The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-07-11.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-06-04.
Auftragsbekanntmachung (2025-06-04) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Plasma Ashing System
Referenznummer: BAdW-WMI-2025-1
Kurze Beschreibung:
“The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of...”
Kurze Beschreibung
The Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
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Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦 Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“siehe Leistungsbeschreibung.”
Ort der Leistung: München, Landkreis🏙️ Dauer des Qualifizierungssystems
Unbestimmte Dauer ✅ Informationen zu elektronischen Katalogen
Die Angebote müssen in Form von elektronischen Katalogen eingereicht werden oder einen elektronischen Katalog enthalten
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikationen
Preis ✅ Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-07-11 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-07-11 12:01:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): Garching, Deutschland
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 45
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärungen über mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.).
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärung zum Umsatz des Unternehmens in EUR netto jeweils in den letzten 3 abgeschlossenen...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen: Eigenerklärung zum Umsatz des Unternehmens in EUR netto jeweils in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit er Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind unter Einschluss des Anteils bei gemeinsam mit anderen Unternehmen ausgeführten Leistungen
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Folgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot einzureichen: -Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren Verhalten...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Folgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot einzureichen: -Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren Verhalten dem Unternehmen desBieters zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt oder gegen das Unternehmen eine Geldbuße nach § 30 desGesetzes über Ordnungswidrigk. rechtskräftig festgesetzt worden ist, jeweils wegen einer Straftat nach: - § 129 des Strafgesetzbuchs (Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetz-buchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen imAusland), - § 89c des Strafgesetzbuchs (Terrorismusfinanzierung) oder wegen d. Teilnahme an einer solchen Tat oderwegen d. Bereitstellung o. Sammlung fin. Mittel in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz 3 / 5 oderteilweise dazu verwendet werden oder verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 desStrafgesetzbuchs zu begehen, - § 261 des Strafgesetzbuchs (Geldwäsche; Verschleierung unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte), - § 263 des Strafgesetzbuchs (Betrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU oder gegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden, - § 264 des Strafgesetzbuchs (Subventionsbetrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU odergegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden, - § 299 des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr), - § 108e des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung von Mandatsträgern), - den §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuchs (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils a. in Verbindung mit §335a des Strafgesetzbuchs (Ausländische und internationale Bedienstete), - Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internat. Bestechung (Bestechung ausl. Abgeordneter imZusammenhang mit internat. Geschäftsverkehr) oder - den §§ 232 und 233 des Strafgesetzbuchs (Menschenhandel) oder § 233a des Strafgesetzbuchs (Förderungdes Menschenhandels). - Eigenerkl., dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben sowie der Beiträge zur Sozialversicherung nachgekommen ist (§ 123 Abs. 4 GWB). - Eigenerkl. (gemäß § 124 Abs. 1 Nrn. 1-4, 7 GWB), dass - weder das Unt. des Bieters noch eine Person, deren Verhalten dem Unternehmen zuzurechnen ist, bei der Ausführung öff. Aufträge gegen geltende umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche Verpfl. verst. hat, - das Unternehmen des Bieters nicht zahlungsunfähig ist/sind, über das Vermögen des Unternehmen kein Insolvenzverf. oder ein vergleichbares Verf. beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse nicht abge-lehnt worden ist, und sich das Unternehmen nicht im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat, - weder das Unternehmen noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, im Rahmen der berufl.Tätigkeit eine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität d. Unternehmens infrage gestellt wird, - weder das Unt. noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, Vereinb. mit anderen Unternehmen getroffen hat, die eine Verhinderung, Einschränkung oder Verfälschung des Wettbewerbsbezwecken oder bewirken, - das Unternehmen nicht eine wesentliche Anforderung bei der Ausf. eines früheren öff. Auftrags o.Konzessionsvertrags erheblich oder fortd. mangelh. erfüllt hat und dies zu einer vorzeitigen Beendigung, zuSchadensersatz oder zu einer vergleichb. Rechtsf. geführt hat. -Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 21 Abs. 1 Nrn. 1-4 SchwarzArbG - Eigenerkl. ü. Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft oder einer Berufsgen. oder einer vergleichbarenUnfallvers. d. Herkunftsl. d. Bieters - Eigenerkl. ü. d. Eintr. i. d. Berufs- o. Handelsregister. o. e. vergl. Reg. d. Herkunftsst. d. Bieters.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“siehe Vergabeunterlagen.”