.4. "Tische und Probenhandhabung
"Der Tisch/das System sollte optional Messungen auf Waferebene (bis zu 200 mm) oder auf großen ebenen Substraten unterstützen (z. B. durch Verwendung einer Wafer-Vakuumspannvorrichtung oder eines Universalmontagetisches).
1.5.2. Software- und Datenmanagement Das System sollte automatisierte Messroutinen für sich wiederholende Aufgaben sowie Skript- oder Makroprogrammierung (z. B. Visual Basic, C# o. ä.) für die Erstellung benutzerdefinierter Messsequenzen und die Durchführung von Datenanalysen bieten.
1.7.1. Sonstiges 2 Jahre Garantie
1.7.3. Sonstiges Demontage und Inzahlungnahme eines vorhandenen Altgerätes ohne Garantie (Polytec MSA-400 (2006), Laser-Doppler-Vibrometrie, Out-of-plane / In-plane Schwingungsmessung, ohne Tisch)

Bedingungen für die Vertragserfüllung

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).