Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden. Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171, bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo genität bestimmt wird. Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L x B x H = 300mm × 275mm × 15mm. Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2.
Auftragsbekanntmachung (2026-04-13) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Hotplate zur Temperung großflächiger Substrate für Elektronenstrahllithografie
Referenznummer: EU-OV/2026-28
Kurze Beschreibung:
“Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für
hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft...”
Kurze Beschreibung
Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für
hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden.
Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171,
bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo
genität bestimmt wird.
Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L
x B x H = 300mm × 275mm × 15mm.
Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2.
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Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦 Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für
hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft...”
Beschreibung der Beschaffung
Es soll eine halbautomatische Hotplate zur Temperung von mit Resists beschichteten Substraten für
hochauflösende Elektronenstrahllithografie beschafft werden.
Die Anlage dient zur definierten Pre- und Post-bake chemisch verstärkter Resists, wie bspw. FEP171,
bei denen die Empfindlichkeit wesentlich durch das Temperatur Zeit Profil und die Temperatur-Homo
genität bestimmt wird.
Zu prozessierende Substrate umfassen u.a. 300mm-Wafer, sowie rechteckiger Glas-Substrate bis zu L
x B x H = 300mm × 275mm × 15mm.
Aus diesen technischen Randbedingungen ergeben sich die folgenden Anforderungen:, siehe Anlage 2.
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Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️ Vergabekriterien
Kriterium:
“Der Zuschlag wird nach § 58 VgV auf das unter Berücksichtigung aller Umstände wirtschaftlichste Angebot erteilt. Zur Ermittlung des wirtschaftlichsten...”
Kriterium
Der Zuschlag wird nach § 58 VgV auf das unter Berücksichtigung aller Umstände wirtschaftlichste Angebot erteilt. Zur Ermittlung des wirtschaftlichsten Angebotes werden ausschließlich die nachfolgenden Kriterien angesetzt:
1) Gesamtangebotspreis (netto; ohne Berücksichtigung von bedingten Rabatten, wie z. B. Skonto; soweit der Auftraggeber im Rahmen der Lieferung Einfuhrabgaben (Zollgebühren) zu entrichten hat, werden diese Kosten bei der Wertung berücksichtigt). * */ max. 40 % (bis zu 40 Wertungspunkte)
* Hierbei gilt, dass der beste (günstigste) Preis die maximale Prozentzahl erhält. Das 2-fache des besten Preises entspricht 0%. Alle weiteren Angebote werden entsprechend Ihrer Abweichungen linear interpoliert. Der geringste erreichbare Wert ist 0%.
2) Gewünschte technische Ausführung mit zusätzlicher Wertung, max. 60 %, entspricht bis zu 60 Wertungspunkten - siehe Vergabeunterlagen.
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Los-Identifikationsnummer: LOT-0001
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-05-19 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-05-19 10:05:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 1
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“• Unternehmensdarstellung
o Allgemeine Unternehmensdarstellung
o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.
o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
• Unternehmensdarstellung
o Allgemeine Unternehmensdarstellung
o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.
o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auftraggeber betreuen würde)
o Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse
o Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige
o Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.
• Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“#Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
#Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung maßgeblichen Geschäftsbereiches.
Berücksichtigt werden Bieter, die 368.000 EUR im benannten Geschäftsbereich umgesetzt haben.
#Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung einschließlich der Angabe der Deckungssummen.
Mindestanforderung: Die Betriebshaftpflichtversicherung hat mindestens folgende Deckungssummen (bei mindestens zweifacher Maximierung je Versicherungsjahr) pro Schadensfall aufzuweisen: Personenschäden: 1.000.000 €, Sach- und Umweltschäden 500.000 €, Vermögensschäden 100.000 €. Sollte die Betriebshaftpflichtversicherung die vorgenannten Deckungssummen derzeit nicht erreichen oder noch keine Betriebshaftpflichtversicherung abgeschlossen sein, so ist der Bieter verpflichtet, im Falle der Zuschlagserteilung die Deckungssummen entspre-chend zu erhöhen bzw. abzuschließen.
