PR950270 - SiC Kristallzuchtanlage (OV)

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., IKTS

Im Rahmen des offenen Verfahrens wird eine eine SiC Kristallzuchtanlage ausgeschrieben.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-06-20. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-05-19.

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., IKTS

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
• Werkzeuge zum Weichlöten, Hartlöten und Schweißen, Maschinen und Geräte zum Oberflächenhärten und Heißspritzen › Schmelzvorrichtungen

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-05-19	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-05-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: PR950270 - SiC Kristallzuchtanlage (OV)
Referenznummer: PR950270
Kurze Beschreibung:

Im Rahmen des offenen Verfahrens wird eine eine SiC Kristallzuchtanlage ausgeschrieben.

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Schmelzvorrichtungen 📦
Geschätzter Wert ohne MwSt: 470 000 EUR 💰
Beschreibung
Interne Kennung: 0001
Geschätzter Wert ohne MwSt: 470 000 EUR 💰
Beschreibung der Beschaffung:

Das Fraunhofer IKTS (nachfolgend IKTS) plant die Anschaffung einer Kristallzuchtanlage für Entwicklungs-arbeiten und zur Herstellung von Siliciumcarbideinkristallen mit einem Durchmesser von vier bis sechs Zoll. Hauptaugenmerk wird am IKTS auf dem Aufbau einer geeigneten Hot-Zone liegen und sich im Bereich der Entwicklung geeigneter Edukte, deren Auswirkung auf die Qualität des Kristallwachstumsprozesses bewegen. Die Anlage wird als Forschungs- & Entwicklungsaggregat am IKTS betrieben werden. Die dabei zu nutzende Temperatur muss mindestens 2.400°C betragen. Der Energieeintrag muss über eine induktive Beheizung erfolgen. Die Temperaturmessung erfolgt an mindestens einer Stelle per Pyrometer. Als Prozessgas finden Argon und Stickstoff Anwendung. Die Anlage muss für den Kristallzuchtprozess einen Druck von 1 bis mindestens 20 mbar mit einer Genauigkeit von mindestens ±0,07 mbar ausregeln können. Der Aufbau der Hot-Zone muss unabhängig vom Aufstellort der Anlage erfolgen. Das bedeutet, dass die Anlage eine Möglichkeit zur Entnahme, zum Transport und zum präzisen zu positionierenden Einbau der Hot-Zone ermöglicht. Der Aufstellort mit einer zur Verfügung stehenden Fläche von maximal 3.000 x 5.000 mm (B x T) befindet sich im Erdgeschoss. Am Aufstellort darf die Deckentragelast 2 t/m² nicht überschreiten. Die Fläche aller Baugruppen der Anlage, die Flächen zum Service an der Anlage und alle notwendigen Bedienflächen müssen innerhalb der zur Verfügung stehenden Aufstellfläche liegen. Die Höhe der Anlage mit geöffneten Zugängen bzw. Revisionsöffnungen zum Service darf 4.000 mm nicht überschreiten. Der Zugang zur Aufstellfläche zum Einbringen der Anlage erfolgt über eine Rampe und durch verschiedene Türen. Die kleinste Durchgangsbreite beträgt 2.400 mm und die kleinste Durchgangshöhe zum Aufstellort 2.300 mm. Alle benötigten Medien (Elektrik, Prozessgase, Kühlwasser, Druckluft, etc.), Abluft Prozessgas, Abluft Vakuumpumpe liegen am Stellplatz an. Deren Anbindung an die Anlage wird deckenseitig (von oben) erfolgen. Entsprechend ist ein Übergabepunkt zur Anbindung aller Medien deckseitig (von oben) vorzusehen.

