Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen

Westsächsische Hochschule Zwickau

Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen – Nanolithographiesystem
- Einsetzbare Substratgröße/Wafergröße 100mm/4“ Durchmesser oder mehr, Dickenbreich von 0,35mm bis 3mm oder größerer Bereich
- Maskensystem passend zur einsetzbaren Wafergröße
- Manuelles oder automatisches Beladesystem
- Manueller und/oder automatischer Keilfehlerausgleich
- Laterale Auflösung von 150nm (halbe Gitterkonstante) oder kleiner bei Abbildung eines linearen periodischen Gitters
- Halbierung der Periodenlänge der Maskenstrukturen bei Abbildung auf das Substrat
- Belichtungszeit für vollständige Strukturierung eines 100mm/4“ Wafers: 2 Minuten oder kleiner
- Homogenität der Leistungsdichte im gesamten Belichtungsfeld: +/- 3% oder besser
- Nennwellenlänge der Belichtungsquelle: mindestens 360nm, höchstens 390nm
- Kamerasystem zur Kollimation und Probenausrichtung
- Computer mit Software zur Anlagensteuerung
Kamerasystem zur Probenausrichtung anhand von Passmarken (Overlay Alignment)
Messgerät zur Überwachung der UV-Leistungsdichte, Messbereich abgestimmt auf im System auftretende Wellenlänge und Leistungsdichte
Startpaket zur Geräteinbetriebnahme
- Phase-Shift-Photomaske passend zum angebotenen System mit mindestens 32 Feldern bestehend aus linearen Gittern mit Gitterkonstanten im Bereich von 500nm bis zu 2050nm (Inkrement pro Feld: 50nm) oder weiterer Bereich zur Abbildung von linearen Gittern mit Gitterkonstanten im Bereich von 250nm bis 1025nm oder weiterer Bereich
- Phase-Shift-Photomaske passend zum angebotenen System mit einem kreisrunden Feld mit einem Durchmesser von 100mm welches eine hexagonal dichtgepackte Anordnung von kreisrunden Löchern mit einer Gitterkonstante von 1000nm enthält und die Abbildung von hexagonal periodischen Nanostrukturen mit einer Gitterkostante von 500nm ermöglicht
Lieferung frei Verwendungsstelle inklusive Importgebühren/Zoll
Vor-Ort-Installation, System- und Softwareeinweisung, Abnahme und Übergabeprotokoll, Schulung

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-11-14. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-10-11.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-10-11 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2023-10-11)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Westsächsische Hochschule Zwickau
Postanschrift: Kornmarkt 1
Postort: Zwickau
Postleitzahl: 08056
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 375-536-0 📞
E-Mail: beschaffungswesen@fh-zwickau.de 📧
Region: Zwickau 🏙️
URL: www.fh-zwickau.de 🌏
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/2834522/zustellweg-auswaehlen 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.de 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen ÖA-EU 07-23”
Produkte/Dienstleistungen: Laser 📦
Kurze Beschreibung:
“Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen – Nanolithographiesystem - Einsetzbare Substratgröße/Wafergröße...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Zwickau 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Zwickau, DE
Beschreibung der Beschaffung:
“Laseroptisches System zur großflächigen Erzeugung periodischer Nano- und Mikrostrukturen – Nanolithographiesystem - Einsetzbare Substratgröße/Wafergröße...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2023-12-05 📅
Datum des Endes: 2025-06-13 📅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“- Unternehmensdarstellung: -- allgemeine Unternehmensdarstellung; -- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr; -- Anschrift...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme

Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“- Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren innerhalb der EU mit Kurzbeschreibung und...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Der Bewerber erklärt, dass sein Unternehmen die: - Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit - Verpflichtung zur Beachtung der...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-11-14 11:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-12-15 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-11-14 12:00 📅

Ergänzende Informationen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Postfach 101364
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04013
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: post@lds.sachsen.de 📧
Quelle: OJS 2023/S 199-624268 (2023-10-11)