Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Deutsche Forschungsgemeinschaft e.V., Zentrale Beschaffungsstelle

Beschaffung eines 3D-Laser-Lithographie-Systems (DFG-GZ: A 617). 3D-Laser-Lithographiescanner, bestehend aus einem konfokalen Mikroskop mit ultrakurz gepulstem Infrarot-Laser. Beim "Direkten Laserschreiben" werden ultrakurze Laserimpulse verwendet mit einer Ein-Photonen-Energie unterhalb der Absorptionsschwelle des photosensitiven Mediums. Dies bedeutet, dass das zu belichtende Material transparent für das verwendete Laserlicht ist. Wird jedoch dieser Laserstrahl stark fokussiert, so werden im fokalen Volumen Mehrphotonen-Absorptionsprozesse wahrscheinlich. Dies ermöglicht eine chemische und/oder physikalische Modifikation im fokalen Volumen, und letztlich eine selektive Löslichkeit des belichteten Bereichs relativ zu dem umgebenden. Nach dem Bad in einem Entwickler können so, abhängig von dem verwendeten photosensitiven Material unbelichtete oder belichtete Bereiche herausgelöst werden. Gepulster Laser im nahen Infrarotbereich (780 nm) — > Zweiphotonenprozesse im Fokus des gepulsten Strahls (390 nm) belichten den Resist. SU-8, PDMS, IP-L, IP-G. 100 nm (in IP-Lacken). 300*300*300 mikrom3 bei einer Wiederholgenauigkeit von 4 nm. Erweiterbar mit Linearverschiebetischen ca. 100*72 mm2 *300 mikrom. Die Strukturen sollen per CAD-Software entworfen werden können (importierbare Formate: DXF, STL).

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2010-11-04. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2010-10-22.

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