Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Lithographie Track für Fotomaterialien - PR345269-3460-W
PR345269-3460-W
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung: Lithographie Track für Fotomaterialien
1️⃣
Ort der Leistung: Sachsen🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Fraunhofer IZM-ASSID
Ringstr. 12
01468 Dresden-Moritzburg
Deutschland
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück Lithographie Track für Fotomaterialien
Die Spezifikation beschreibt ein automatisches Beschichtungs- und Entwicklungsgerät für die lithographische...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück Lithographie Track für Fotomaterialien
Die Spezifikation beschreibt ein automatisches Beschichtungs- und Entwicklungsgerät für die lithographische Strukturierung von Schichten im Bereich der 2.5D/3D Wafer-Level Systemintegration zur Erzeugung von höchstintegrierten mikroelektronischen 2.5D/3D Systemen basierend auf 300mm Wafer-Substraten. Mit dem Gerät sollen Polymermaterialien und Fotoresiste mit einer Schichtdicke von 0,5-200μm beschichtet und entwickelt werden, welche es ermöglicht Strukturen im 1μm Bereich zu realisieren. Die vollautomatische Abarbeitung erfolgt Rezept basiert.
10 Bedarfspositionen - BP
10.6. Zwei weitere identische Proximity Heizplatten gemäß 5.7.2 (BP)
10.7. Ein zusätzliches Spin Coater Prozessmodul gemäß 5.6 welches in den Grundrahmen integrierbar ist. (BP)
10.8. FFUs zur Erstellung eines Klasse 100 / ISO 5 Reinraums innerhalb der abgeschlossenen Geräteumgebung zur Verbesserung der Umgebungsbedingung gemäß 2.19 . (BP)
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 14
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“10 Bedarfspositionen - BP
10.6. Zwei weitere identische Proximity Heizplatten gemäß 5.7.2 (BP)
10.7. Ein zusätzliches Spin Coater Prozessmodul gemäß 5.6...”
Beschreibung der Optionen
10 Bedarfspositionen - BP
10.6. Zwei weitere identische Proximity Heizplatten gemäß 5.7.2 (BP)
10.7. Ein zusätzliches Spin Coater Prozessmodul gemäß 5.6 welches in den Grundrahmen integrierbar ist. (BP)
10.8. FFUs zur Erstellung eines Klasse 100 / ISO 5 Reinraums innerhalb der abgeschlossenen Geräteumgebung zur Verbesserung der Umgebungsbedingung gemäß 2.19 . (BP)
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18b3deea686-136cd7e03fc7f6b” Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18b3deea686-136cd7e03fc7f6b” Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Direktlink auf Dokument mit Eignungskriterien: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-18b3deea686-136cd7e03fc7f6b” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-11-16
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-12-08 📅
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: https://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2023/S 203-638249 (2023-10-17)