Thermo reflectance microscope (IMWS-01.1) - PR924106-2690-P

Beschreibung der Beschaffung

1 Stück Thermo reflectance microscope (IMWS-01.1)

In diesem Zusammenhang stellt die Thermoreflexionsmikroskopie eine leistungsstarke Technik dar, da die Anwendung von Prüfwellenlängen im optischen Band zur Analyse von temperaturbedingten Reflexionsänderungen auf der Probenoberfläche eingesetzt wird. Darüber hinaus ermöglichen transiente laserbasierte Thermoreflexionsmessungen die Erkennung und Analyse der Wärmeausbreitung mit hoher Auflösung in Kombination mit der Möglichkeit, die thermischen Materialeigenschaften der beteiligten Materialien in Bulk-Materialien, vor allem aber in dünnen Schichten, lokal aufgelöst zu bestimmen. Mit der Fähigkeit, thermische Eigenschaften quantitativ abzuschätzen, wird das Fraunhofer IMWS in den Bereichen der Materialklassifizierung für Technologieentwicklungen und der präzisen und hochauflösenden Fehleranalyse zur Aufdeckung der defekterzeugenden Ursache beitragen.
Um den Anforderungen gerecht zu werden, ist die Anschaffung eines Thermoreflexionsmesssystems geplant. Dieses fortschrittliche System wird modernste Time-Domain-Thermo-Reflectance-Messungen in einem Mehrfarben- oder Heterodyn-Messverfahren ermöglichen. Es wird außerdem eine präzise und quantitative Schätzung der thermischen Materialeigenschaften von Bulk- und Dünnschichtmaterialien sowie die Analyse der Wärmeausbreitung und der Temperaturmessungen ermöglichen.
Diese Technologieerweiterung wird entscheidend dazu beitragen, die wachsende Nachfrage nach fortschrittlicher Fehleranalyse zu befriedigen und Innovationen in der Halbleiterfertigung und bei Gehäuselösungen zu unterstützen.

Optionen:
1.1.4. Allgemeine Gerätespezifikationen: Das System sollte die folgenden thermischen Charakterisierungstechniken umfassen:
- Die Software muss die quantitative Extraktion lokaler thermischer Eigenschaften (z. B. Wärmeleitfähigkeit, Diffusionskoeffizient, Grenzflächenwiderstand) aus gemessenen Transienten ermöglichen.

1.1.5. Allgemeine Gerätespezifikationen: Das System sollte die folgenden thermischen Charakterisierungstechniken umfassen:
- Absolute Temperaturmessungen und Analyse der transienten Wärmeausbreitung möglich.
1.2.5. Mikroskopkonfiguration und -tische: Das Instrument sollte eine vibrationsisolierte Plattform umfassen oder auf einer solchen montiert sein, die für hochpräzise mikroskopische Messungen geeignet ist.
1.3.3. Optische Pfade und Messung: Pump- und Sondenstrahlen sollten so angeordnet sein, dass der Sondenstrahl relativ zum Pumpstrahl verschoben werden kann, um eine laterale Wärmeausbreitungsanalyse zu ermöglichen.
1.4.1. Betriebs- und Scanmodi "Temperaturmessungen":
Das Gerät sollte Temperaturmessungen in einem breiten Bereich ermöglichen. Es sollte daher über einen temperierbaren Probenhalter zur Aufzeichnung von Kalibrierkurven verfügen, die eine Beziehung zwischen Reflektivität und Probenoberflächentemperatur ermöglichen.
Temperaturmessungen sollten mit und ohne Auftragen einer bekannten Beschichtung (Al, Mo, Pt usw.) möglich sein.
1.4.3 Betriebs- und Scanmodi Das Gerät sollte die thermische Charakterisierung von Schichtmaterialien hinsichtlich des Grenzflächenwiderstands/-leitwerts ermöglichen.
1.4.4 Betriebs- und Scanmodi Die zuverlässig inspizierbare Schichtdicke liegt im Bereich von 10 nm bis 10 µm.
1.4.6 Betriebs- und Scanmodi Das Gerät ermöglicht die Charakterisierung thermischer Eigenschaften wie Leitwert und Diffusionskoeffizient der einzelnen Schichtmaterialien einer geschichteten Probe durch Messungen an deren Querschnittsfläche. Die Schichtdicken können bis zu 5 µm betragen.
1.4.11. Betriebs- und Scanmodi: Das Gerät sollte optional für die Rückseitenmessung vorbereitet sein.
1.5.4. Zusätzliche Funktionen: Das System sollte über eine Probenschale mit Dreipunktnivellierung verfügen. Diese Funktion stellt sicher, dass die Proben korrekt ausgerichtet und planar zu den Scanachsen sind.
1.5.7. Zusätzliche Funktionen: Anbieter sollten optional optionales Zubehör oder Funktionen, die die Funktionalität des Thermoreflektanzsystems erweitern, auflisten und Preise dafür angeben.
1.6.4. Software und Anwendungsprogrammierschnittstellen: Optionale Unterstützung für verschiedene Programmierframeworks und -umgebungen ist willkommen. Bitte geben Sie den angebotenen zusätzlichen Support an.
1.10.1. Sonstige Spezifikationen: Eine erste Benutzerschulung zur Durchführung der quantitativen und qualitativen Messungen sowie zur Extraktion von thermischen Eigenschaften, Temperatur und Wärmeausbreitung.
1.10.2. Sonstige Spezifikationen: Benutzersupport per Fernkommunikation für 12 Monate nach Inbetriebnahme des Geräts.

Bedingungen für die Vertragserfüllung

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).