Process Monitoring Tool
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2025-12-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-10-28.
Wer? Wie?- • Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) › Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen
- • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
- • Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt
- • Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
- • Mittelfranken › Erlangen, Kreisfreie Stadt
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2025-10-28 | Auftragsbekanntmachung |
Auftragsbekanntmachung (2025-10-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Process Monitoring Tool
Referenznummer:
Kurze Beschreibung:
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet ✅
Beschreibung der Beschaffung:
Zusätzliche Informationen: #Besonders auch geeignet für:other-sme#
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2026-06-01 📅
Datum des Endes: 2026-07-31 📅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualitätskriterium
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35
Titel
Los-Identifikationsnummer:
Umfang der Beschaffung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen 📦
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-12-02 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-12-02 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2025-12-02 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Punkte, genau)
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
Eignungskriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
Ausschlussgrund:
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Nationale Registrierungsnummer:
Postanschrift: Am Wolfsmantel 33
Postleitzahl: 91058
Postort: Erlangen
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@iis.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 91317762230 📞
URL: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Nationale Registrierungsnummer:
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 116
Postleitzahl: 53113
Postort: 53113
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +49 22894990 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-10-28+01:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 208-713142 (2025-10-28)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Process Monitoring Tool
Referenznummer:
PR1034394 (brueckne)
Kurze Beschreibung:
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
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Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
0001
Diese Auftragsvergabe ist auch für kleine und mittlere Unternehmen (KMU) geeignet ✅
Beschreibung der Beschaffung:
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
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Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2026-06-01 📅
Datum des Endes: 2026-07-31 📅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualitätskriterium
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35
Titel
Los-Identifikationsnummer:
LOT-0001
Umfang der Beschaffung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen 📦
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-12-02 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-12-02 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2025-12-02 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Punkte, genau)
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
Firmenprofil
Company profile
Mindestangaben:
- Gründungsjahr
- wichtige Meilensteine des Unternehmens
- Anzahl der Mitarbeiter
- was wird hergestellt/welche Leistungen
werden erbracht
--> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE
Links oder Bilder.
*** ENGLISH ***
Presentation of the company:
Minimum information:
- Year of foundation
- Important milestones of the company
- Number of employees
- what is produced/what services are
provided
--> Please provide all information in text
form, NO links or images.
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
Umsatz der letzten 3 Jahre
Turnover for the last 3 years
Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle geforderten
Geschäftsjahre anzugeben, so hat es dies begründet anzuzeigen. Soweit möglich ist ein geeigneter
Nachweis zur Neugründung beizufügen.
Die Zahlen zum Umsatz sind in diesem Fall ab dem Zeitpunkt der Gründung des Unternehmens
anzugeben.
Alle Angaben bitte in Textform, KEINE
Links oder Bilder.
English:
If a company that is new to the market is unable to provide figures for all the required
financial years, it must provide a reasoned explanation. Where possible, suitable
evidence of the new establishment must be enclosed.
In this case, the turnover figures must be provided from the date of the company's establishment
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Eigenerklärung Nichtvorliegen Ausschlussgründe_D_07-24
Self-declaration regarding absence of exclusion criteria_07-24
+ 2 weitere
Eigenerklärung_Russland-Sanktionen_VO 833-2014_08.25
Self-declaration_Sanctions on Russia_VO 833-2014_08.25
Schriftliche Erklärung Bank/Written declaration from bank
Im Falle einer Zahlungsbedingung mit Bankbürgschaft ist eine Schriftliche Erklärung Ihrer Bank beizubringen, dass
nach Zuschlagserteilung eine Bankbürgschaft gemäß Ausschreibungsmuster (1_B_Bankguarantee Form), ausgestellt
wird.
IN DEM TEXTFELD IST DIE DATEI ZU BENNENEN, WELCHE SIE ALS NACHWEIS HOCHLADEN.
***ACHTUNG***
- Die Fraunhofer Gesellschaft akzeptiert keine Bankbürgschaften von der R+V-Versicherung.
- Bei Einsatz von Subunternehmern muss nur der Hauptauftragnehmer diesen Punkt erfüllen.
***ENGLISH***
In the case of a payment condition with a bank guarantee, a written declaration from your bank must be provided stating that a bank guarantee will be issued in accordance with the tender template (1_B_Bankguarantee Form) after the contract has been awarded.
PLEASE NAME THE FILE YOU ARE UPLOADING AS PROOF IN THE TEXT FIELD. THE FILE, WHICH YOU MUST UPLOADAS PROOF, IS TO BE SPECIFIED IN THETEXT FIELD.
***NOTE***
- Fraunhofer Company does not accept bank guarantees from R+V Insurance.
- If subcontractors are used, only the main contractor has to fulfill this point.
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Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung
Betrug
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften
+ 19 weitere
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels
Korruption
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen
Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen
Zahlungsunfähigkeit
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Nationale Registrierungsnummer:
10342
Postanschrift: Am Wolfsmantel 33
Postleitzahl: 91058
Postort: Erlangen
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@iis.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 91317762230 📞
URL: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/dashboards/dashboard_off/a4bb8f76-da0a-40bb-8d54-dc44b1981ae6 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Nationale Registrierungsnummer:
d4c79dc7-632f-41a4-9518-1d057c2a3513
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 116
Postleitzahl: 53113
Postort: 53113
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +49 22894990 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
English:
(1) Pursuant to Section 160 (3) No. 1 of the ARC, the candidate/bidder must give notice of any infringements of the contract within 10 days of becoming aware of them.
(2) Pursuant to Section 160 (3) No. 2 of the ARC, violations of procurement regulations which are identifiable on the basis of the notice shall be notified to the contracting authority no later than the expiry of the period for submission of applications or bids specified in the notice.
(3) Pursuant to Section 160 (3) No. 3 of the ARC, violations of procurement regulations which are only apparent in the award documents must be notified to the contracting authority no later than the expiry of the deadline for submitting applications or bids.
(4) Pursuant to Section 160 (3) No. 4 of the ARC, an application for review of a contract award must be filed with the Public Procurement Tribunal within 15 calendar days of the contracting authority's notification that it does not intend to remedy a complaint.
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Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-10-28+01:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 208-713142 (2025-10-28)
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