Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-12-02.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-10-28.
Auftragsbekanntmachung (2025-10-28) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Process Monitoring Tool
Referenznummer: PR1034394 (brueckne)
Kurze Beschreibung:
“Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An...”
Kurze Beschreibung
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
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Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An...”
Beschreibung der Beschaffung
Upgrade of the existing process monitoring system mesc21-11 (Nanofocus topography measurement system serial number 700259) located at Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Upgrade cosists of an automatic handling system for wafers in a seperately enclosed environment. The system is capable of handling wafers from a SEMI 300 mm FOUP to the existing measurement tool. The system is also able to introduce 200 mm Wafers into a suitable adapter enabling processing on standard 300 mm tools and handle the 200 mm wafers in adapter into a SEMI standard 300 mm FOUP.
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Zusätzliche Informationen:
“#Besonders auch geeignet für:other-sme#”
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt🏙️ Dauer
Datum des Beginns: 2026-06-01 📅
Datum des Endes: 2026-07-31 📅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualitätskriterium
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-12-02 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2025-12-02 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Firmenprofil
Company profile
Mindestangaben:
- Gründungsjahr
- wichtige Meilensteine des Unternehmens
- Anzahl der Mitarbeiter
- was wird hergestellt/welche...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Firmenprofil
Company profile
Mindestangaben:
- Gründungsjahr
- wichtige Meilensteine des Unternehmens
- Anzahl der Mitarbeiter
- was wird hergestellt/welche Leistungen
werden erbracht
--> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE
Links oder Bilder.
*** ENGLISH ***
Presentation of the company:
Minimum information:
- Year of foundation
- Important milestones of the company
- Number of employees
- what is produced/what services are
provided
--> Please provide all information in text
form, NO links or images.
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Umsatz der letzten 3 Jahre
Turnover for the last 3 years
Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Umsatz der letzten 3 Jahre
Turnover for the last 3 years
Ist ein Unternehmen, das sich neu am Markt befindet, nicht in der Lage, die Zahlen für alle geforderten
Geschäftsjahre anzugeben, so hat es dies begründet anzuzeigen. Soweit möglich ist ein geeigneter
Nachweis zur Neugründung beizufügen.
Die Zahlen zum Umsatz sind in diesem Fall ab dem Zeitpunkt der Gründung des Unternehmens
anzugeben.
Alle Angaben bitte in Textform, KEINE
Links oder Bilder.
English:
If a company that is new to the market is unable to provide figures for all the required
financial years, it must provide a reasoned explanation. Where possible, suitable
evidence of the new establishment must be enclosed.
In this case, the turnover figures must be provided from the date of the company's establishment
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Eigenerklärung Nichtvorliegen Ausschlussgründe_D_07-24
Self-declaration regarding absence of exclusion criteria_07-24”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Eigenerklärung_Russland-Sanktionen_VO 833-2014_08.25
Self-declaration_Sanctions on Russia_VO 833-2014_08.25”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Schriftliche Erklärung Bank/Written declaration from bank
Im Falle einer Zahlungsbedingung mit Bankbürgschaft ist eine Schriftliche Erklärung Ihrer Bank...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Schriftliche Erklärung Bank/Written declaration from bank
Im Falle einer Zahlungsbedingung mit Bankbürgschaft ist eine Schriftliche Erklärung Ihrer Bank beizubringen, dass
nach Zuschlagserteilung eine Bankbürgschaft gemäß Ausschreibungsmuster (1_B_Bankguarantee Form), ausgestellt
wird.
IN DEM TEXTFELD IST DIE DATEI ZU BENNENEN, WELCHE SIE ALS NACHWEIS HOCHLADEN.
***ACHTUNG***
- Die Fraunhofer Gesellschaft akzeptiert keine Bankbürgschaften von der R+V-Versicherung.
- Bei Einsatz von Subunternehmern muss nur der Hauptauftragnehmer diesen Punkt erfüllen.
***ENGLISH***
In the case of a payment condition with a bank guarantee, a written declaration from your bank must be provided stating that a bank guarantee will be issued in accordance with the tender template (1_B_Bankguarantee Form) after the contract has been awarded.
PLEASE NAME THE FILE YOU ARE UPLOADING AS PROOF IN THE TEXT FIELD. THE FILE, WHICH YOU MUST UPLOADAS PROOF, IS TO BE SPECIFIED IN THETEXT FIELD.
***NOTE***
- Fraunhofer Company does not accept bank guarantees from R+V Insurance.
- If subcontractors are used, only the main contractor has to fulfill this point.
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Nationale Registrierungsnummer: d4c79dc7-632f-41a4-9518-1d057c2a3513
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Str. 116
Postleitzahl: 53113
Postort: 53113
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de📧
Telefon: +49 22894990📞 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
(1) Etwaige Vergabeverstöße muss der Bewerber/Bieter gemäß § 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB innerhalb von 10 Tagen nach Kenntnisnahme rügen.
(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Abgabe der Bewerbung oder der Angebote gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, sind nach § 160 Abs. 3 Nr. 3 GWB spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbungs- oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen.
(4) Ein Vergabenachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB innerhalb von 15 Kalendertagen nach der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, bei der Vergabekammer einzureichen.
English:
(1) Pursuant to Section 160 (3) No. 1 of the ARC, the candidate/bidder must give notice of any infringements of the contract within 10 days of becoming aware of them.
(2) Pursuant to Section 160 (3) No. 2 of the ARC, violations of procurement regulations which are identifiable on the basis of the notice shall be notified to the contracting authority no later than the expiry of the period for submission of applications or bids specified in the notice.
(3) Pursuant to Section 160 (3) No. 3 of the ARC, violations of procurement regulations which are only apparent in the award documents must be notified to the contracting authority no later than the expiry of the deadline for submitting applications or bids.
(4) Pursuant to Section 160 (3) No. 4 of the ARC, an application for review of a contract award must be filed with the Public Procurement Tribunal within 15 calendar days of the contracting authority's notification that it does not intend to remedy a complaint.
Mehr anzeigen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Quelle: OJS 2025/S 208-713142 (2025-10-28)