DRIE-Anlage

Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Allgemeine Beschreibung Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Mikro und Nanosystemen und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum be-schafft. Geplant ist eine reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) zum Ätzen von Siliziumsubstraten oder -schichten. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. DRIE-Anlage / Beschreibung Zum Ätzen tiefer Strukturen in Silizium wird eine Anlage zum reaktiven Ionentiefenätzen (deep reactive ion et-ching DRIE) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis in Si Substrate oder Si Schichten auf 100 mm und 150 mm Wafern mittels Lack- und Hartmasken geätzt werden. Auftragsgegenstand • Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Es können neue, sowie neuwertige gebrauchte (refurbished) Systeme angeboten werden. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-02-27. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-01-27.

Wer?

• Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-01-27	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2026-01-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: DRIE-Anlage
Referenznummer: ELVIS-ID E36312695
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0001 422/2026/9162803
Postanschrift: Reinraum Universität Ulm
Albert-Einstein-Allee 45
Postleitzahl: 89081
Stadt: Ulm
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Ulm, Stadtkreis 🏙️
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 42
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Näheres entnehmen Sie bitte der beigefügten Bewertungsmatrix.
Qualitätskriterium (Gewichtung): 58
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-02-27 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-02-27 10:00:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 42 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2026-02-27 10:00:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen:

Der Auftraggeber kann eine Aufklärung über Inhalte der Angebote und Eignungsunterlagen betreiben und Unterlagen nachfordern. Die Grundsätze der Gleichbehandlung und Nichtdiskriminierung werden dabei beachtet.

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Eintragung in das Handelsregister
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Nachweis über die Eintragung ins Handelsregister: Aktueller Auszug aus dem Handelsregister oder eine Kopie desselben (der Auszug soll zum Zeitpunkt des Fristendes nicht älter als drei Monate sein) oder ein vergleichbares Dokument. Ausländische Bieter können die Eintragung in das jeweilige Berufs- oder Handelsregister ihres Sitzstaates durch Vorlage entsprechender Unterlagen gemäß den lokalen Bestimmungen nachweisen.

Eignungskriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Bieter müssen eine Berufs-/Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme je Schadensereignis in Höhe von mindestens 1.000.000€ für Personenschäden und 1.000.000€ für Sach- und Vermögensschäden nachweisen. Der Nachweis wird erbracht durch Eigenerklärung im Eignungsformblatt sowie die Vorlage eines vom Versicherer ausgestellten Versicherungsnachweises oder einer schriftlichen Erklärung des Versicherers, dass er im Auftragsfall bereit ist, eine Versicherung entsprechend der Bekanntmachung abzuschließen. Der Nachweis bzw. die Erklärung darf nicht älter als 12 Monate sein. Bietergemeinschaften müssen einen entsprechenden Nachweis bzw. eine Erklärung für die Bietergemeinschaft oder für jedes Mitglied der Bietergemeinschaft vorlegen.

Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Sprache, in der die Angebote und Eignungsunterlagen verfasst sein müssen. Das Angebot muss in all seinen Bestandteilen in deutscher/englischer Sprache abgefasst sein.

Firmenprofil/Vorstellung des Unternehmens Der Bieter hat ein Firmenprofil mit folgenden Angaben den Angebotsunterlagen beizufügen: • Datum der Unternehmensgründung • Standorte des Unternehmens • Rechtsform des Unternehmens • Registergericht und Registernummer • Umsatzsteuer Identifikationsnummer (USt-ID) • Identifikationsnummer (Leitweg-ID) • Einstufung als KMU • Einstufung als Start-UP • Börsennotiert • Staatsangehörigkeit des wirtschaftlichen Eigentümers des Unternehmens • Beschreibung des Kerngeschäftes

Eigenerklärung „BMWK-Russland“: Die VO 2024/1865 erweitert die VO 833/2014, in der eine Wiederausfuhr nach Russland und die Wiederausfuhr zur Verwendung in Russland untersagt wird, auch auf Belarus. Der Bieter erklärt mit der Eigenerklärung gemäß Art. 5k der VO 833/2014, dass sich seine Geschäftstätigkeiten ebenfalls nicht auf Belarus erstrecken.

Eigenerklärung GWB (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen)

Eigenerklärung MiLoG (Mindestlohngesetz)

Eigenerklärung ILO (Internationale Arbeitsorganisation)

Erklärung einer Bietergemeinschaft.

Verpflichtungserklärung eines Unterauftraggebers.

Eignungskriterium: Zertifikate von Qualitätskontrollinstituten
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

ISO 9001 Zertifizierung

Erklärungen DSGVO/elektronische Zahlungsverkehr

Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Beschreibung der Ausschlussgründe: Der Katalog der Ausschlussgründe ergibt sich aus §§ 123 und 124 GWB.

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR)
Nationale Registrierungsnummer: Leitweg-ID 992-03005-81
Abteilung: Einkauf
Postanschrift: Linder Höhe
Postleitzahl: 51147
Postort: Köln
Region: Köln, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: evergabe@dlr.de 📧
Telefon: 0 00 📞
URL: http://www.dlr.de/DE/Home/home_node.html 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Regional- oder Kommunalbehörde
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.subreport.de/E36312695 🌏
Teilnahme-URL: https://www.subreport.de/E36312695 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Abteilung: Vergabekammer
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +492289499578 📞
Fax: +492289499163 📠
URL: https://bundeskartellamt.de 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohnsitz der gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung in der Bundesrepublik Deutschland hat einen Empfangsbevollmächtigten in der Bundesrepublik Deutschland zu benennen. Die Begründung muss die Bezeichnung des Antragsgegners, eine Beschreibung der behaupteten Rechtsverletzung mit Sachverhaltsdarstellung und die Bezeichnung der verfügbaren Beweismittel enthalten sowie darlegen, dass die Rüge gegenüber dem Auftraggeber erfolgt ist; sie soll, soweit bekannt, die sonstigen Beteiligten nennen. Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn • der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, • der Antragsteller Verstöße, die in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat, • nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach §134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Der Antrag ist schriftlich bei der Vergabekammer einzureichen und unverzüglich zu begründen. Er soll ein bestimmtes Begehren enthalten. Ein Antragsteller ohne Wohnsitz der gewöhnlichen Aufenthalt, Sitz oder Geschäftsleitung in der Bundesrepublik Deutschland hat einen Empfangsbevollmächtigten in der Bundesrepublik Deutschland zu benennen. Die Begründung muss die Bezeichnung des Antragsgegners, eine Beschreibung der behaupteten Rechtsverletzung mit Sachverhaltsdarstellung und die Bezeichnung der verfügbaren Beweismittel enthalten sowie darlegen, dass die Rüge gegenüber dem Auftraggeber erfolgt ist; sie soll, soweit bekannt, die sonstigen Beteiligten nennen.

Ein Nachprüfungsantrag ist nur zulässig, wenn
• der Antragsteller von ihm erkannte Verstöße gegen Vergabevorschriften im Vergabeverfahren gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen nach Kenntnis gerügt hat,
• der Antragsteller Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung genannten Frist zur Bewerbung gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat,
• der Antragsteller Verstöße, die in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Angebotsfrist gegenüber dem Auftraggeber gerügt hat,
• nicht mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach §134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-01-29+01:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 020-064442 (2026-01-27)

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