Rasterelektronenmikroskop

Friedrich-Schiller-Universität Jena

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
- Geometrische Analyse von Nanopartikeln
- Abbildung von Baulementen (Chip)

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-08-14. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-07-11.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-07-11 Auftragsbekanntmachung
2023-08-07 Ergänzende Angaben
2023-09-29 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2023-07-11)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EU-OV/2023-125
Kurze Beschreibung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein...”    Mehr anzeigen
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Postanschrift: Fürstengraben 1
Postleitzahl: 07743
Postort: Jena
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-jena.de/ 🌏
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de 📧
Telefon: +49 3641-9412220 📞
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=527734 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=527734 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-07-11 📅
Einreichungsfrist: 2023-08-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-07-14 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 134-426018
ABl. S-Ausgabe: 134
Quelle: OJS 2023/S 134-426018 (2023-07-11)
Ergänzende Angaben (2023-08-07)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-08-07 📅
Einreichungsfrist: 2023-08-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-08-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 154-490532
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 134-426018
ABl. S-Ausgabe: 154
Quelle: OJS 2023/S 154-490532 (2023-08-07)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-09-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 630 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-09-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-10-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 191-599096
ABl. S-Ausgabe: 191
Zusätzliche Informationen

“Los 2: Entsorgung Altgerät 7.000 Euro Netto an Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH”
Quelle: OJS 2023/S 191-599096 (2023-09-29)