Beschreibung der Beschaffung

Das Fraunhofer IKTS (nachfolgend IKTS) plant die Anschaffung einer Kristallzuchtanlage für Entwicklungs-arbeiten und zur Herstellung von Siliciumcarbideinkristallen mit einem Durchmesser von vier bis sechs Zoll. Hauptaugenmerk wird am IKTS auf dem Aufbau einer geeigneten Hot-Zone liegen und sich im Bereich der Entwicklung geeigneter Edukte, deren Auswirkung auf die Qualität des Kristallwachstumsprozesses bewegen. Die Anlage wird als Forschungs- & Entwicklungsaggregat am IKTS betrieben werden.

Die dabei zu nutzende Temperatur muss mindestens 2.400°C betragen. Der Energieeintrag muss über eine induktive Beheizung erfolgen. Die Temperaturmessung erfolgt an mindestens einer Stelle per Pyrometer. Als Prozessgas finden Argon und Stickstoff Anwendung. Die Anlage muss für den Kristallzuchtprozess einen Druck von 1 bis mindestens 20 mbar mit einer Genauigkeit von mindestens ±0,07 mbar ausregeln können.

Der Aufbau der Hot-Zone muss unabhängig vom Aufstellort der Anlage erfolgen. Das bedeutet, dass die Anlage eine Möglichkeit zur Entnahme, zum Transport und zum präzisen zu positionierenden Einbau der Hot-Zone ermöglicht.

Der Aufstellort mit einer zur Verfügung stehenden Fläche von maximal 3.000 x 5.000 mm (B x T) befindet sich im Erdgeschoss. Am Aufstellort darf die Deckentragelast 2 t/m² nicht überschreiten. Die Fläche aller Baugruppen der Anlage, die Flächen zum Service an der Anlage und alle notwendigen Bedienflächen müssen innerhalb der zur Verfügung stehenden Aufstellfläche liegen. Die Höhe der Anlage mit geöffneten Zugängen bzw. Revisionsöffnungen zum Service darf 4.000 mm nicht überschreiten.

Der Zugang zur Aufstellfläche zum Einbringen der Anlage erfolgt über eine Rampe und durch verschiedene Türen. Die kleinste Durchgangsbreite beträgt 2.400 mm und die kleinste Durchgangshöhe zum Aufstellort 2.300 mm.

Alle benötigten Medien (Elektrik, Prozessgase, Kühlwasser, Druckluft, etc.), Abluft Prozessgas, Abluft Vakuumpumpe liegen am Stellplatz an. Deren Anbindung an die Anlage wird deckenseitig (von oben) erfolgen. Entsprechend ist ein Übergabepunkt zur Anbindung aller Medien deckseitig (von oben) vorzusehen.

Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer: 203 Tage
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualitätskriterium
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Umfang der Beschaffung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-06-20 14:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-06-20 14:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): identisch mit Datum der Angebotsfrist, 14:00 Uhr
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 35 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2025-06-20 14:00:00 📅
Zusätzliche Informationen: identisch mit Datum der Angebotsfrist, 14:00 Uhr
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen:

Bitte beachten: Um einen eventuellen Ausschluss des Angebotes zu vermeiden, legen Sie bitte die geforderten Nachweise und Erklärungen dem Angebot unbedingt vollständig bei.

