Ozon Generator mit Controlling und Monitoring System für DxZ SAUSG und BPSG

IHP GmbH - Leibniz-Institut für Innovative Mikroelektronik

2 Stück Referenz ID 0242-95197
Kit Hi-Con Ozone Gen, closed loop
Leistungsdaten:
O2 Flow Range 5-40 SLM
O3 Output 19,6 wt% (>300 g/Nm3) bei 17° Di/Glykol (~50%)
Operating Range:
Ambient Temperatur 10-40°C
Nominal Cell Pressure (Del.) 15-45 psig
Vorgegebene Infrastruktur:
Sauerstoff 6.0, 4-6 bar, Stickstoff 6.0, 4-6 bar
Di/Glykol-Gemisch 16-25°C (100microns)
Resistivity > 50KOhm/cm, garantierte Flußmenge 7 SLM
AC Power:
Voltage 208 VAC (vom Applied Materials Controller)
Current 15A, Frequency 50/60Hz
Es muss der Einbau in das bestehende, abgesaugte und sensorüberwachte Ozonkabinett erfolgen. Deshalb dürfen folgende Abmessungen nicht überschritten werden:
(BxTxH) 483 x 445 x 267 mm, Gewicht max. 70 Kg
Die Geräte müssen folgende Standards erfüllen:
SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1
1 Stück Referenz ID 0190-63554
Ozone Controller, Tapi, CP32, 225 Watt
(Auswerte- und Steuereinheit für Ozongenerator, Anpassungsregelung des Ozongenerators in Abhängingkeit der im Monitoring ermittelten Daten in Echtzeit)
(BxTxH) 483 x 445 x 267 mm
3 Stück Referenz ID 0190-62378
Ozone Monitor, Tapi M452 with OP-39 Lamp
(kontinuierliches Monitoring der Ozonkonzentration)
? alle für den Betrieb und die Interaktion der Komponenten miteinander erforderlichen Steuer-Signal-oder Versorgungskabel müssen Bestandteil des Angebotes sein.
? Nachweis der Funktionalität und der Kompatibilität an einer Applied Materials Centura DxZ SAUSG und BPSG Kammer ist mit Einsatzort und Ansprechpartner zu erbringen.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-05-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-04-19.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-04-19 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2023-04-19)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Beschaffung
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: https://www.ihp-microelectronics.com/ 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDY1YQGMJFD/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDY1YQGMJFD 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschung und Entwicklung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Ozon Generator mit Controlling und Monitoring System für DxZ SAUSG und BPSG IHP-2023-044”
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Kurze Beschreibung:
“2 Stück Referenz ID 0242-95197 Kit Hi-Con Ozone Gen, closed loop Leistungsdaten: O2 Flow Range 5-40 SLM O3 Output 19,6 wt% (>300 g/Nm3) bei 17° Di/Glykol...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik Im Technologiepark 25 15236 Frankfurt (Oder)”
Beschreibung der Beschaffung:
“2 Stück Referenz ID 0242-95197 Kit Hi-Con Ozone Gen, closed loop Leistungsdaten: O2 Flow Range 5-40 SLM O3 Output 19,6 wt% (>300 g/Nm3) bei 17° Di/Glykol...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Preis
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 1

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.”
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Referenzen: Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-05-22 12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-07-21 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-05-22 12:00 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten”
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331/866-1719 📞
Fax: +49 331/866-1652 📠
Quelle: OJS 2023/S 080-242781 (2023-04-19)