Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: CAIBE & ICP Trockenätzer - PR352283-3240-W
PR352283-3240-W
Produkte/Dienstleistungen: Trockenmaschinen📦
Kurze Beschreibung: CAIBE & ICP Trockenätzer
Informationen über Lose
Angebote können für alle Lose eingereicht werden
1️⃣ Umfang der Beschaffung
Titel: Chemically Assisted Ion Beam Etching (CAIBE) Anlage
Titel
Los-Identifikationsnummer: 1
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Trockenmaschinen📦
Ort der Leistung: Berlin🏙️
Beschreibung der Beschaffung:
“Ausgeschrieben wird eine Chemically Assisted Ion Beam Etching (CAIBE) Anlage. Mit dieser Anlage soll eine durch Maskierung vorgegebene Struktur in den...”
Beschreibung der Beschaffung
Ausgeschrieben wird eine Chemically Assisted Ion Beam Etching (CAIBE) Anlage. Mit dieser Anlage soll eine durch Maskierung vorgegebene Struktur in den Halbleiter übertragen werden. Geätzt werden sollen III-V Halbleitermaterialien InP, In(Al)GaAsP und In(Al)GaAs, sowie die Metallschichten Ti, Pt, und Au. Die Wafer sollen sowohl mit SiNx- als auch mit einer Lackmaske ätzbar sein. Des Weiteren muss die Ätzanlage über ein SIMS (Sekundär Ionen Massenspektrometer) Endpunktkontrollsystem verfügen, das die Erkennung von Materialübergängen erlaubt.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technik
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50,00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Nachhaltigkeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10,00
Preis (Gewichtung): 40,00
Dauer
Datum des Beginns: 2023-07-31 📅
Datum des Endes: 2025-01-20 📅
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: FMD-QNC Investprojekt
2️⃣ Umfang der Beschaffung
Titel: Inductively Coupled Plasma (ICP) Anlage
Titel
Los-Identifikationsnummer: 2
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Ausgeschrieben wird eine ICP Trockenätzanlage, für die Ätzung der Materialien InP, In(Al)GaAsP und In(Al)GaAs in einem Einzel- (3", 4" und 6") und...”
Beschreibung der Beschaffung
Ausgeschrieben wird eine ICP Trockenätzanlage, für die Ätzung der Materialien InP, In(Al)GaAsP und In(Al)GaAs in einem Einzel- (3", 4" und 6") und Multiwafer Betrieb (3x3"). Geätzt werden sollen die Materialien InP, In(Al)GaAsP und In(Al)GaAs in einem Einzel- (3", 4" und 6") und Multiwafer Betrieb (3x3"). Die Wafer sollen sowohl mit SiNx- als auch mit einer Lackmaske ätzbar sein. Auch eine Ätzung von Metallschichten soll möglich sein. Im ICP-Mode (Inductively Coupled Plasma) soll eine Ätzrate im 3"-Einzelwaferprozess von mindestens 250 nm/min und eine Selektivität zur SiNx-Maske von mindestens 10:1 erreicht werden. Die Anlage soll zusätzlich mit hohen Ätzraten Tiefenätzungen durchführen. Dies ist durch die Nutzung von reaktiven Gasen (z.B. Cl2) möglich.
Mehr anzeigen Dauer
Datum des Beginns: 2023-06-30 📅
Datum des Endes: 2024-10-01 📅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18731535eba-287885d0a315b5fb” Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18731535eba-287885d0a315b5fb” Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18731535eba-287885d0a315b5fb” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-06-02
10:00 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2023-06-15 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-09-15 📅
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: https://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2023/S 089-270370 (2023-05-03)