Rasterelektronenmikroskop

Friedrich-Schiller-Universität Jena

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
- Geometrische Analyse von Nanopartikeln
- Abbildung von Baulementen (Chip)

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-08-14. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-07-11.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-07-11 Auftragsbekanntmachung
2023-08-07 Ergänzende Angaben
2023-09-29 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2023-07-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EU-OV/2023-125
Kurze Beschreibung:
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben. Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen: - Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen - CD-Messung - Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen - Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen - Geometrische Analyse von Nanopartikeln - Abbildung von Baulementen (Chip)
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Postanschrift: Fürstengraben 1
Postleitzahl: 07743
Postort: Jena
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-jena.de/ 🌏
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de 📧
Telefon: +49 3641-9412220 📞
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=527734 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=527734 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-07-11 📅
Einreichungsfrist: 2023-08-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-07-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 134-426018
ABl. S-Ausgabe: 134

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
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Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
- Geometrische Analyse von Nanopartikeln
- Abbildung von Baulementen (Chip)
Geschätzter Gesamtwert: 630 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung: weiteres siehe Anlage 2
Geschätzter Wert ohne MwSt: 630 000 EUR 💰
Dauer: 1 Tage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Aufstellungsort ist der Reinraum des Leibniz-Instituts für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Str. 9 in 07745 Jena.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das
Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der
Rechtsvorschriften des EU-Mitgliedstaates, in dem das Unternehmen ansässig ist.
Sollte der Bewerber gemäß den Rechtsvorschriften des Landes, in dem er
ansässig ist, nicht in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen sein, ist
dieser Umstand mittels einer unterschriebenen schriftlichen Eigenerklärung zu
erklären und diese Erklärung anstelle des Nachweises einzureichen,
Einheitliche Europäische Eigenerklärungen (EEE) werden ebenfalls akzeptiert.
Im Rahmen einer Nachunternehmerschaft oder Bietergemeinschaft sind
sämtliche Bedingungen auch für diese nachzuweisen.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Unternehmensdarstellung:
-allgemeine Unternehmensdarstellung,
- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr,
- Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auftraggeber betreuen würde), Telefon-/Faxnummer und E-Mail-Adresse,
- Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige,
- Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.,
Angaben zu den Umsätzen der letzte 3 Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der
letzten 3 Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung
maßgeblichen Geschäftsbereiches. Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung
einschließlich der Angabe der Deckungssummen,
eine Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1),
eine Erklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen
gemäß § 123 GWB sowie § 124 GWB (Anlage 5 und 6):
- Nichtbestehen eines Insolvenzverfahrens oder eines vergleichbaren
gesetzlichen Verfahrens,
- dass sich das Unternehmen nicht in Liquidation befindet,
- dass die Beiträge an die Berufsgenossenschaft ordnungsgemäß bezahlt werden,
- dass die Steuern ordnungsgemäß bezahlt werden,
- dass die Sozialversicherungsbeiträge für die Arbeitnehmer/innen
ordnungsgemäß bezahlt werden,
- dass keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die meine/unsere
Zuverlässigkeit als Bieter/in in Frage stellen, - dass keine Person, deren Verhalten
unserem Unternehmen zuzurechnen ist,
rechtskräftig verurteilt ist wegen § 129 des Strafgesetzbuches (Bildung
krimineller Vereinigungen), §129a des Strafgesetzbuches (Bildung terroristischer
Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuches (kriminelle und terroristische
Vereinigungen im Ausland), § 89c des Strafgesetzbuches
(Terrorismusfinanzierung) oder wegen der Teilnahme an einer solchen Tat oder
wegen der Bereitstellung oder Sammlung finanzieller Mittel in Kenntnis dessen,
dass diese finanziellen Mittel ganz oder teilweise dazu verwendet werden sollen,
eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 des Strafgesetzbuches zu begehen, § 261
des Strafgesetzbuches (Geldwäsche, Verschleierung unrechtmäßig erlangter
Vermögenswerte), § 263 des Strafgesetzbuches (Betrug), soweit sich die Straftat
gegen den Haushalt der Europäischen Union oder gegen Haushalte richtet, die
