Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske strukturiert werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-11-08.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-10-08.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Laborausrüstung Innovationszentrum HH | Ion Beam Etching
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse...”
Kurze Beschreibung
Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske strukturiert werden.
1️⃣
Ort der Leistung: Deutschland🏙️
Beschreibung der Beschaffung:
“Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse...”
Beschreibung der Beschaffung
Zur Strukturierung insbesondere von metallischen Schichten wird eine Anlage zum Ionenstrahlätzen (ion beam etching IBE) benötigt. Diese soll als Prozesse auch das reaktive Ionenstrahlätzen (reactive ion beam etching RIBE) und das chemisch unterstütze Ionenstrahlätzen (chemically assisted ion beam etching CAIBE) unterstützen. Mit den Verfahren sollen unter anderem Au, Al und SiO2 Dünnschichten auf 150 mm Wafern mittels Lackmaske strukturiert werden.
Auftragsgegenstand
• Anlage gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung
• Service und Wartung gemäß Spezifikation
Detaillierte Beschreibung in Anlage 01 Leistungsbeschreibung (LB IBE) in den Vergabeunterlagen.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualität
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30 %
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service und Lieferung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20 %
Preis (Gewichtung): 50 %
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 60
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen: Handelsregisterauszug nicht älter als 3 Monate bei Angebotsabgabe
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung: vgl. Vergabeunterlagen und Anlage 01 Leistungsbeschreibung
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-11-08
14:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-12-15 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-11-08
14:15 📅
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
“vgl. Vergabeunterlagen Anlage 02 Aufforderung zur Angebotsabgabe, sowie weitere Vergabeunterlagen.” Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 22894990📞
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de📧
Fax: +49 2289499163 📠
URL: http://www.bundeskartellamt.de🌏
Quelle: OJS 2023/S 198-618761 (2023-10-08)