Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben. Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen: - Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen - CD-Messung - Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen - Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen - Geometrische Analyse von Nanopartikeln - Abbildung von Baulementen (Chip)
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-08-14.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-07-11.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Auftragsbekanntmachung (2023-07-11) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EU-OV/2023-125
Kurze Beschreibung:
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
- Geometrische Analyse von Nanopartikeln
- Abbildung von Baulementen (Chip)
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt zur schnellen Probeninspektion und Vermessung von Nano- und Mikrostrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM) anzuschaffen. Typische Messaufgaben sind die Analyse von 3D-Strukturen, die mittels Mikrostrukturverfahren hergestellt wurden. Eine typische Anwendung ist die Bildaufnahme von wenig oder nicht leitfähigen Proben.
Zum Einsatz kommt das REM hauptsächlich bei folgenden wissenschaftlichen Fragestellungen:
- Untersuchung von Proben während der Herstellung im Reinraum, insbesondere empfindliche Resiststrukturen nach der Elektronenstrahllithografie und nach verschiedenen Ätzprozessen
- CD-Messung
- Charakterisierung von Oberflächen nach Beschichtung mit ALD, Sputtern, Verdampfen
- Topographie von laserstrukturierten Proben, Materialveränderung nach Wechselwirkung mit Licht (Laser) oder Ionen
- Geometrische Analyse von Nanopartikeln
- Abbildung von Baulementen (Chip)
Geschätzter Gesamtwert: 630 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung: weiteres siehe Anlage 2
Geschätzter Wert ohne MwSt: 630 000 EUR 💰
Dauer: 1 Tage Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Aufstellungsort ist der Reinraum des Leibniz-Instituts für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Str. 9 in 07745 Jena.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das
Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der
Rechtsvorschriften des EU-Mitgliedstaates, in dem das Unternehmen ansässig ist.
Sollte der Bewerber gemäß den Rechtsvorschriften des Landes, in dem er
ansässig ist, nicht in einem Berufs- oder Handelsregister eingetragen sein, ist
dieser Umstand mittels einer unterschriebenen schriftlichen Eigenerklärung zu
erklären und diese Erklärung anstelle des Nachweises einzureichen,
Einheitliche Europäische Eigenerklärungen (EEE) werden ebenfalls akzeptiert.
Im Rahmen einer Nachunternehmerschaft oder Bietergemeinschaft sind
sämtliche Bedingungen auch für diese nachzuweisen.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Unternehmensdarstellung:
-allgemeine Unternehmensdarstellung,
- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr,
- Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auftraggeber betreuen würde), Telefon-/Faxnummer und E-Mail-Adresse,
- Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige,
Abgeordneter im Zusammenhang mit Internationalem Geschäftsverkehr) oder §§
232 und 233 des Strafgesetzbuches (Menschenhandel) oder § 233a des
Strafgesetzbuches (Förderung des Menschenhandels).
Einer Verurteilung nach diesen Vorschriften steht eine Verurteilung nach
vergleichbaren Vorschriften anderer Staaten gleich.
Das Verhalten einer rechtskräftig verurteilten Person ist einem Unternehmen
zuzurechnen, wenn diese Person als für die Leitung des Unternehmens
Verantwortlicher gehandelt hat; dazu gehört auch die Überwachung der
Geschäftsführung oder die sonstige Ausübung von Kontrollbefugnissen in
leitender Stellung. Im Rahmen einer Nachunternehmerschaft oder
Bietergemeinschaft sind die
Erklärungen nach den §§ 123 und 124 GWB auch für diese zu erklären.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Nachweis von mindestens 3 europaweiten Referenzen in vergleichbarer Art und
Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren mit Kontaktdaten des
Auftraggebers (die Referenzen dürfen nicht das Recht des Auftragsgebers
ausschließen oder einschränken weitere Informationen bei den Auftraggebern
einzuholen)
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Der Bewerber erklärt, dass sein Unternehmen die:
Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12
Abs. 2 ThürVgG),
Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2
ThürVgG),
Verpflichtungen nach § 12 und § 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz; § 17
ThürVgG - Kontrollen; § 18 ThürVgG - Sanktionen,
sowie ggf. Verpflichtung des Nachunternehmers zu Tariftreue, Mindestentgelt
und Entgeltgleichheit (§§ 10, 12 Abs. 2 ThürVgG) und die Verpflichtung des
Nachunternehmers zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12
Abs. 2 ThürVgG) erfüllt.
Die entsprechenden Formulare sind als Anlagen dieser Ausschreibung beigefügt.
Im Falle einer beabsichtigten Zuschlagserteilung sind von dem Bestbieter diese
Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb von 3 Werktagen
über die e-Vergabeplattform („Nachrichten“) vollständig ausgefüllt einzureichen.
Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht
vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG). Die
Erklärungen können jedoch bereits mit dem Angebot abgegeben werden.
Ferner ist eine Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr.
833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des
Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2) mit dem Angebot vorzulegen.
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-09-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-08-14 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Ort des Eröffnungstermins: siehe 1.)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-09-29) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 630 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge