Beschreibung der Beschaffung
2 Stück Referenz ID 0242-95197
Kit Hi-Con Ozone Gen, closed loop
Leistungsdaten:
O2 Flow Range 5-40 SLM
O3 Output 19,6 wt% (>300 g/Nm3) bei 17° Di/Glykol (~50%)
Operating Range:
Ambient Temperatur 10-40°C
Nominal Cell Pressure (Del.) 15-45 psig
Vorgegebene Infrastruktur:
Sauerstoff 6.0, 4-6 bar, Stickstoff 6.0, 4-6 bar
Di/Glykol-Gemisch 16-25°C (100microns)
Resistivity > 50KOhm/cm, garantierte Flußmenge 7 SLM
AC Power:
Voltage 208 VAC (vom Applied Materials Controller)
Current 15A, Frequency 50/60Hz
Es muss der Einbau in das bestehende, abgesaugte und sensorüberwachte Ozonkabinett erfolgen. Deshalb dürfen folgende Abmessungen nicht überschritten werden:
(BxTxH) 483 x 445 x 267 mm, Gewicht max. 70 Kg
Die Geräte müssen folgende Standards erfüllen:
SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1
1 Stück Referenz ID 0190-63554
Ozone Controller, Tapi, CP32, 225 Watt
(Auswerte- und Steuereinheit für Ozongenerator, Anpassungsregelung des Ozongenerators in Abhängingkeit der im Monitoring ermittelten Daten in Echtzeit)
(BxTxH) 483 x 445 x 267 mm
3 Stück Referenz ID 0190-62378
Ozone Monitor, Tapi M452 with OP-39 Lamp
(kontinuierliches Monitoring der Ozonkonzentration)
? alle für den Betrieb und die Interaktion der Komponenten miteinander erforderlichen Steuer-Signal-oder Versorgungskabel müssen Bestandteil des Angebotes sein.
? Nachweis der Funktionalität und der Kompatibilität an einer Applied Materials Centura DxZ SAUSG und BPSG Kammer ist mit Einsatzort und Ansprechpartner zu erbringen.