Industrielle Maschinen

Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle

Beschaffung einer Sputteranlage (DFG-GZ:A 620). RF-Magnetron Sputteranlage Universität Konstanz Die gesuchten Leistungen und gewünschten Spezifikationen der RF-Magnetron Sputteranlage zur Herstellung dielektrischer und halbleiteder Schichten: 1) UHV-Sputteranlage mit Schleuse zur Beschichtung von bis zu 8“ großen Wafern; 2) 4 Sputterquellen zum RF-Magnetron-Sputtern, davon eine mit kombinierter DC/RF Sputterquelle; 3) Alle 4 Quellen sollen in einer Sputter-Down Konfiguration angeordnet sein; 4) Mindestens 2 Quellen müssen zum Co-Sputtern angeordnet sein; 5) 3 Gaslinien mit Mass-Flow-Controllern (Argon, Sauerstoff und Stickstoff); 6) Schichtdickenmessung; 7) Substratheizung bis 450 °C; 8) RF-Bias am Substrat anlegbar; 9) Computergesteuerte Prozessführung; 10) Installation, Inbetriebnahme und technische Einweisung.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2010-11-17. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2010-11-04.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2010-11-02 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2010-11-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrielle Maschinen
Volltext:
Beschaffung einer Sputteranlage (DFG-GZ:A 620). RF-Magnetron Sputteranlage Universität Konstanz Die gesuchten Leistungen und gewünschten Spezifikationen der RF-Magnetron Sputteranlage zur Herstellung dielektrischer und halbleiteder Schichten: 1) UHV-Sputteranlage mit Schleuse zur Beschichtung von bis zu 8“ großen Wafern; 2) 4 Sputterquellen zum RF-Magnetron-Sputtern, davon eine mit kombinierter DC/RF Sputterquelle; 3) Alle 4 Quellen sollen in einer Sputter-Down Konfiguration angeordnet sein; 4) Mindestens 2 Quellen müssen zum Co-Sputtern angeordnet sein; 5) 3 Gaslinien mit Mass-Flow-Controllern (Argon, Sauerstoff und Stickstoff); 6) Schichtdickenmessung; 7) Substratheizung bis 450 °C; 8) RF-Bias am Substrat anlegbar; 9) Computergesteuerte Prozessführung; 10) Installation, Inbetriebnahme und technische Einweisung.
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Ort der Leistung
Konstanz 🏙️
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferauftrag
Verordnung: Europäische Gemeinschaften
Originalsprache: Deutsch 🗣️

Verfahren
Verfahrensart: Beschleunigtes Verhandlungsverfahren
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Angebotsart: Gesamtangebot
Art des öffentlichen Auftraggebers: Andere
Haupttätigkeit: Sonstiges

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontakt
Internetadresse: www.dfg.de 🌏

Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2010-11-04 📅
Absendedatum: 2010-11-02 📅
Einreichungsfrist: 2010-11-17 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer (Legacy): 328621-2010
ABl. S-Ausgabe: 214/2010

Objekt
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrielle Maschinen 📦
Quelle: OJS 2010/S 214-328621 (2010-11-02)
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Region:
Deutschland Baden-Württemberg Freiburg Konstanz