Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem

Technische Universität München

Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem für die Synthese von Oxid, Oxinitrid und Nitrid Dünnfilmen

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-03-19. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-02-16.

Wer?

• Technische Universität München

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Landkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-02-16	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2026-02-16)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem
Referenznummer: 040/2025
Kurze Beschreibung:

Reaktives Magnetron Co-Sputtersystem für die Synthese von Oxid, Oxinitrid und Nitrid Dünnfilmen

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: 040/2025
Beschreibung der Beschaffung:

Gegenstand des Auftrags ist Lieferung und Installation (inkl. Training) eines reaktiven Magnetron Co-Sputter-Systems zur Herstellung von Oxid-, Oxinitrid- und Nitrid-Dünnfilmen mit kontrollierten Zusammensetzungen.

Postleitzahl: 85748
Stadt: Garching
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: München, Landkreis 🏙️
Dauer: 11 Monate
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 30.0
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualität
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70.0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-03-19 09:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-03-19 09:01:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 6 Wochen
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2026-03-19 09:01:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-03-12 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen:

Der öffentliche Auftraggeber kann den Bewerber oder Bieter unter Einhaltung der Grundsätze der Transparenz und der Gleichbehandlung auffordern, fehlende, unvollständige oder fehlerhafte unternehmensbezogene Unterlagen, insbesondere Eigenerklärungen, Angaben, Bescheinigungen oder sonstige Nachweise, nachzureichen, zu vervollständigen oder zu korrigieren, oder fehlende oder unvollständige leistungsbezogene Unterlagen nachzureichen oder zu vervollständigen.

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Eigenerklärung über den Gesamtumsatz des Bieters, jeweils der letzten drei (3) abgeschlossenen Geschäftsjahre, jeweils in EUR netto.

Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Eigenerklärungen über je mindestens drei vergleichbare Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.). Maßstab der Vergleichbarkeit ist die in der Leistungsbeschreibung geforderte Lieferleistung. Die verschiedenen Referenzen müssen nicht jeweils alle in der Leistungsbeschreibung geforderten Komponenten enthalten. Jedoch muss durch die Summe der mindestens 3 Referenzen der wesentlichen Teil der Komponenten, wie Sputterkammer, in-situ tilt Magnetorn-Sputterquellen, Pumpensystem, Powergeneratoren (RF, DC, pDC), Schleuse mit automatischem Einzelwafer-Transfer, Dünnschichtmonitor, pneumatische Shutter, Gasdosiersystem (in andere Variante), Computersteurung, Software, und Heizer, abgedeckt sein.

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Technische Universität München
Nationale Registrierungsnummer: 09-1512011-61
Postanschrift: Am Coulombwall 4
Postleitzahl: 85748
Postort: Garching
Region: München, Landkreis 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Professur für nanoskalige Mikroskopie und Spektroskopie von Energiematerialien
E-Mail: johanna.eichhorn@tum.de 📧
Telefon: +498928912762 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Regional- oder Kommunalbehörde
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK051UP/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK051UP 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YK051UP 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YK051UP#
Körper überprüfen
Name: Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern
Nationale Registrierungsnummer: 09-0318006-60
Postleitzahl: 80534
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 892176-2411 📞
Fax: +49 892176-2847 📠
URL: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/ueber_uns/zentralezustaendigkeiten/vergabekammer-suedbayern/ 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) § 160 Einleitung, Antrag (1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. (2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht. (3) Der Antrag ist unzulässig, soweit 1. der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, 2. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 3. Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, 4. mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-02-16+01:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 034-114366 (2026-02-16)

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