ToF-SIMS 2026

Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH

Gegenstand des Beschaffungsvorhabens ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie betriebsbereite Übergabe eines Systems zur Sekundärionen-Massenspektrometrie mit Flugzeit-Massenspektrometer (ToF-SIMS) einschließlich Einweisung/Schulung und vollständiger Systemdokumentation.

Deadline

Deadline 2026-06-12

Wer?

• Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH

Wie?

• Spektrometer › Massenspektrometer

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Rheinhessen-Pfalz › Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt
• Rheinhessen-Pfalz › Mainz, Kreisfreie Stadt
• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-05-12	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2026-05-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: ToF-SIMS 2026
Referenznummer: 26-1004
Kurze Beschreibung:
“Gegenstand des Beschaffungsvorhabens ist die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie betriebsbereite Übergabe eines Systems zur...”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Massenspektrometer 📦
Beschreibung
Interne Kennung: 26-1004
Beschreibung der Beschaffung:
“Das System wird als zentrale Analyseplattform für hochaufgelöste chemische Oberflächencharakterisierung, bildgebende Analytik (2D-Imaging) sowie...”

Beschreibung der Beschaffung

Das System wird als zentrale Analyseplattform für hochaufgelöste chemische Oberflächencharakterisierung, bildgebende Analytik (2D-Imaging) sowie Tiefenprofilierung und 3D-Rekonstruktion eingesetzt. Es dient wissenschaftlichen und anwendungsnahen Fragestellungen in der industriellen und universitären Forschung sowie der Auftragsforschung und wird in Kooperationsprojekten mit Industriepartnern und Forschungseinrichtungen genutzt. Im Institut werden Proben mit stark variierenden Eigenschaften untersucht. Diese unterscheiden sich insbesondere hinsichtlich Materialklassen (z. B. Metalle und Legierungen, Halbleiter, Gläser, Keramiken, Polymere), Geometrie, Oberflächenzustand, Kontaminations- und Schichtsystemen sowie analytischer Fragestellungen. Ein besonderer Schwerpunkt liegt auf der Analyse von Oberflächen und Schichtsystemen, inklusive der Identifikation komplexer Spezies und der quantitativen/vergleichenden Bewertung von Signalen über Messreihen hinweg. Zur Sicherstellung reproduzierbarer und nachvollziehbarer Ergebnisse muss das System einen stabilen UHV-Betrieb, eine hohe Massenauflösung/Massengenauigkeit, eine hohe laterale Auflösung für bildgebende Verfahren sowie einen kontrollierten Materialabtragung für Tiefenprofile bereitstellen. Darüber hinaus ist eine strukturierte Erfassung und Exportfähigkeit von Messdaten und Metadaten in gängige, nicht-proprietäre Formate erforderlich, um Anforderungen an Nachvollziehbarkeit, Langzeitverfügbarkeit und Forschungsdatenmanagement (FAIR-Prinzipien) zu erfüllen. Das System muss mindestens folgende Komponenten/Funktionen umfassen (funktionsorientiert; Umsetzung herstellerunabhängig zulässig, sofern Anforderungen erfüllt sind): - UHV-Analysekammer (Rezipient) für optimierte Vakuumbedingungen incl. Probenschleuse, geeigneter Probenhandhabung und Beobachtungsmöglichkeit in Analyseposition (Kamera/Optik oder funktional gleichwertig). - ToF-Massenspektrometer einschließlich MS/MS-Funktionalität (Tandem-MS) oder funktional gleichwertiger Lösung zur verbesserten Identifikation/Strukturaufklärung. - Analyse-Ionenquelle (z. B. Bi-LMIG-basiert oder funktional gleichwertig) zur hochauflösenden, bildgebenden SIMS-Analyse. - Sputter-Ionenquelle(n) für kontrollierten Materialabtrag/Tiefenprofilierung (z.B. Cs und O2/Ar Ionenkanone oder funktional gleichwertig) mit stabiler Stromabgabe über lange Messzeiten. - Cluster-Ionenquelle (z. B. Ar-Cluster, ggf. O2-Cluster oder funktional gleichwertig), inkl. Option zur Analyse/Imaging-Nutzung, soweit gefordert. - FIB-Funktion zum Schneiden und zur Tomografie in der Analyseposition mittels zusätzlicher LMIG- Quelle - Ladungskompensation (Electron Flood Gun oder funktional gleichwertig). - Probenhalter-Grundausstattung inkl. Montagematerial sowie definierte Möglichkeiten zur Aufnahme großer Proben (insb. Wafer bis 300 mm). - Gasinstallationen/Versorgung für die im System integrierten Quellen (Arbeitsgase) inkl. erforderlicher sicherheitstechnischer Komponenten. - Steuer- und Auswertesoftware inkl. Lizenzen; Offline-Auswertung auf separaten Rechnern muss möglich sein. - Steuerrechner (Windows 11 Pro, LAN-Anbindung, Remote-Nutzung oder gleichwertige), kompatible Bereitstellung gemäß IT-Anforderungen.

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Massenspektrometer 📦
Postanschrift: Trippstadter Straße 120
Postleitzahl: 67663
Stadt: Kaiserslautern
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt 🏙️
Informationen zu elektronischen Katalogen
Die Angebote müssen in Form von elektronischen Katalogen eingereicht werden oder einen elektronischen Katalog enthalten
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-06-12 23:59:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 56
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Elektronischer Katalog: Zulässig
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-06-05 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen:
“Die Vergabestelle behält sich vor, fehlende Angaben und Erklärungen nachzufordern. Ein Anspruch der Bieter besteht nicht (§ 56 VgV). Angebote, die nicht die...”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Eignungskriterium ist die Vorlage von 3 Referenzen zu vergleichbaren Installationen (Lieferung und Inbetriebnahme eines ToF-SIMS oder eines funktional...”
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung
Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten
Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung
Betrug
Korruption
Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern
Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen
Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen
Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen
Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen
Zahlungsunfähigkeit
Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter
Einstellung der gewerblichen Tätigkeit
Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften
Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten
Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs
Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren
Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens
Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen
Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH
Nationale Registrierungsnummer: UStID DE 148 647 541
Postanschrift: Trippstadter Straße 120
Postleitzahl: 67663
Postort: Kaiserslautern
Region: Kaiserslautern, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: wahl@ifos.uni-kl.de 📧
Telefon: +49 (0) 631 20573-0 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4DNMMFC6/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4DNMMFC6 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4DNMMFC6 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“#Bekanntmachungs-ID: CXP4DNMMFC6#”
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland-Pfalz, c/o Ministerium für Wirtschaft, Verkehr, Landwirtschaft und Weinbau
Nationale Registrierungsnummer: 07-0001801100000-05
Postanschrift: Stiftsstraße 9
Postleitzahl: 55116
Postort: Mainz
Region: Mainz, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.rlp@mwvlw.rlp.de 📧
Telefon: +49 (0) 6131 16-2234 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein. Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag...”
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Notice information
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-05-12+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 092-329839 (2026-05-12)

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