Waferinspection (IZM-14.1) - PR958425-2590-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Waferinspection (IZM-14.1)

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2025-07-11. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2025-06-10.

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Wie?

• Zähler › Elektronische Messgeräte

Wo?

• Berlin › Berlin
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2025-06-10	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2025-06-10)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Waferinspection (IZM-14.1) - PR958425-2590-P
Referenznummer: PR958425-2590-P
Kurze Beschreibung: Waferinspection (IZM-14.1)
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Elektronische Messgeräte 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0000
Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück: Waferinspection Die Messsysteme werden für folgende Aufgaben eingesetzt: - Messung der Durchbiegung, Verformung und Spannung von nackten Wafern sowie von Wafern mit aufgebrachten Schichten (Siliziumkomponenten oder Metallschichten) auf der Vorder- und/oder Rückseite, - Messung der Gesamtdicke und TTV von nackten Wafern, gebondeten Wafern, einzelnen Stapeln von gebondeten Wafern wie Device- oder Handle-Wafern und Wafern mit abgeschiedenen Schichten, die optisch dick sind, - Messung der TSV von Trenches mit hohem Aspektverhältnis (mindestens 1:30). Das System muss mit einem Mustererkennungssystem für die Waferausrichtung und die Ausrichtung der Messstelle ausgestattet sein. Die Mustererkennungsfunktion muss im Messrezept aktiviert / deaktiviert werden im Messrezept aktiviert/deaktiviert werden. Die Maschine muss eine Kassette-zu-Kassette-Handhabung mit einer Ausrichtstation und einem Flipping-Modul bieten. Der Handler muss in der Lage sein, auch Wafer mit offenen Bereichen zu handhaben. Das Messsystem muss rückführbar auf ein nationales Normal wie PTB, NIST oder ein vergleichbares kalibriert sein. Eine manuelle Beladung der Wafer und die Messung nach einem Rezept muss ebenfalls möglich sein. Optionale Features: - Offline-Software zur Datenanalyse und -visualisierung verfügbar. (LV-Pos. 1.15) - Das System muss in der Lage sein, 300mm Wafer mit manueller Beladung zu messen. (LV-Pos. 3.12)

Dauer: 9 Monate
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Beschreibung
Ort der Leistung: Berlin 🏙️
Postleitzahl: 13355
Stadt: Berlin
Land: Deutschland 🇩🇪

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2025-07-11 08:30:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 60 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Zusätzliche Informationen:

Siehe Vergabeunterlagen

See procurement documents

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Finanzkennzahlen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre. Alle anderen Eignungskriterien entnehmen Sie bitte dem Direktlink.

Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Nationale Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49891205-0 📞
URL: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben ✅
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-197200abd37-476b9e8728da2e25& 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏
Elektronische Einreichung: Zulässig

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +49 228 9499-0 📞
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Nationale Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 89 1205-0 📞
URL: https://www.fraunhofer.de 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2025-06-10+02:00 📅
Quelle: OJS 2025/S 110-374687 (2025-06-10)

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