Ionenimplantationsanlage - PR468166-2790-W

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Ionenimplantationsanlage

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-10-20. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-09-05.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-09-05 Auftragsbekanntmachung
2023-12-21 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2023-09-05)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: PR468166-2790-W
Kurze Beschreibung: Ionenimplantationsanlage
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Bayern 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL der Dokumente: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-09-05 📅
Einreichungsfrist: 2023-10-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-09-08 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 173-539666
ABl. S-Ausgabe: 173
Zusätzliche Informationen
entfällt

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
1 Stück Ionenimplantationsanlage
Für die farbzentrenbasierte Quantentechnologie am IISB wird eine Implantationsanlage benötigt und soll daher im Rahmen einer strategischen Investition in Form einer Mehrstrahlanlage beschafft werden. Im Fokus steht eine Ionensäule (FIB), die mindestens Helium und Stickstoff als wählbare Spezies besitzt. Ein niedriger Helium-Ionenstrom (kleiner 10 µA) muss es ermöglichen ein 4H-SiC Substrate mit niedriger Ionendosis (sub-10 He-Ionen pro Spot) zu bestrahlen und so reproduzierbar einzelne VSi-Farbzentren zu erzeugen.
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Die Ionensäule muss einen geeigneten ExB-Filter und eine Neutralstromeliminierung besitzen.
Zusätzlich soll die Anlage ein Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometer (TOF-SIMS) besitzen.
Durch die Integration einer dritten Säule in Form eines Rasterelektronenmikroskops (REM) ist sowohl eine hochauflösende 2D und 3D Strukturanalyse als auch hochpräzise Positionierung der Probe unter den beiden Ionenstrahlen möglich.
Die zu bearbeitenden Substrate haben Durchmesser von wenigen Millimetern bis hin zu 150 mm und sollen sowohl drehbar als auch kippbar in der Vakuumkammer montiert werden können. Alle Säulen sollen über voneinander unabhängige, elektro-pneumatisch angetriebene Blenden verfügen.
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Neben den zwei FIBs und dem REM integriert das System außerdem:
- Gas-Injektion mit mindestens einem (1) unabhängigen Gas
- Flood Gun zur Ladungskompensation
- Sekundärelektronendetektoren
- Zweite Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) (optional)
- Substratheizer zum ausheizen auf min. 600°C für 30min (optional)
- Nano-Manipulator zur TEM-Lamellenpräparation (optional)
Alle Bedienfunktionen müssen über eine Software angesteuert werden können, die auch eine Rezeptsteuerung umfasst.
Optionen:
O3.1 Option: Zusätzliches Gas-Injektions-System mit mindestens einem Gas mit Kapillare, autom. Düsenpositionierung und Temperatursteuerung.
O3.2 Option: Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) ausgestattet die mindestens Silizium- und Germaniumionen erzeugen, fokussieren und gegen eine Probe beschleunigen kann.
O3.3 Option: Ein Substrathalter, der die Möglichkeit bietet Substrate auf 600°C zu erhitzen und die Temperatur eine halbe Stunde zu halten
O3.6 Option Nano-Manipulator zum Liftout und/oder Rotation einer TEM Lamelle während der TEM-Lamellenpräparation
O7.1 Option Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional
Dauer: 3 Monate
Beschreibung der Optionen:
Optionen:
O3.1 Option: Zusätzliches Gas-Injektions-System mit mindestens einem Gas mit Kapillare, autom. Düsenpositionierung und Temperatursteuerung.
O3.2 Option: Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) ausgestattet die mindestens Silizium- und Germaniumionen erzeugen, fokussieren und gegen eine Probe beschleunigen kann.
O3.3 Option: Ein Substrathalter, der die Möglichkeit bietet Substrate auf 600°C zu erhitzen und die Temperatur eine halbe Stunde zu halten
O3.6 Option Nano-Manipulator zum Liftout und/oder Rotation einer TEM Lamelle während der TEM-Lamellenpräparation
O7.1 Option Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Fraunhofer IISB
Schottkystr. 10
91058 Erlangen
Deutschland

