CAIBE & ICP Trockenätzer - PR352283-3240-W

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

CAIBE & ICP Trockenätzer

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-06-02. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-05-03.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Wie?

• Wäschereiwaschmaschinen, Maschinen für die chemische Reinigung und Trockenmaschinen › Trockenmaschinen

Wo?

• Deutschland › Berlin
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2023-05-03	Auftragsbekanntmachung
2023-12-18	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2023-05-03)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Trockenmaschinen
Referenznummer: PR352283-3240-W
Kurze Beschreibung: CAIBE & ICP Trockenätzer
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Trockenmaschinen 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Trockenmaschinen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Berlin 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL der Dokumente: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-18731535eba-287885d0a315b5fb 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-05-03 📅
Einreichungsfrist: 2023-06-02 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-05-08 📅
Datum des Beginns: 2023-07-31 📅
Datum des Endes: 2025-01-20 📅
Datum des Beginns: 2023-06-30 📅
Datum des Endes: 2024-10-01 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 089-270370
ABl. S-Ausgabe: 89

Objekt
Umfang der Beschaffung
Bezeichnung des Loses: Chemically Assisted Ion Beam Etching (CAIBE) Anlage
Losnummer: 1
Kurze Beschreibung:

Ausgeschrieben wird eine Chemically Assisted Ion Beam Etching (CAIBE) Anlage. Mit dieser Anlage soll eine durch Maskierung vorgegebene Struktur in den Halbleiter übertragen werden. Geätzt werden sollen III-V Halbleitermaterialien InP, In(Al)GaAsP und In(Al)GaAs, sowie die Metallschichten Ti, Pt, und Au. Die Wafer sollen sowohl mit SiNx- als auch mit einer Lackmaske ätzbar sein. Des Weiteren muss die Ätzanlage über ein SIMS (Sekundär Ionen Massenspektrometer) Endpunktkontrollsystem verfügen, das die Erkennung von Materialübergängen erlaubt.

Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: FMD-QNC Investprojekt
Bezeichnung des Loses: Inductively Coupled Plasma (ICP) Anlage
Losnummer: 2
Kurze Beschreibung:

Ausgeschrieben wird eine ICP Trockenätzanlage, für die Ätzung der Materialien InP, In(Al)GaAsP und In(Al)GaAs in einem Einzel- (3", 4" und 6") und Multiwafer Betrieb (3x3"). Geätzt werden sollen die Materialien InP, In(Al)GaAsP und In(Al)GaAs in einem Einzel- (3", 4" und 6") und Multiwafer Betrieb (3x3"). Die Wafer sollen sowohl mit SiNx- als auch mit einer Lackmaske ätzbar sein. Auch eine Ätzung von Metallschichten soll möglich sein. Im ICP-Mode (Inductively Coupled Plasma) soll eine Ätzrate im 3"-Einzelwaferprozess von mindestens 250 nm/min und eine Selektivität zur SiNx-Maske von mindestens 10:1 erreicht werden. Die Anlage soll zusätzlich mit hohen Ätzraten Tiefenätzungen durchführen. Dies ist durch die Nutzung von reaktiven Gasen (z.B. Cl2) möglich.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18731535eba-287885d0a315b5fb

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18731535eba-287885d0a315b5fb

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18731535eba-287885d0a315b5fb

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2023-06-15 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-09-15 📅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technik
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50,00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Nachhaltigkeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10,00
Preis (Gewichtung): 40,00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Einkauf - Wissenschaftliche Geräte
Dokumente URL: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-18731535eba-287885d0a315b5fb 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: https://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2023/S 089-270370 (2023-05-03)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-12-18)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: CAIBE & ICP Trockenätzer - PR352283-3240-W
Referenznummer: PR352283-3240-W
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Trockenmaschinen 📦
Informationen über Lose
Dieser Vertrag ist in Lose unterteilt ✅

1️⃣
Interne Kennung: LOT-0001
Titel: Chemically Assisted Ion Beam Etching (CAIBE) Anlage
Beschreibung der Beschaffung:

Zusätzliche Informationen: FMD-QNC Investprojekt
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Berlin 🏙️
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technik
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50.00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Nachhaltigkeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 40.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

2️⃣
Interne Kennung: LOT-0002
Titel: Inductively Coupled Plasma (ICP) Anlage
Beschreibung der Beschaffung:

Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0002

Verfahren
Art des Verfahrens
Verhandlungsverfahren mit vorherigem Aufruf zum Wettbewerb ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Auftragsvergabe

1️⃣
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 2
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Leiter der anbietenden Partei ✅
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0001
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Oxford Instruments
Nationale Registrierungsnummer: DE113869215
Postanschrift: Postfach 45 09
Postleitzahl: 65035
Postort: Wiesbaden
Region: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ger-pt_tenders@oxinst.com 📧
Telefon: +49 1743329313 📞
Fax: +49 6122937178 📠
Staatsangehörigkeit des Eigentümers: Deutschland 🇩🇪
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen

2️⃣
Los-Identifikationsnummer: LOT-0002
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0002

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Nationale Registrierungsnummer: DE129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf - Wissenschaftliche Geräte
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +498912050 📞
URL: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
Federführendes Mitglied ✅
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +4922894990 📞
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Nationale Registrierungsnummer: DE129515865
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Telefon: +49 89 1205-0 📞
URL: https://www.fraunhofer.de 🌏
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2023-12-18+01:00 📅
Quelle: OJS 2023/S 244-768954 (2023-12-18)

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