von der Europäischen Union oder in deren Auftrag verwaltet werden, § 264 des
Strafgesetzbuches (Subventionsbetrug), soweit sich die Straftat gegen den
Haushalt der Europäischen Union oder gegen Haushalte richtet, die von der
Europäischen Union oder in deren Auftrag verwaltet werden, § 299 des
Strafgesetzbuches (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr), §
108e des Strafgesetzbuches (Bestechlichkeit und Bestechung von
Mandatsträgern, §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuches (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils auch in Verbindung mit § 335a des Strafgesetzbuches
(Ausländische und internationale Bedienstete), Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur
Bekämpfung internationaler Bestechung (Bestechung ausländischer
Abgeordneter im Zusammenhang mit Internationalem Geschäftsverkehr) oder §§
232 und 233 des Strafgesetzbuches (Menschenhandel) oder § 233a des
Strafgesetzbuches (Förderung des Menschenhandels).
Einer Verurteilung nach diesen Vorschriften steht eine Verurteilung nach
vergleichbaren Vorschriften anderer Staaten gleich.
Das Verhalten einer rechtskräftig verurteilten Person ist einem Unternehmen
zuzurechnen, wenn diese Person als für die Leitung des Unternehmens
Verantwortlicher gehandelt hat; dazu gehört auch die Überwachung der
Geschäftsführung oder die sonstige Ausübung von Kontrollbefugnissen in
leitender Stellung. Im Rahmen einer Nachunternehmerschaft oder
Bietergemeinschaft sind die
Erklärungen nach den §§ 123 und 124 GWB auch für diese zu erklären.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Nachweis von mindestens 3 europaweiten Referenzen in vergleichbarer Art und
Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren mit Kontaktdaten des
Auftraggebers (die Referenzen dürfen nicht das Recht des Auftragsgebers
ausschließen oder einschränken weitere Informationen bei den Auftraggebern
einzuholen)
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Der Bewerber erklärt, dass sein Unternehmen die:
Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12
Abs. 2 ThürVgG),
Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2
ThürVgG),
Verpflichtungen nach § 12 und § 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz; § 17
ThürVgG - Kontrollen; § 18 ThürVgG - Sanktionen,
sowie ggf. Verpflichtung des Nachunternehmers zu Tariftreue, Mindestentgelt
und Entgeltgleichheit (§§ 10, 12 Abs. 2 ThürVgG) und die Verpflichtung des
Nachunternehmers zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12
Abs. 2 ThürVgG) erfüllt.
Die entsprechenden Formulare sind als Anlagen dieser Ausschreibung beigefügt.
Im Falle einer beabsichtigten Zuschlagserteilung sind von dem Bestbieter diese
Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb von 3 Werktagen
über die e-Vergabeplattform („Nachrichten“) vollständig ausgefüllt einzureichen.
Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht
vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG). Die
Erklärungen können jedoch bereits mit dem Angebot abgegeben werden.
Ferner ist eine Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr.
833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des
Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) mit dem Angebot vorzulegen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-09-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-08-14 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Ort des Eröffnungstermins: siehe 1.)

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=527734 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im
Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder per E-Mail) an
die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit
Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von
15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der
Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen
kann.
Quelle: OJS 2023/S 134-426018 (2023-07-11)
Ergänzende Angaben (2023-08-07)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-08-07 📅
Einreichungsfrist: 2023-08-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-08-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 154-490532
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 134-426018
ABl. S-Ausgabe: 154
Quelle: OJS 2023/S 154-490532 (2023-08-07)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-09-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 630 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-09-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-10-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 191-599096
ABl. S-Ausgabe: 191
Zusätzliche Informationen
Los 2: Entsorgung Altgerät 7.000 Euro Netto an Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung / Wirtschaftlichkeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Preis (Gewichtung): 50

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-09-29 📅
Name: Jeol (Germany) GmbH
Postort: Freising
Land: Deutschland 🇩🇪
Freising 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 519154.70 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Quelle: OJS 2023/S 191-599096 (2023-09-29)