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
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Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-12-18 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-10-20 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Zusätzliche Informationen: entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Einkauf Wissenschaftliche Geräte
Dokumente URL: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-18a64919961-6cfaee161e3894be 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
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Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: https://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2023/S 173-539666 (2023-09-05)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-12-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Ionenimplantationsanlage - PR468166-2790-W
Referenznummer: PR468166-2790-W
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0000
Beschreibung der Beschaffung:
1 Stück Ionenimplantationsanlage Für die farbzentrenbasierte Quantentechnologie am IISB wird eine Implantationsanlage benötigt und soll daher im Rahmen einer strategischen Investition in Form einer Mehrstrahlanlage beschafft werden. Im Fokus steht eine Ionensäule (FIB), die mindestens Helium und Stickstoff als wählbare Spezies besitzt. Ein niedriger Helium-Ionenstrom (kleiner 10 µA) muss es ermöglichen ein 4H-SiC Substrate mit niedriger Ionendosis (sub-10 He-Ionen pro Spot) zu bestrahlen und so reproduzierbar einzelne VSi-Farbzentren zu erzeugen. Die Ionensäule muss einen geeigneten ExB-Filter und eine Neutralstromeliminierung besitzen. Zusätzlich soll die Anlage ein Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometer (TOF-SIMS) besitzen. Durch die Integration einer dritten Säule in Form eines Rasterelektronenmikroskops (REM) ist sowohl eine hochauflösende 2D und 3D Strukturanalyse als auch hochpräzise Positionierung der Probe unter den beiden Ionenstrahlen möglich. Die zu bearbeitenden Substrate haben Durchmesser von wenigen Millimetern bis hin zu 150 mm und sollen sowohl drehbar als auch kippbar in der Vakuumkammer montiert werden können. Alle Säulen sollen über voneinander unabhängige, elektro-pneumatisch angetriebene Blenden verfügen. Neben den zwei FIBs und dem REM integriert das System außerdem: - Gas-Injektion mit mindestens einem (1) unabhängigen Gas - Flood Gun zur Ladungskompensation - Sekundärelektronendetektoren - Zweite Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) (optional) - Substratheizer zum ausheizen auf min. 600°C für 30min (optional) - Nano-Manipulator zur TEM-Lamellenpräparation (optional) Alle Bedienfunktionen müssen über eine Software angesteuert werden können, die auch eine Rezeptsteuerung umfasst. Optionen: O3.1 Option: Zusätzliches Gas-Injektions-System mit mindestens einem Gas mit Kapillare, autom. Düsenpositionierung und Temperatursteuerung. O3.2 Option: Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) ausgestattet die mindestens Silizium- und Germaniumionen erzeugen, fokussieren und gegen eine Probe beschleunigen kann. O3.3 Option: Ein Substrathalter, der die Möglichkeit bietet Substrate auf 600°C zu erhitzen und die Temperatur eine halbe Stunde zu halten O3.6 Option Nano-Manipulator zum Liftout und/oder Rotation einer TEM Lamelle während der TEM-Lamellenpräparation O7.1 Option Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional
Mehr anzeigen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Erlangen-Höchstadt 🏙️
Weitere Informationen zur Verlängerung:
Optionen: O3.1 Option: Zusätzliches Gas-Injektions-System mit mindestens einem Gas mit Kapillare, autom. Düsenpositionierung und Temperatursteuerung. O3.2 Option: Ionensäule mit einer Flüssigmetallquelle (LMAIS) ausgestattet die mindestens Silizium- und Germaniumionen erzeugen, fokussieren und gegen eine Probe beschleunigen kann. O3.3 Option: Ein Substrathalter, der die Möglichkeit bietet Substrate auf 600°C zu erhitzen und die Temperatur eine halbe Stunde zu halten O3.6 Option Nano-Manipulator zum Liftout und/oder Rotation einer TEM Lamelle während der TEM-Lamellenpräparation O7.1 Option Eine Preisinformation für eine jährliche Wartung ist dem Angebot beizulegen. Der Abschluss eines Wartungsvertrages bleibt unabhängig von der Zuschlagserteilung optional
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Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): TEchnische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 55.00
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Nachhaltigkeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Leiter der anbietenden Partei ✅
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen: LOT-0000
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: TESCAN GmbH
Nationale Registrierungsnummer: DE124904551
Postanschrift: Zum Lonnenhohl 46
Postleitzahl: 44319
Postort: Dortmund
Region: Dortmund, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: office-tde@tescan.com 📧
Telefon: +49 23192736010 📞
Der Gewinner ist auf einem geregelten Markt notiert ✅
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Kleines Unternehmen

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Nationale Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf Wissenschaftliche Geräte
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: 08912050 📞
URL: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
Federführendes Mitglied ✅
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben ✅

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +49 228 9499-0 📞
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Nationale Registrierungsnummer: DE 129515865
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Telefon: 08912050 📞
URL: https://www.fraunhofer.de 🌏
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2023-12-21+01:00 📅
Quelle: OJS 2023/S 247-783935 (2023-12-21)
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