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Punkte, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Art: Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit Beschreibung: Die Übersicht der einzureichenden Nachweise und Erklärungen zur Bietereignung entnehmen Sie den Vergabeunterlagen, insbesondere dem Dokument "04_Fragebogen_zur_Eignungspruefung.pdf": geforderte Mindeststandards: vollständig ausgefüllte Unterlagen gemäß Dokument "04_Fragebogen_zur_Eignungspruefung.pdf", Einreichung mit dem Angebot von: - Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) (02_Eigenerklärungen- Selfdeclaration_07-24.pdf) - Eigenerklärung zur Export-Klassifizierung (03_Export Classification Request Form.pdf) - Eigenerklärung zur Einhaltung der Russlandsanktion EU Nr. 833-2014 (07_Eigenerklärung-Selfdeclaration - (EU) Nr. 833-2014.pdf) - Schriftliche Erklärung der Bank, dass nach Zuschlagserteilung, eine Bankbürgschaft gemäß Ausschreibungsmuster Dokument 007_BankbürgschaftBankguarantee.pdf, ausgestellt wird - folgende Daten des Wirtschaftlich Berechtigten des Auftragnehmers sind uns zu übermitteln: a)Vorname, b) Nachname, c) Geburtsdatum und d) Steuer-Identifikationsnummer Der Wirtschaftlich Berechtigte ist in § 3 Geldwäschegesetz definiert. Bei den Wirtschaftlich Berechtigten handelt es sich stets um natürliche Personen. (Die Verpflichtung zur Erhebung und Verarbeitung o. g. Daten ergibt sich aus Artikel 69 Absatz 2 Verordnung (EU) 2021/1060 i. V. m. Feld 23 und 24, 84 Anhang XVII der Verordnung (EU) 2021/1060.) -Sofern Sie Subunternehmen (Unterauftragnehmer) für die Erfüllung der ausgeschriebenen Leistung beauftragen, sind folgende Daten zu übermitteln: a) Name des Unterauftragnehmers, b) Datum des Vertrags, c) Bezugsnummer, d) Vertragswert, e) Mehrwertsteuer-Identifikationsnummer oder Steuer- Identifikationsnummer (Die Verpflichtung zur Erhebung und Verarbeitung o. g. Daten ergibt sich aus Artikel 69 Absatz 2 Verordnung (EU) 2021/1060 i. V. m. Feld 24, 84 Anhang XVII der Verordnung (EU) 2021/1060.)

Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Art: Technische und berufliche Leistungsfähigkeit Beschreibung: Die Übersicht der einzureichenden Nachweise und Erklärungen zur Bietereignung entnehmen Sie den Vergabeunterlagen, insbesondere dem Dokument "04_Fragebogen_zur_Eignungspruefung.pdf": geforderte Mindeststandards: vollständig ausgefüllte Unterlagen gemäß Dokument "04_Fragebogen_zur_Eignungspruefung.pdf", Einreichung mit dem Angebot, Gefordert sind mindestens drei vergleichbare Referenzen (vergleichbare Leistungen/vergleichbare Projekte) mit Kurzbeschreibung des Leistungsgegenstandes, Benennung des Auftraggebers (Kunden), Referenzen nicht älter als aus dem Jahr 2020

Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung: gemäß Vergabeunterlangen
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., IKTS
Nationale Registrierungsnummer: 11924
Postanschrift: Winterbergstr. 28
Postleitzahl: 01277
Postort: Dresden
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: mike.beuthner@ikts.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 3512553-7954 📞
URL: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/8b0a0eb7-2a65-459e-8b7e-0a0b0a87ce8c 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/8b0a0eb7-2a65-459e-8b7e-0a0b0a87ce8c 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

Das Vorhaben ist aus Förderrichtlinie „02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE“ „Forschungsinfrastruktur für SiC-Halbleiter-Herstellung und -Charakterisierung zur Stärkung Sachsens Leistungselektronikbranche (SaxCrystalPower-Invest)“ gefördert.. Die Budgetobergrenze liegt bei 470.000,00 Euro netto. Angebote die diese Budgetobergrenze überschreiten, können nicht für die Zuschlagserteilung berücksichtigt werden. Die Versendung des Schreibens bzgl. Information und Wartefrist nach § 134 GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen) erfolgt ausschließlich als Nachricht über die Vergabeplattform https://www.deutsche-evergabe.de/.

Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes
Nationale Registrierungsnummer: 0e6d1867-0154-4319-928a-4e0d22d951d7
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +49 22894990 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Rechtsbehelfe gemäß § 160 GWB: (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse am Auftrag hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Abs. 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den gerügten Verstoß gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht unverzüglich gerügt hat, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist (etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen) zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist (etwaige Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen) zur Angebotsabgabe oder zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-05-19+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 097-327274 (2025-05-19)

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