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“#Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge
Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei (3) Referenzaufträge der letzten...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
#Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge
Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei (3) Referenzaufträge der letzten 3 Geschäftsjahre mit dem Angebot vorzulegen. Der jeweilige Referenzauftrag muss mit der im vorliegenden Ausschreibungsverfahren zu vergebender Leistung inhaltlich und vom Komplexitätsgehalt (= Leistungsanforderungen gemäß Anlage 2) mindestens vergleichbar sein. Nur vergleichbare Referenzen können im Rahmen der Eignungsprüfung berücksichtigt werden.
Die Referenzen müssen mindestens die folgenden Angaben enthalten:
Name des Unternehmens (Referenzgeber)
Ansprechpartner beim Referenzgeber (Name, Telefon, E-Mail)
Art der ausgeführten Leistung
Ausführungszeitraum / Vertragslaufzeit
Die o.g. Referenzangaben sind mit dem Angebot vorzulegen.
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Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln:
“Kauf auf Rechnung (Vorauszahlungsrechnung), 30 Tage Zahlungsziel - Es wird mit Zuschlagserteilung eine Bürgschaft fällig.
Hinweis: Eine Vorauszahlung gegen...”
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln
Kauf auf Rechnung (Vorauszahlungsrechnung), 30 Tage Zahlungsziel - Es wird mit Zuschlagserteilung eine Bürgschaft fällig.
Hinweis: Eine Vorauszahlung gegen Bankbürgschaft in Höhe des Bruttoauftragswertes
wird in Absprache vereinbart. Der Auftragnehmer reicht dazu umgehend nach Zu
schlagserteilung eine Rechnung und Bürgschaft ein. Die Kosten sind einzukalkulieren und
werden nicht vergütet. Anforderung: Bankbürgschaft eines europäischen Kreditinstituts /
Bank, zudem selbstschuldnerisch und unbefristet, Zinsen und Kosten ein-geschlossen, un
ter Verzicht auf die Einreden der Anfechtbarkeit, der Aufrechenbarkeit und der Voraus
klage gemäß § 770, 771 BGB. Die Bürgschaft kann nach erfolgreicher Abnahme zurückge
fordert werden. Eine Befristung ist unzulässig.
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Nationale Registrierungsnummer: 11111
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de📧
Telefon: 0361 57332 1254📞 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen
Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen
Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen bestimmten Form. Spätestens zehn Kalendertage vor dem beabsichtigten Vertragsabschluss informiert die Vergabestelle den/die unterlegenen Bieter über den Namen des Bieters, dessen Angebot angenommen werden soll, über die Gründe der vorgesehenen Nichtberücksichtigung ihres Angebotes und den frühestmöglichen Zeitpunkt der Zuschlagserteilung. Die Vergabestelle bestimmt eine mindestens zehn Tage betragende Frist, in der eine mögliche Beanstandung / Rüge vorzubringen ist.
Die Beanstandungen / Rügen sind schriftlich zu übermitteln an:
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Abteilung Einkauf
07743 Jena
Zulässig sind Beanstandungen und Rügen ausschließlich per E-Mail an:
vergabestelle@uni-jena.de
Beanstandungen und Rügen sind dabei klar als diese zu benennen und zu kennzeichnen.
Rügen
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen kann.
Stelle für Nachprüfungsverfahren
Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen kann sich der Bieter an nachfolgende Vergabekammer wenden:
Vergabekammer
beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Jorge-Semprún-Platz 4
99423 Weimar
Vorsorglich möchten wir auf die Kostenfolge nach § 14 Abs. 5 ThürVgG für Nachprüfungsverfahren hinweisen.
Mehr anzeigen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Quelle: OJS 2026/S 072-252887 (2026-04-13)